划分IC缺陷团的聚类算法

大量实验表明了在集成电路 (IC)制造过程中形成的缺陷团之间具有很强的相关性 ,然而现用于划分缺陷团的方法均忽略了缺陷之间的相关性 .因此 ,得到的缺陷分布规律不能有效地反映缺陷在圆片上的分布 .为了提高IC成品率和可靠性仿真和设计的精度 ,提高缺陷分布模型的准确性 ,该文提出了划分缺陷团的聚类算法 .该方法依据缺陷形成的动力学基础 ,充分考虑了缺陷团之间的相关性 .实验证明该算法用于划分