超高速集成电路用高纯硼粉的研制

研究了溴化合成还原法制取高纯硼粉的工艺及硼粉的结构、颗粒外貌等特征。研究结果表明，所制得的硼粉纯度达到９９９９９％以上，硼的主相为α菱方晶体（ａ＝０５０５７ｎｍ、α＝５８．０６°），还含有少量βＢ晶体（ａ＝１．０９２５１ｎｍ、ｃ＝２．３８１４ｎｍ）。产品粒度细（＜１０μｍ），有利于应用。