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Study on the performance of silver paste sintered sealing joints for hermetic packaging 被引量:3
1
作者 Lin Liting Zhang Yongfei Li Xin 《China Welding》 CAS 2022年第1期29-36,共8页
The traditional hermetic packaging methods,which require high temperatures and high voltages,would have adverse effects on electronics devices.Based on current-assisted sintering technology,we proposed a new hermetic ... The traditional hermetic packaging methods,which require high temperatures and high voltages,would have adverse effects on electronics devices.Based on current-assisted sintering technology,we proposed a new hermetic packaging method using silver paste.Comparing the microstructure of the joints sintered with different currents,we found that with the increasing sintering current from 4.7 kA to 5.3 kA,the density of the joint increases,which improves the hermeticity and bonding strength of the joints.The results of thermal cycling tests showed that the sealing joints sintered at 4.7 kA with larger porosity are more prone to fail because pores tend to be sources of defects under thermal cycling.After 250 ℃ high thermal storage,there is the coarsening of the pores and the delamination near the Ag/Au interface,degrading the sealing performance of the sintered joint.Besides,the sealing joints sintered at 5.3 kA exhibit superior reliability when exposed to high temperatures. 展开更多
关键词 silver paste electric-current-assisted sintering hermetic package reliability
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创新型超薄IC封装技术 被引量:1
2
作者 杨建生 《电子与封装》 2006年第11期1-4,9,共5页
圆片薄型化工艺技术的改进,以及对小型化、便携式产品的强烈的市场需求,共同推动了封装技术的创新。文中主要论述了与超薄型集成电路封装技术相关的薄型硅集成电路应用、超薄型圆片的制造、薄型化切割技术、同平面互连技术、倒装片装配... 圆片薄型化工艺技术的改进,以及对小型化、便携式产品的强烈的市场需求,共同推动了封装技术的创新。文中主要论述了与超薄型集成电路封装技术相关的薄型硅集成电路应用、超薄型圆片的制造、薄型化切割技术、同平面互连技术、倒装片装配及其可靠性问题。 展开更多
关键词 超薄型ic封装技术 超薄型圆片制造 薄型化切割技术 同平面互连 可靠性
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IC封装溢料低温低碱高效软化液的开发 被引量:2
3
作者 卢建红 胡青华 +1 位作者 谢立洋 赵建龙 《中国集成电路》 2015年第10期69-73,共5页
去溢料工序是IC封装件电镀前的关键工艺,本文介绍了不同溢料除去方法的优劣,着重讨论了DFI-120低温低碱软化液的退除效果,及软化液的稳定性。本文还从封装体溢料软化清除的可靠性角度,测试了DFI-120用超声波检测、易焊性,及溶液对铜、... 去溢料工序是IC封装件电镀前的关键工艺,本文介绍了不同溢料除去方法的优劣,着重讨论了DFI-120低温低碱软化液的退除效果,及软化液的稳定性。本文还从封装体溢料软化清除的可靠性角度,测试了DFI-120用超声波检测、易焊性,及溶液对铜、不锈钢等材料的腐蚀性,通过综合分析,认为DFI-120具有除去效率高、安全、可靠等特性。 展开更多
关键词 ic封装 溢料 化学法软化 可靠性
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提高微波器件封装可靠性的工艺研究 被引量:4
4
作者 庞学满 曹坤 +2 位作者 唐利锋 夏庆水 王子良 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期383-386,共4页
分析了微波外壳产生失效的主要原因,针对其在制备过程中的关键工艺以及技术难点展开讨论。分别论述了影响外壳可靠性的各个关键因素以及影响机理,包括瓷件尺寸精度和平整度、金属化强度与钎焊技术等,结合现有的工艺情况,分别提出相应的... 分析了微波外壳产生失效的主要原因,针对其在制备过程中的关键工艺以及技术难点展开讨论。分别论述了影响外壳可靠性的各个关键因素以及影响机理,包括瓷件尺寸精度和平整度、金属化强度与钎焊技术等,结合现有的工艺情况,分别提出相应的控制措施,并取得良好的效果。 展开更多
关键词 微波外壳 可靠性 封接强度 气密性
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三维封装中引线键合技术的实现与可靠性 被引量:3
5
作者 陆裕东 何小琦 恩云飞 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2009年第5期710-713,共4页
结合半导体封装的发展,研究了低线弧、叠层键合、引线上芯片、外悬芯片、长距离键合和双面键合6种引线互连封装技术;分析了各种引线键合的技术特点和可靠性。传统的引线键合技术通过不断地改进,成为三维高密度封装中的通用互连技术,新... 结合半导体封装的发展,研究了低线弧、叠层键合、引线上芯片、外悬芯片、长距离键合和双面键合6种引线互连封装技术;分析了各种引线键合的技术特点和可靠性。传统的引线键合技术通过不断地改进,成为三维高密度封装中的通用互连技术,新技术的出现随之会产生一些新的可靠性问题;同时,对相应的失效分析技术也提出了更高的要求。多种互连引线键合技术的综合应用,满足了半导体封装的发展需求;可靠性是技术应用后的首要技术问题。 展开更多
关键词 引线键合 集成电路封装 可靠性 失效分析
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芯片封装中铜丝键合技术的研究进展 被引量:11
6
作者 王彩媛 孙荣禄 《材料导报(纳米与新材料专辑)》 EI 2009年第2期206-209,共4页
铜线具有优良的机械、电、热性能,用其代替金线可以缩小焊接间距、提高芯片频率和可靠性。介绍了引线键合工艺的概念、基本形式和工艺参数;针对铜丝易氧化的特性指出,焊接时必须采用特殊的防氧化工艺,以改善其焊接性能;最后对铜丝键合... 铜线具有优良的机械、电、热性能,用其代替金线可以缩小焊接间距、提高芯片频率和可靠性。介绍了引线键合工艺的概念、基本形式和工艺参数;针对铜丝易氧化的特性指出,焊接时必须采用特殊的防氧化工艺,以改善其焊接性能;最后对铜丝键合可靠性及主要失效模式进行了分析。 展开更多
关键词 引线键合 铜丝球焊 ic封装 可靠性测试
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封装形式对电子元器件长期储存可靠性研究 被引量:10
7
作者 张倩 《电子元件与材料》 CAS CSCD 2017年第6期99-104,共6页
长期储存是解决军用电子元器件停产断档问题的常用和重要方法之一。本文首先分析了长期储存中电子元器件的失效原因,包括静电、潮湿、温度、污染和震动,然后研究了对封装材料和环境的通用要求以及各封装形式对长期储存的特殊要求,最后... 长期储存是解决军用电子元器件停产断档问题的常用和重要方法之一。本文首先分析了长期储存中电子元器件的失效原因,包括静电、潮湿、温度、污染和震动,然后研究了对封装材料和环境的通用要求以及各封装形式对长期储存的特殊要求,最后比较了每种储存形式的实际寿命和优缺点。证实只要方法得当,每种储存形式均可实现大于15年以上的长期有效储存。 展开更多
关键词 气密封装 塑料封装 裸芯片 长期储存 电子元器件 可靠性
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多层电镀法制备三维陶瓷基板技术研究 被引量:1
8
作者 陈金祥 田壮 +1 位作者 程浩 刘松坡 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2021年第3期280-285,共6页
针对光电器件气密封装需求,提出采用多层电镀技术制备含金属围坝的三维陶瓷基板。分析了该技术可行性,重点研究了电镀时间与电流密度对镀层厚度影响,随后采用多层图形电镀技术制备了含铜围坝的三维陶瓷基板,最后对其围坝结构精度、结合... 针对光电器件气密封装需求,提出采用多层电镀技术制备含金属围坝的三维陶瓷基板。分析了该技术可行性,重点研究了电镀时间与电流密度对镀层厚度影响,随后采用多层图形电镀技术制备了含铜围坝的三维陶瓷基板,最后对其围坝结构精度、结合强度及可靠性进行了测试,并与粘接法制备的三维陶瓷基板进行对比。结果表明,采用多层电镀法制备的三维陶瓷基板具有围坝尺寸精度高(误差控制在10μm以内)、结合强度高(剪切强度高达45.5 MPa)、耐热性好(可耐受350℃高温)、腔体气密性好(漏率小于3×10^(-8) Pa·m^(3)·s^(-1))等技术优势,有望在光电器件(如深紫外LED、VCSEL激光器、加速度计、陀螺仪等)封装中得到应用。 展开更多
关键词 陶瓷基板 气密封装 电镀 可靠性 电子封装
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塑封集成电路离层对可靠性的影响及解决方法 被引量:12
9
作者 邹小花 王永忠 周鸣新 《电子与封装》 2009年第5期15-17,共3页
塑封集成电路因其是非气密性封装,封装材料热膨胀系数的不同以及被粘接材料表面能低,是造成塑封电路离层或开裂的内部原因。通过选择特殊的封装材料(特别是框架材料)和工艺可以解决离层或开裂问题,大大提高塑封集成电路的稳定性和可靠... 塑封集成电路因其是非气密性封装,封装材料热膨胀系数的不同以及被粘接材料表面能低,是造成塑封电路离层或开裂的内部原因。通过选择特殊的封装材料(特别是框架材料)和工艺可以解决离层或开裂问题,大大提高塑封集成电路的稳定性和可靠性。水汽是造成塑封集成电路离层或开裂的外部原因,可以通过驱除和防潮措施来解决。要提升塑封集成电路可靠性,必须从技术和工艺上解决塑封电路离层或开裂问题。我们在这方面做了有益的尝试,取得了良好的效果,为拓展塑封集成电路的应用领域创造了条件。 展开更多
关键词 塑封集成电路 离层 可靠性
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集成电路封装技术可靠性探讨 被引量:3
10
作者 毕锦栋 林长苓 《电子产品可靠性与环境试验》 2008年第6期34-38,共5页
阐述了集成电路封装的作用和要求,从集成电路封装材料和封装形式两个方面对集成电路封装可靠性进行了初步的探讨;并对新工艺、新技术下的新型封装及其可靠性进行了介绍。。
关键词 集成电路 封装材料 封装形式 可靠性
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高密度高可靠CQFN封装设计 被引量:10
11
作者 丁荣峥 马国荣 +1 位作者 宋旭峰 史丽英 《电子与封装》 2013年第12期1-5,共5页
文中阐述了高速、高性能集成电路所需高密度、高可靠的表面贴装型陶瓷封装,讨论了多层高温共烧陶瓷工艺如何设计与塑料封装QFN完全兼容。结合0.50 mm节距CQFN72外壳设计,就如何解决CQFN封装的散热、高频电性能、薄型封装的气密性和结构... 文中阐述了高速、高性能集成电路所需高密度、高可靠的表面贴装型陶瓷封装,讨论了多层高温共烧陶瓷工艺如何设计与塑料封装QFN完全兼容。结合0.50 mm节距CQFN72外壳设计,就如何解决CQFN封装的散热、高频电性能、薄型封装的气密性和结构强度,以及封装电路的二次组装中助焊剂清洗不彻底、焊接层/焊点有空洞和桥连短路、焊点难检查和返工困难等问题进行了论述,为高密度、高性能、高可靠封装提供了新的封装结构和技术途径。 展开更多
关键词 CQFN 热阻 气密性封装 结构强度 组装 可靠性
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长期贮存对气密性封装的影响研究 被引量:2
12
作者 翁正 周建洪 刘红民 《现代电子技术》 2014年第2期138-143,共6页
密封微电子器件在对可靠性要求较高领域占有绝对的地位,为了研究长期室内自然贮存对密封微电子封装性能的影响,对贮存在北京某研究所库房的多种气密性封装微电子器件进行试验分析。运用破坏性物理分析(DPA)方法检验样品的密封性、内部... 密封微电子器件在对可靠性要求较高领域占有绝对的地位,为了研究长期室内自然贮存对密封微电子封装性能的影响,对贮存在北京某研究所库房的多种气密性封装微电子器件进行试验分析。运用破坏性物理分析(DPA)方法检验样品的密封性、内部形貌、键合强度和芯片粘贴强度等,总结出长期贮存对气密性封装器件封装性能影响的结论;并根据密封性测试结果对器件分组,分别得到密封合格与不合格产品长期贮存后封装性能的实测数据,对密封性能对元器件贮存可靠性的影响进行研究,为元器件的筛选和贮存提供借鉴。 展开更多
关键词 长期贮存 气密性封装 封装可靠性
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密封封装内部水汽含量判据研究 被引量:4
13
作者 杨晨 张素娟 《电子产品可靠性与环境试验》 2010年第5期18-22,共5页
密封封装内部的水汽对于半导体器件的可靠性是一种威胁,由此导致的硅表面铝金属线的腐蚀是一种主要的失效机理。为了防止密封封装内部发生腐蚀失效,从而提高器件的可靠性,美军标和我国国军标均给出了内部水汽含量的试验流程和判据。然... 密封封装内部的水汽对于半导体器件的可靠性是一种威胁,由此导致的硅表面铝金属线的腐蚀是一种主要的失效机理。为了防止密封封装内部发生腐蚀失效,从而提高器件的可靠性,美军标和我国国军标均给出了内部水汽含量的试验流程和判据。然而另一些研究表明,水汽的单独存在并不会导致铝线腐蚀失效。研究了水汽在密封器件的腐蚀失效机理中的作用,对硅表面铝线的腐蚀过程进行了数学描述,分析了目前标准中内部水汽含量判据,并给出了防止密封器件腐蚀失效的建议。 展开更多
关键词 密封封装 内部水汽含量 腐蚀 失效机理 集成电路可靠性
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有限元数值模拟在BGA/QFP/CCGA器件焊点可靠性研究中的应用 被引量:6
14
作者 夏卓杰 张亮 +1 位作者 熊明月 赵猛 《电子与封装》 2020年第2期1-7,共7页
有限元数值模拟方法因其可以有效研究IC封装中无铅焊点的可靠性,被国内外专家学者所青睐,使得无铅焊点可靠性数值模拟成为IC封装领域的重要研究课题。综述了有限元法在球珊阵列封装(BGA)、方型扁平式封装(QFP)、陶瓷柱栅阵列封装(CCGA)... 有限元数值模拟方法因其可以有效研究IC封装中无铅焊点的可靠性,被国内外专家学者所青睐,使得无铅焊点可靠性数值模拟成为IC封装领域的重要研究课题。综述了有限元法在球珊阵列封装(BGA)、方型扁平式封装(QFP)、陶瓷柱栅阵列封装(CCGA)3种电子器件无铅焊点可靠性方面的研究成果。浅析该领域国内外的研究现状,探究有限元方法在无铅焊点可靠性研究方面的不足及解决办法,展望无铅焊点可靠性有限元模拟的未来发展趋势,为IC封装领域无铅焊点可靠性的研究提供理论支撑。 展开更多
关键词 有限元 ic封装 无铅焊点 可靠性
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先进集成电路制造的圆片级可靠性系统
15
作者 曾繁中 简维廷 +2 位作者 陈雷刚 施雯 蔡炳初 《电子产品可靠性与环境试验》 2004年第5期16-20,共5页
圆片级可靠性测试是从可靠性物理的基础上发展起来的,利用工艺过程统计的控制方法来收集数据,并且通过快速的参数测量来检测出导致产品可靠性退化的原因。这种测试采用的是较高的、但在容许范围之内的测量应力(如温度、电压、电流),将... 圆片级可靠性测试是从可靠性物理的基础上发展起来的,利用工艺过程统计的控制方法来收集数据,并且通过快速的参数测量来检测出导致产品可靠性退化的原因。这种测试采用的是较高的、但在容许范围之内的测量应力(如温度、电压、电流),将其加到圆片上的测试结构中,然后测量由这种应力所产生的品质退化。圆片级可靠性测试系统主要分4个阶段:圆片级可靠性设计与发展(WLRD:WLRDesign&Develop鄄ment);圆片级可靠性评估及验证(WLRA:WLRAssessment);圆片级可靠性基准建立(WLRB:WLRBase鄄line);圆片级可靠性控制(WLRC:WLRControl)。WLR系统已经成功地运用于从0.35μm到0.13μm的逻辑电路及存储器的生产中。 展开更多
关键词 集成电路 圆片级可靠性 封装可靠性
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基于封装工艺识别翻新塑封集成电路 被引量:7
16
作者 杨城 张吉 +1 位作者 马清桃 潘凌宇 《电子与封装》 2013年第10期5-9,共5页
塑封集成电路在高可靠性领域应用越来越广泛,国内已有相当数量的塑封集成电路应用于国防领域。但是,目前大部分关键塑封集成电路依赖进口,采购渠道不是很通畅,市场中存在大量的翻新件。文章基于塑封集成电路封装工艺,简要介绍如何识别... 塑封集成电路在高可靠性领域应用越来越广泛,国内已有相当数量的塑封集成电路应用于国防领域。但是,目前大部分关键塑封集成电路依赖进口,采购渠道不是很通畅,市场中存在大量的翻新件。文章基于塑封集成电路封装工艺,简要介绍如何识别翻新塑封集成电路。 展开更多
关键词 高可靠性 翻新 塑封集成电路
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大尺寸气密性陶瓷封装盖板可靠性数值模拟 被引量:2
17
作者 李祝安 朱思雄 +2 位作者 周立彦 王剑峰 张振越 《电子产品可靠性与环境试验》 2021年第3期6-10,共5页
大尺寸气密性陶瓷封装器件在生产、运输和服役过程中不可避免地会受到各种载荷的影响,由于盖板尺寸过大,容易发生可靠性问题,从而导致电路受到盐雾、灰尘和水汽等物质的侵蚀,影响电路的使用和寿命。依据有限元法,使用Ansys仿真软件,对... 大尺寸气密性陶瓷封装器件在生产、运输和服役过程中不可避免地会受到各种载荷的影响,由于盖板尺寸过大,容易发生可靠性问题,从而导致电路受到盐雾、灰尘和水汽等物质的侵蚀,影响电路的使用和寿命。依据有限元法,使用Ansys仿真软件,对大尺寸陶瓷封装器件进行参数化建模,模拟了包括随机振动、机械冲击和恒定加速度在内的结构可靠性试验过程,研究了盖板及焊框厚度对盖板可靠性的影响,得到如下结论:焊框厚度对盖板的可靠性影响较小,增加盖板厚度可以大幅度地提升封装中盖板的可靠性。 展开更多
关键词 气密性 大尺寸 陶瓷封装 盖板 可靠性 仿真
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柯伐镀金盖板电化学腐蚀的剖析及其防腐措施
18
作者 杨钊何 《微电子学》 CAS CSCD 1995年第4期51-53,共3页
对半导体器件封装的气密性失效进行了研究。发现,柯伐镀金盖板遭致电化学腐蚀是导致气密性失效的主要原因。对电解液的形成和电化学腐蚀机理进行了深入的分析。提出了防止腐蚀,提高器件气密可靠性的思路和方法。
关键词 集成电路 封装 气密可靠性 半导体器件 防腐
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提高集成电路质量等级的封装过程控制方法 被引量:1
19
作者 关亚男 赵鹤然 马仲丽 《微处理机》 2020年第6期5-8,共4页
为顺应集成电路快速发展及广泛应用的趋势、应对更加复杂恶劣的使用环境、进一步提高集成电路的质量等级,以某款典型集成电路产品为研究对象,对比S级、BG级和B级质量等级筛选要求,根据电路应用需求制定封装工艺路径,并确定各封装环节中... 为顺应集成电路快速发展及广泛应用的趋势、应对更加复杂恶劣的使用环境、进一步提高集成电路的质量等级,以某款典型集成电路产品为研究对象,对比S级、BG级和B级质量等级筛选要求,根据电路应用需求制定封装工艺路径,并确定各封装环节中原材料类型。通过研究划片、粘片、键合、密封等封装工艺的质量控制方法,明确各工艺环节中对产品质量有重要影响的关键因素和参数,并采用三个批次共300只样品进行筛选试验,验证所用控制方法的有效性。实验结果验证了严格生产过程控制及质量检验对于有效提高产品质量一致性的重要意义。 展开更多
关键词 集成电路 电子封装 可靠性 筛选 质量控制
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耐高温微系统气密封装技术及高温可靠性研究 被引量:2
20
作者 刘佳欣 彭洋 +2 位作者 胡剑雄 徐建 陈明祥 《中国科学:信息科学》 CSCD 北大核心 2023年第4期803-814,共12页
针对武器装备、航空航天等领域高温封装需求,提出一种耐高温微系统气密封装技术.选用氮化铝直接电镀陶瓷基板(direct plated ceramic substrate, DPC)作为封装散热基板,可伐(Kovar)合金作为封装盖板,金锡合金(Au80Sn20)作为焊接材料实... 针对武器装备、航空航天等领域高温封装需求,提出一种耐高温微系统气密封装技术.选用氮化铝直接电镀陶瓷基板(direct plated ceramic substrate, DPC)作为封装散热基板,可伐(Kovar)合金作为封装盖板,金锡合金(Au80Sn20)作为焊接材料实现气密封装,并通过有限元模拟优化了最小焊接应力下的焊环厚度.根据设计方案制备了集成热敏电阻和微型加速度计的微系统器件.测试结果表明,微系统封装样品焊接质量良好,界面无孔隙和裂纹.将封装后的微系统在200℃下老化1000 h,测试其老化前后的气密性和芯片电性能.结果表明,老化后微系统仍具有较高气密性,封装漏率达到10-9Pa·m3/s量级,热敏电阻及微型加速度计电信号正常.实验证明该耐高温微系统气密封装技术可满足高温应用可靠性需求,有望应用于航空航天及军工领域. 展开更多
关键词 高温封装 微系统 气密封装 直接电镀陶瓷基板(DPC) 金锡焊片 可靠性
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