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High-k材料研究进展与存在的问题
被引量:
3
1
作者
杨雪娜
王弘
+4 位作者
张寅
姚伟峰
尚淑霞
周静涛
刘延辉
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第5期731-735,共5页
随着集成电路的飞速发展,SiO2作为传统的栅介质将不能满足MOSFET器件高集成度的要求,需要一种新型High-k材料来代替传统的SiO2,这就要综合考虑以下几个方面问题:(1)介电常数和势垒高度;(2)热稳定性;(3)薄膜形态;(4)界面质量;(5)与Si基...
随着集成电路的飞速发展,SiO2作为传统的栅介质将不能满足MOSFET器件高集成度的要求,需要一种新型High-k材料来代替传统的SiO2,这就要综合考虑以下几个方面问题:(1)介电常数和势垒高度;(2)热稳定性;(3)薄膜形态;(4)界面质量;(5)与Si基栅兼容;(6)工艺兼容性;(7)可靠性。本文综述了几类High-k栅介质材料的研究现状及存在的问题。目前任何一种有望替代SiO2的栅介质材料都不能完全满足上述几点要求。但是,科学工作者们已经发现了几种有希望的High-k候选材料。
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关键词
high-k材料
介电常数
势垒高度
热稳定性
薄膜形态
界面质量
栅介质
材料
半导体
材料
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职称材料
High-k材料MOS器件的PISCES-II模拟
被引量:
1
2
作者
陈震
向采兰
余志平
《微电子学与计算机》
CSCD
北大核心
2003年第3期65-67,72,共4页
High-k材料是指介电常数k高于SiO2的材料。使用high-k材料做栅绝缘层,是减小MOS器件栅绝缘层直接隧道击穿(DirectTunneling,DT)电流的有效方法。文章在二维器件模拟软件PISCES-II中添加了模拟以high-k材料为栅绝缘层的MOS器件模型,并对S...
High-k材料是指介电常数k高于SiO2的材料。使用high-k材料做栅绝缘层,是减小MOS器件栅绝缘层直接隧道击穿(DirectTunneling,DT)电流的有效方法。文章在二维器件模拟软件PISCES-II中添加了模拟以high-k材料为栅绝缘层的MOS器件模型,并对SiO2和high-k材料的MOS晶体管器件特性进行了模拟比较,成功地验证了所加high-k材料MOS器件模型的正确性。改进后的PISCES-II程序,可以方便地对以各种high-k材料为栅绝缘层的器件性能进行模拟。
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关键词
high-k材料
MOS器件
PISCES-Ⅱ模拟
隧道击穿
MOSFET器件
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职称材料
物理学家发现新储能材料
3
作者
李星悦
赵博
《电子与封装》
2016年第1期11-11,共1页
近日,卢森堡大学的物理学家们发现了一种具有特殊电性质的材料。三年前,这些物理学家基于理论计算预言了一种特殊材料的“异常”特性。而如今,他们通过与法国波尔多市保罗·帕斯卡尔研究中心的联合实验证实了计算结果,并发现了...
近日,卢森堡大学的物理学家们发现了一种具有特殊电性质的材料。三年前,这些物理学家基于理论计算预言了一种特殊材料的“异常”特性。而如今,他们通过与法国波尔多市保罗·帕斯卡尔研究中心的联合实验证实了计算结果,并发现了这种high-k材料(高介电材料)。使用该种材料有望制造出更高性能的储能器件。
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关键词
储能
材料
物理学家
high-k材料
计算结果
特殊
材料
介电
材料
储能器件
电性质
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职称材料
MIM电容研究进展
被引量:
3
4
作者
张秋香
《企业技术开发(中旬刊)》
2013年第2期90-91,共2页
随着集成电路的发展,传统的电容器件已经不能满足射频电路的要求。金属-绝缘体-金属(MIM)电容器件成为替代传统电容器的新型电容器件。文章介绍了对MIM电容的要求,制备MIM电容的主要方法,总结了MIM电容的研究现状以及待解决的问题。
关键词
MIM电容
ALD
high-k材料
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职称材料
题名
High-k材料研究进展与存在的问题
被引量:
3
1
作者
杨雪娜
王弘
张寅
姚伟峰
尚淑霞
周静涛
刘延辉
机构
山东大学晶体材料国家重点实验室
山东大学环境与工程科学学院
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第5期731-735,共5页
基金
山东大学晶体材料国家重点实验室基金(No.04010125)资助项目
文摘
随着集成电路的飞速发展,SiO2作为传统的栅介质将不能满足MOSFET器件高集成度的要求,需要一种新型High-k材料来代替传统的SiO2,这就要综合考虑以下几个方面问题:(1)介电常数和势垒高度;(2)热稳定性;(3)薄膜形态;(4)界面质量;(5)与Si基栅兼容;(6)工艺兼容性;(7)可靠性。本文综述了几类High-k栅介质材料的研究现状及存在的问题。目前任何一种有望替代SiO2的栅介质材料都不能完全满足上述几点要求。但是,科学工作者们已经发现了几种有希望的High-k候选材料。
关键词
high-k材料
介电常数
势垒高度
热稳定性
薄膜形态
界面质量
栅介质
材料
半导体
材料
Keywords
high-k
materials
MOSFET
gate dielectric
thin films
分类号
TN304.2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
High-k材料MOS器件的PISCES-II模拟
被引量:
1
2
作者
陈震
向采兰
余志平
机构
清华大学微电子学研究所
出处
《微电子学与计算机》
CSCD
北大核心
2003年第3期65-67,72,共4页
基金
国家重点基础研究973项目(GG200036502)
文摘
High-k材料是指介电常数k高于SiO2的材料。使用high-k材料做栅绝缘层,是减小MOS器件栅绝缘层直接隧道击穿(DirectTunneling,DT)电流的有效方法。文章在二维器件模拟软件PISCES-II中添加了模拟以high-k材料为栅绝缘层的MOS器件模型,并对SiO2和high-k材料的MOS晶体管器件特性进行了模拟比较,成功地验证了所加high-k材料MOS器件模型的正确性。改进后的PISCES-II程序,可以方便地对以各种high-k材料为栅绝缘层的器件性能进行模拟。
关键词
high-k材料
MOS器件
PISCES-Ⅱ模拟
隧道击穿
MOSFET器件
Keywords
Device simulation,MOSFET,Gate,
high-k
分类号
TN386.1 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
物理学家发现新储能材料
3
作者
李星悦
赵博
出处
《电子与封装》
2016年第1期11-11,共1页
文摘
近日,卢森堡大学的物理学家们发现了一种具有特殊电性质的材料。三年前,这些物理学家基于理论计算预言了一种特殊材料的“异常”特性。而如今,他们通过与法国波尔多市保罗·帕斯卡尔研究中心的联合实验证实了计算结果,并发现了这种high-k材料(高介电材料)。使用该种材料有望制造出更高性能的储能器件。
关键词
储能
材料
物理学家
high-k材料
计算结果
特殊
材料
介电
材料
储能器件
电性质
分类号
O4-09 [理学—物理]
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职称材料
题名
MIM电容研究进展
被引量:
3
4
作者
张秋香
机构
上海建桥学院机电学院电子工程系
出处
《企业技术开发(中旬刊)》
2013年第2期90-91,共2页
文摘
随着集成电路的发展,传统的电容器件已经不能满足射频电路的要求。金属-绝缘体-金属(MIM)电容器件成为替代传统电容器的新型电容器件。文章介绍了对MIM电容的要求,制备MIM电容的主要方法,总结了MIM电容的研究现状以及待解决的问题。
关键词
MIM电容
ALD
high-k材料
分类号
TM53 [电气工程—电器]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
High-k材料研究进展与存在的问题
杨雪娜
王弘
张寅
姚伟峰
尚淑霞
周静涛
刘延辉
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
3
下载PDF
职称材料
2
High-k材料MOS器件的PISCES-II模拟
陈震
向采兰
余志平
《微电子学与计算机》
CSCD
北大核心
2003
1
下载PDF
职称材料
3
物理学家发现新储能材料
李星悦
赵博
《电子与封装》
2016
0
下载PDF
职称材料
4
MIM电容研究进展
张秋香
《企业技术开发(中旬刊)》
2013
3
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职称材料
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