高真空直排大气干泵的最新进展

为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵。近几年,国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过程的高真空直排大气干泵,并实现了商业化,已经应用于实际生产中。本文以其中具有代表性的英国BOC Edwards公司的EPX干泵和德国Pfeiffer Vacuum公司的OnTool干泵为例,简单介绍了其原理、结构、性能,为国内从事真空应用和干泵研发人员提供参考。

高真空干泵螺旋级抽气性能的数值计算模型

微型化和一体化是干式真空泵发展的重要趋势,高真空干泵是具有代表性的一种新型干泵。本文对高真空干泵的重要部件之一的单螺旋转子进行了数值研究,通过对几何模型重要参数的分析,结合了直接模拟蒙特卡罗的程序思想,对单螺旋转子工作过程进行仿真。模拟得到了单螺旋转子几何参数对抽气效率的影响机制,得到影响高真空干泵性能的参数调节机制,为高真空干泵的设计提供了理论依据和指导。

镁热还原蒸馏联合法生产海绵钛——大型设备装备水平的改进

重点对钛产业链中镁法还原、蒸馏联合法生产海绵钛的关键设备——倒U型大型还原蒸馏联合装置提出了一些改进措施。其中为解决还原、蒸馏周期长和产品致密化(硬心)问题,介绍和论述了两项职务发明专利技术——反应器内部热交换和加料联合装置以及蒸馏-冷凝连接过道的高温阀门装置。

钢水脱气用机械真空泵的最新发展

对比了钢水脱气工艺使用的干式机械真空泵和蒸汽喷射泵的特点,结果表明,干式机械真空泵在脱气的质量以及泵和配套的除尘系统、气体冷却系统的可靠性方面有明显优势;标准化真空泵可以使制造成本相对更低,标准化的预组装模块式系统不仅在安装和调试方面降低了成本,而且结构更为紧凑,更加节能、节水。