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LIGA技术研究与进展 被引量:3
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作者 揭景耀 《电子器件》 CAS 1997年第2期20-27,共8页
本文综述了LIGA技术。介绍了国内外对LIGA技术的改进与推广。
关键词 ilga技术 X射线光刻 细微加工 微传感器
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