用高分辨率快速成形系统制作细微结构

针对制作参数对制作分辨率的影响,利用高分辨率激光快速成形系统进行了试验研究。研究表明,制作时激光功率与光束扫描速度的比值越小,则制作的单壁结构厚度越小。采用准确的线宽补偿、较小的激光功率及具有较高临界曝光量的光敏树脂,可制作出具有较小槽宽尺寸的细微槽状结构。制作出了壁厚为0.011 nm的单壁结构及槽宽为0.034 mm的槽状结构。试验结果表明,该快速成形系统有很高的制作分辨率,具有制作扫描平面内细微结构的能力。