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Taurus workbenchyong用于IC制造加工工艺的实验研究
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作者 侯国宪 李惠军 赵国庆 《河北理工学院学报》 2004年第3期53-56,70,共5页
介绍了集成电路虚拟工厂系统TaurusWorkbench。并基于CMOS工艺的特点,在TaurusWorkbench环境下进行了亚微米级n沟器件的核心参数优化实验研究,结果印证了集成电路虚拟工厂技术为工艺优化提供了便捷有效的方法。
关键词 TAURUS workbenehyong ic制造加工工艺 阈值电压 优化 仿真 集成电路虚拟工厂
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微电子技术与蜂窝电话
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作者 岳云 《微电子技术》 1999年第5期9-12,共4页
80年代,许多具有革命性意义的电子产品为芯片制造商提供了新的发展机遇。进入90年代以后,越来越多的数字化产品的面市加速了整机便携性的提高。本文以蜂窝电话为例阐述了微电子技术在此进程中所起的重要作用。
关键词 微电子技术 蜂窝电话 ic加工工艺
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电气和电子工程用材料科学
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《中国无线电电子学文摘》 1996年第1期2-7,共6页
关键词 二氧化锡薄膜 等离子增强化学气相沉积 材料科学 ic加工工艺 微机控制 电子器件 薄膜成形 剥离工艺 生长方法 制膜工艺
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