晶片干燥技术在高洁净湿法清洗设备中的应用

干燥的目的是去除晶片表面的液体,保证晶片的洁净度。干燥技术作为湿法清洗最后的步骤,最终决定了晶片清洗的表面质量。分别探讨了离心甩干干燥单元、IR干燥、Marangoni干燥等技术,同时介绍了各自的优缺点,这些技术在高洁净湿法批处理清洗设备中都有非常广泛的应用。

水性木器涂料在家具涂装领域的干燥解决方案

智能化涂装测试线可全方位处理立体干燥问题,其主要包括智能微波干燥炉、纳米电解干燥炉、IR场效应干燥炉及光固化干燥炉。重点探讨了单组分与双组分的水性木器涂料在何种的干燥条件下可以达到最佳的干燥效率并达到较好的物理性质。

SOI键合系统

具有专利保护的单平台键合技术提高了ELANCBC300SOI束工设备的生产能力，允许300mm晶圆在单一工艺内完成清洁、对准和键合流程。ELANCBC300SOI的高级清洁技术保证了无孔隙的键合质量。采用SUSS独特的单体双喷嘴兆声清洁设备和可编程IR辅助旋转干燥系统，可以获得非常清洁的晶圆和可控的表面干燥状态。ELANCBC300SOI将清洁和键合能力结合在了一起。标准的ELANSOI系统包括两个单平台键合模块，一个高分辨率IR检验模块，一个中央材料处理单元（MHU），具有稳定的晶圆处理机器人和精确预对准装置，以及两个FOUP加载端——昕有这些装备的尺寸都工业界目前可获得的最小超净间尺寸。