基于单边驱动的精密气浮工作台之振动分析与抑制

在精密气浮工作台中 ,经常采用单边驱动方式 ,它避免了复杂的同步运动控制 ,但由于质心偏置也容易引起振动和不稳定性。为了消除单边驱动所带来的不利影响 ,本文从导轨气膜刚度、共振频率等几个方面提出了消除振动和不稳定性的不良影响的设计方法。