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基于遗传算法的PID控制在IC芯片烘箱中的应用
被引量:
5
1
作者
梁达平
赵利民
蔡志元
《电子与封装》
2018年第11期9-14,共6页
针对IC (集成电路)芯片烘箱在温度控制中因腔体均匀性差导致调节效率低的问题,在烘箱温度控制程序中引入了对初始条件不敏感、能够寻求全局最优解的自适应在线遗传算法PID控制策略。通过对改进前后两种设备的算法模型进行实测数据对比分...
针对IC (集成电路)芯片烘箱在温度控制中因腔体均匀性差导致调节效率低的问题,在烘箱温度控制程序中引入了对初始条件不敏感、能够寻求全局最优解的自适应在线遗传算法PID控制策略。通过对改进前后两种设备的算法模型进行实测数据对比分析,证明采用遗传PID控制方案的设备性能要远优于采用传统PID方案的设备,其温度调节速率明显提高,并具有良好的动态特性和鲁棒性。
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关键词
温度控制
遗传算法
ic
封装
ic
芯片烘箱
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职称材料
焦炉推焦操作自动显示记录系统的开发
被引量:
1
2
作者
高忠仁
郭辉
+7 位作者
胡汉
单永丰
李贵玉
史艳萍
刘景军
赵常喜
高明强
马伯川
《燃料与化工》
2000年第2期94-96,共3页
本文介绍了基于IC卡记录仪的焦炉推焦操作自动管理系统,这种利用IC卡转储数据的记录仪是针对焦炉推焦机工作环境开发的专用设备,能够长期稳定地在推焦机上运行,并自动显示和记录操作数据。
关键词
炼焦炉
推焦操作
自动显示记录
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职称材料
湿法腐蚀金属铝中胶黏附性技术研究
3
作者
任萍萍
《集成电路应用》
2018年第7期33-36,共4页
湿法腐蚀相对于干法腐蚀操作简单,成本低廉,用时短,产能高等优点在集成电路制造中获得广泛应用。基于湿法腐蚀存在侧向钻蚀的特性,因此对光刻胶和待腐蚀材料黏附性有一定要求。对于金属湿法腐蚀,光刻胶与金属等之间粘附性牢固程度直接...
湿法腐蚀相对于干法腐蚀操作简单,成本低廉,用时短,产能高等优点在集成电路制造中获得广泛应用。基于湿法腐蚀存在侧向钻蚀的特性,因此对光刻胶和待腐蚀材料黏附性有一定要求。对于金属湿法腐蚀,光刻胶与金属等之间粘附性牢固程度直接影响到湿法腐蚀金属线条的质量,决定金属线条的形貌。如果湿法腐蚀时发生浮胶,光刻胶和待刻蚀物质侧向钻蚀出现不可控现象,金属线条整体或者局部区域变细,会严重影响到产品使用可靠性。通过实验分析金属铝湿法腐蚀烘箱工艺,确定最佳烘箱工艺条件,提高胶的黏附性,并为建立烘箱温度监控提供指导。
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关键词
集成电路制造
湿法腐蚀
铝
光刻胶
黏附性
烘箱
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职称材料
题名
基于遗传算法的PID控制在IC芯片烘箱中的应用
被引量:
5
1
作者
梁达平
赵利民
蔡志元
机构
天水师范学院电信与电气工程学院
天水华天科技股份有限公司
出处
《电子与封装》
2018年第11期9-14,共6页
基金
甘肃省高等学校科研项目(2017B-72)
文摘
针对IC (集成电路)芯片烘箱在温度控制中因腔体均匀性差导致调节效率低的问题,在烘箱温度控制程序中引入了对初始条件不敏感、能够寻求全局最优解的自适应在线遗传算法PID控制策略。通过对改进前后两种设备的算法模型进行实测数据对比分析,证明采用遗传PID控制方案的设备性能要远优于采用传统PID方案的设备,其温度调节速率明显提高,并具有良好的动态特性和鲁棒性。
关键词
温度控制
遗传算法
ic
封装
ic
芯片烘箱
Keywords
temperature control
genet
ic
algorithm
ic
package
ic oven
分类号
TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
焦炉推焦操作自动显示记录系统的开发
被引量:
1
2
作者
高忠仁
郭辉
胡汉
单永丰
李贵玉
史艳萍
刘景军
赵常喜
高明强
马伯川
机构
鞍山焦化耐火材料设计研究总院
鞍钢化工总厂
出处
《燃料与化工》
2000年第2期94-96,共3页
文摘
本文介绍了基于IC卡记录仪的焦炉推焦操作自动管理系统,这种利用IC卡转储数据的记录仪是针对焦炉推焦机工作环境开发的专用设备,能够长期稳定地在推焦机上运行,并自动显示和记录操作数据。
关键词
炼焦炉
推焦操作
自动显示记录
Keywords
ic
card Coke
oven
Control Computer
分类号
TQ522.15 [化学工程—煤化学工程]
TQ522.16 [化学工程—煤化学工程]
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职称材料
题名
湿法腐蚀金属铝中胶黏附性技术研究
3
作者
任萍萍
机构
上海先进半导体制造股份有限公司
出处
《集成电路应用》
2018年第7期33-36,共4页
基金
上海市科学技术委员会科技创新行动计划高新技术基金(17DZ1100300)
文摘
湿法腐蚀相对于干法腐蚀操作简单,成本低廉,用时短,产能高等优点在集成电路制造中获得广泛应用。基于湿法腐蚀存在侧向钻蚀的特性,因此对光刻胶和待腐蚀材料黏附性有一定要求。对于金属湿法腐蚀,光刻胶与金属等之间粘附性牢固程度直接影响到湿法腐蚀金属线条的质量,决定金属线条的形貌。如果湿法腐蚀时发生浮胶,光刻胶和待刻蚀物质侧向钻蚀出现不可控现象,金属线条整体或者局部区域变细,会严重影响到产品使用可靠性。通过实验分析金属铝湿法腐蚀烘箱工艺,确定最佳烘箱工艺条件,提高胶的黏附性,并为建立烘箱温度监控提供指导。
关键词
集成电路制造
湿法腐蚀
铝
光刻胶
黏附性
烘箱
Keywords
ic
manufacturing
wet etch
aluminum
photo resistor
adhesion
oven
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于遗传算法的PID控制在IC芯片烘箱中的应用
梁达平
赵利民
蔡志元
《电子与封装》
2018
5
下载PDF
职称材料
2
焦炉推焦操作自动显示记录系统的开发
高忠仁
郭辉
胡汉
单永丰
李贵玉
史艳萍
刘景军
赵常喜
高明强
马伯川
《燃料与化工》
2000
1
下载PDF
职称材料
3
湿法腐蚀金属铝中胶黏附性技术研究
任萍萍
《集成电路应用》
2018
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
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