多晶硅生产中氯化氢吸收塔的模拟研究

采用PRO/II模拟软件,选用PRM方程,对多晶硅生产过程中氯化氢吸收塔进行了模拟研究。结果表明,在操作压力为1.5MPaG(相对压力)、吸收剂温度为-40℃、理论塔板数为24块时,选择合适的氯硅烷吸收剂用量可对尾气中的HCl实现良好的吸收。