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用电子显微镜剖析存储器器件
被引量:
3
1
作者
刘剑霜
谢锋
+1 位作者
陈一
胡刚
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第5期68-71,共4页
简要介绍了扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)两种当前主要的电子显微分析工具在存储器器件分析过程中的应用,讨论了它们各自的适用范围以及测量精度,指出两者的有机结合可以得到比较全面的分析结果。
关键词
电子显微镜
存储器
透射电镜
栅氧化层
集成电路
ic微结构
下载PDF
职称材料
题名
用电子显微镜剖析存储器器件
被引量:
3
1
作者
刘剑霜
谢锋
陈一
胡刚
机构
复旦大学材料科学系国家微分析中心
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第5期68-71,共4页
文摘
简要介绍了扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)两种当前主要的电子显微分析工具在存储器器件分析过程中的应用,讨论了它们各自的适用范围以及测量精度,指出两者的有机结合可以得到比较全面的分析结果。
关键词
电子显微镜
存储器
透射电镜
栅氧化层
集成电路
ic微结构
Keywords
SEM
TEM
gate oxide layer
分类号
TP333 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
用电子显微镜剖析存储器器件
刘剑霜
谢锋
陈一
胡刚
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004
3
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职称材料
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