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题名一种提高显微数控平台控制精度的细分驱动算法
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作者
邓耀华
吴黎明
张力锴
陈景郁
苏振锐
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机构
广东工业大学信息工程学院
华南理工大学机械与汽车工程学院
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出处
《机械设计与制造》
北大核心
2010年第5期188-190,共3页
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基金
广东省科技计划攻关项目(2004A10403008)
广州市科技攻关项目(2007Z2-D3161)
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文摘
高精密显微数控工作台是IC晶片自动光学检测的核心部件之一,其运动精度直接影响光学检测设备的分辨力,工作台的运动速度和加速度会影响整个IC晶片检测的工作效率。首先给出了高精度工作台的机械设计和工作台嵌入式控制结构,然后针对工作台的驱动精度进行研究,深入分析了驱动电机细分控制中的正余弦细分控制方法,使用细分表查表算法进行计算,分析了查表法存在的不足方面,提出了多级细分控制算法,利用圆的多边形逼近算法动态计算细分电流值,保证了高次细分情况下电机线圈电流矢量的均匀性,使得微步距角的分配更均匀,有效的提高了工作台运动的平稳性和控制精度,为IC晶片的精密检测提供了可靠的保证。
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关键词
ic晶片检测
高精度工作台
自适应细分
逼近算法
嵌入式
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Keywords
ic chip detection
High precision workbench
Adaptive subdivision
Approximation algorithm
Embedded
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分类号
TH16
[机械工程—机械制造及自动化]
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