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4H-SiC ICP深刻蚀工艺研究
被引量:
9
1
作者
喻兰芳
梁庭
+3 位作者
熊继军
崔海波
刘雨涛
张瑞
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2014年第10期8-10,共3页
SiC是一种新型的半导体材料,由于化学性质十分稳定,目前还未发现有哪种酸或碱能在室温下对其起腐蚀作用,因此,在SiC的加工工艺中常采用干法刻蚀。采用GSE 200plus刻蚀机对SiC进行刻蚀,研究了刻蚀气体、源功率RF1、射频功率RF2及腔室压...
SiC是一种新型的半导体材料,由于化学性质十分稳定,目前还未发现有哪种酸或碱能在室温下对其起腐蚀作用,因此,在SiC的加工工艺中常采用干法刻蚀。采用GSE 200plus刻蚀机对SiC进行刻蚀,研究了刻蚀气体、源功率RF1、射频功率RF2及腔室压强对刻蚀结果的影响,并对产生的结果进行了相关分析。提出了一种SiC ICP深刻蚀方法,对SiC深刻蚀技术具有重要的指导意义。
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关键词
SIC
icp深刻蚀
刻
蚀
气体
源功率RF1
射频功率RF2
腔室压强
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职称材料
硅微电容式二维加速度传感器的加工与测试(英文)
被引量:
1
2
作者
刘妤
温志渝
+1 位作者
陈李
杨红韵
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第4期444-447,共4页
设计了一种基于体硅加工技术的单敏感质量元差分电容式二维加速度传感器,并采用硅-玻璃静电键合、ICP工艺释放等技术完成了二维加速度传感器的加工。测试结果表明:该二维加速度传感器两个检测方向上的灵敏度基本一致,线性度较好,交叉干...
设计了一种基于体硅加工技术的单敏感质量元差分电容式二维加速度传感器,并采用硅-玻璃静电键合、ICP工艺释放等技术完成了二维加速度传感器的加工。测试结果表明:该二维加速度传感器两个检测方向上的灵敏度基本一致,线性度较好,交叉干扰较小。X、Y方向的灵敏度分别为58.3 mV/gn、55.6 mV/gn;线性相关系数分别为0.9968、0.9961,交叉灵敏度分别为6.17%、7.82%。
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关键词
MEMS加速度传感器
二维电容式传感器
体硅工艺
icp深刻蚀
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职称材料
阵列式高压交直流LED芯片的隔离工艺
3
作者
田婷
任芳
+6 位作者
梁萌
王江华
刘志强
伊晓燕
袁国栋
王军喜
李晋闽
《照明工程学报》
2019年第3期81-85,95,共6页
阵列式高压交/直流发光二极管(LED)在芯片制作过程中通过多个LED微晶粒的串并联来实现交流高压供电,属于高电压小电流的工作状态,与传统LED相比在电流扩展、封装及驱动电路设计等诸多方面有更大的优势。本文主要研究了阵列式高压交直流...
阵列式高压交/直流发光二极管(LED)在芯片制作过程中通过多个LED微晶粒的串并联来实现交流高压供电,属于高电压小电流的工作状态,与传统LED相比在电流扩展、封装及驱动电路设计等诸多方面有更大的优势。本文主要研究了阵列式高压交直流LED器件制备过程中的芯片隔离工艺,并对感应耦合等离子体(ICP)深刻蚀隔离以及激光划槽两种芯片隔离方法进行了对比。通过扫描电子显微镜(SEM)表征刻蚀形貌以及最终器件的伏安特性和光输出功率表明ICP深刻蚀隔离具有更高的灵活性且可以形成陡直的隔离侧壁,且可以实现较深的刻蚀深度,更有助于制备光电性能优良的阵列式高压交/直流LED器件。
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关键词
LED
芯片隔离
icp深刻蚀
激光划槽
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职称材料
新型LIGA掩摸板制造工艺研究
4
作者
陈迪
伊福廷
《高能物理与核物理》
CSCD
北大核心
2001年第B12期131-134,共4页
LIGA掩模板的制备是LIGA技术中的关键工艺。利用最近发展起来的硅感应耦合等离子体(ICP)深层刻蚀工艺开发出了新型LIGA掩模板。与其它类型的LIGA掩模板相比,该掩模板具有加工工艺简单、价格低廉等优点。利用该LIGA掩模板进行了LIGA...
LIGA掩模板的制备是LIGA技术中的关键工艺。利用最近发展起来的硅感应耦合等离子体(ICP)深层刻蚀工艺开发出了新型LIGA掩模板。与其它类型的LIGA掩模板相比,该掩模板具有加工工艺简单、价格低廉等优点。利用该LIGA掩模板进行了LIGA技术的研究,得到了比较理想的结果。
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关键词
制造工艺
LIGA掩模板
icp深刻蚀
LIGA技术
微加工
原文传递
题名
4H-SiC ICP深刻蚀工艺研究
被引量:
9
1
作者
喻兰芳
梁庭
熊继军
崔海波
刘雨涛
张瑞
机构
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
中北大学电子测试技术国防科技重点实验室
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2014年第10期8-10,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目(51075375)
国家重点基础研究计划("973")资助项目(2010CB334703)
文摘
SiC是一种新型的半导体材料,由于化学性质十分稳定,目前还未发现有哪种酸或碱能在室温下对其起腐蚀作用,因此,在SiC的加工工艺中常采用干法刻蚀。采用GSE 200plus刻蚀机对SiC进行刻蚀,研究了刻蚀气体、源功率RF1、射频功率RF2及腔室压强对刻蚀结果的影响,并对产生的结果进行了相关分析。提出了一种SiC ICP深刻蚀方法,对SiC深刻蚀技术具有重要的指导意义。
关键词
SIC
icp深刻蚀
刻
蚀
气体
源功率RF1
射频功率RF2
腔室压强
Keywords
SiC
icp
deep etching
etching gas
source power RF1
radio frequency power RF2
chamber pressure
分类号
TN212 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
硅微电容式二维加速度传感器的加工与测试(英文)
被引量:
1
2
作者
刘妤
温志渝
陈李
杨红韵
机构
重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室
重庆大学微系统研究中心
重庆理工大学汽车学院
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第4期444-447,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(10176040)
文摘
设计了一种基于体硅加工技术的单敏感质量元差分电容式二维加速度传感器,并采用硅-玻璃静电键合、ICP工艺释放等技术完成了二维加速度传感器的加工。测试结果表明:该二维加速度传感器两个检测方向上的灵敏度基本一致,线性度较好,交叉干扰较小。X、Y方向的灵敏度分别为58.3 mV/gn、55.6 mV/gn;线性相关系数分别为0.9968、0.9961,交叉灵敏度分别为6.17%、7.82%。
关键词
MEMS加速度传感器
二维电容式传感器
体硅工艺
icp深刻蚀
Keywords
MEMS accelerometers
biaxial capacitive sensors
bulk silicon micromachining
icp
deep etching
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
阵列式高压交直流LED芯片的隔离工艺
3
作者
田婷
任芳
梁萌
王江华
刘志强
伊晓燕
袁国栋
王军喜
李晋闽
机构
中国科学院半导体研究所半导体照明研发中心
鹤壁市大华实业有限公司
出处
《照明工程学报》
2019年第3期81-85,95,共6页
基金
国家重点研发计划(批准号:2017YFB0403300,2017YFB0403302)
北京市科委计划(批准号:Z161100002116032)
广州市科技计划(批准号:201704030106,2016201604030035)
文摘
阵列式高压交/直流发光二极管(LED)在芯片制作过程中通过多个LED微晶粒的串并联来实现交流高压供电,属于高电压小电流的工作状态,与传统LED相比在电流扩展、封装及驱动电路设计等诸多方面有更大的优势。本文主要研究了阵列式高压交直流LED器件制备过程中的芯片隔离工艺,并对感应耦合等离子体(ICP)深刻蚀隔离以及激光划槽两种芯片隔离方法进行了对比。通过扫描电子显微镜(SEM)表征刻蚀形貌以及最终器件的伏安特性和光输出功率表明ICP深刻蚀隔离具有更高的灵活性且可以形成陡直的隔离侧壁,且可以实现较深的刻蚀深度,更有助于制备光电性能优良的阵列式高压交/直流LED器件。
关键词
LED
芯片隔离
icp深刻蚀
激光划槽
Keywords
LED
chip isolation
icp
deep etching
laser scribing
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
新型LIGA掩摸板制造工艺研究
4
作者
陈迪
伊福廷
机构
上海交通大学微纳米科学技术研究院
中国科学院高能物理研究所
出处
《高能物理与核物理》
CSCD
北大核心
2001年第B12期131-134,共4页
文摘
LIGA掩模板的制备是LIGA技术中的关键工艺。利用最近发展起来的硅感应耦合等离子体(ICP)深层刻蚀工艺开发出了新型LIGA掩模板。与其它类型的LIGA掩模板相比,该掩模板具有加工工艺简单、价格低廉等优点。利用该LIGA掩模板进行了LIGA技术的研究,得到了比较理想的结果。
关键词
制造工艺
LIGA掩模板
icp深刻蚀
LIGA技术
微加工
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
4H-SiC ICP深刻蚀工艺研究
喻兰芳
梁庭
熊继军
崔海波
刘雨涛
张瑞
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2014
9
下载PDF
职称材料
2
硅微电容式二维加速度传感器的加工与测试(英文)
刘妤
温志渝
陈李
杨红韵
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2012
1
下载PDF
职称材料
3
阵列式高压交直流LED芯片的隔离工艺
田婷
任芳
梁萌
王江华
刘志强
伊晓燕
袁国栋
王军喜
李晋闽
《照明工程学报》
2019
0
下载PDF
职称材料
4
新型LIGA掩摸板制造工艺研究
陈迪
伊福廷
《高能物理与核物理》
CSCD
北大核心
2001
0
原文传递
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
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