基于遗传算法的PID控制在IC芯片烘箱中的应用

针对IC (集成电路)芯片烘箱在温度控制中因腔体均匀性差导致调节效率低的问题,在烘箱温度控制程序中引入了对初始条件不敏感、能够寻求全局最优解的自适应在线遗传算法PID控制策略。通过对改进前后两种设备的算法模型进行实测数据对比分析,证明采用遗传PID控制方案的设备性能要远优于采用传统PID方案的设备,其温度调节速率明显提高,并具有良好的动态特性和鲁棒性。

焦炉推焦操作自动显示记录系统的开发

本文介绍了基于ＩＣ卡记录仪的焦炉推焦操作自动管理系统，这种利用ＩＣ卡转储数据的记录仪是针对焦炉推焦机工作环境开发的专用设备，能够长期稳定地在推焦机上运行，并自动显示和记录操作数据。

湿法腐蚀金属铝中胶黏附性技术研究

湿法腐蚀相对于干法腐蚀操作简单,成本低廉,用时短,产能高等优点在集成电路制造中获得广泛应用。基于湿法腐蚀存在侧向钻蚀的特性,因此对光刻胶和待腐蚀材料黏附性有一定要求。对于金属湿法腐蚀,光刻胶与金属等之间粘附性牢固程度直接影响到湿法腐蚀金属线条的质量,决定金属线条的形貌。如果湿法腐蚀时发生浮胶,光刻胶和待刻蚀物质侧向钻蚀出现不可控现象,金属线条整体或者局部区域变细,会严重影响到产品使用可靠性。通过实验分析金属铝湿法腐蚀烘箱工艺,确定最佳烘箱工艺条件,提高胶的黏附性,并为建立烘箱温度监控提供指导。