IC高速装片设备飞行视觉系统研究

针对IC高速装片设备高速高精度的装片需求,提出了一种新型辅助标识飞行视觉定位方法,解决了目前IC高速装片设备存在飞行视觉定位精度差的问题。通过在键合机构吸嘴中心制作圆环型辅助标识并搭建飞行视觉测试平台进行试验,通过优化芯片运动速度、曝光时间、增益、光源强度和程序扫描周期之间匹配关系的实验,得到运动速度在850 mm/s,曝光时间在50μs增益为1 000,工作距离为170 mm、光源强度为300最佳图像值,在识别精度为3.5μm下装片效率提高了31%。