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A 640×640 ISFET array for detecting cell metabolism
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作者 Ling Yang Yizheng Huang +3 位作者 Zhigang Song Manqing Tan Yude Yu Zhao Li 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2023年第2期84-91,共8页
Ion sensitive field effect transistor(ISFET)devices are highly accurate,convenient,fast and low-cost in the detection of ions and biological macromolecules,such as DNA molecules,antibodies,enzymatic substrates and cel... Ion sensitive field effect transistor(ISFET)devices are highly accurate,convenient,fast and low-cost in the detection of ions and biological macromolecules,such as DNA molecules,antibodies,enzymatic substrates and cellular metabolites.For high-throughput cell metabolism detection,we successfully designed a very large-scale biomedical sensing application specific integrated circuit(ASIC)with a 640×640 ISFET array.The circuit design is highly integrated by compressing the size of a pixel to 7.4×7.4μm^(2)and arranging the layout of even and odd columns in an interdigital pattern to maximize the utilization of space.The chip can operate at a speed of 2.083M pixels/s and the dynamic process of the fluid flow on the surface of the array was monitored through ion imaging.The pH sensitivity is 33±4 mV/pH and the drift rate is 0.06 mV/min after 5 h,indicating the stability and robustness of the chip.Moreover,the chip was applied to monitor pH changes in CaSki cells metabolism,with pH shifting from 8.04 to 7.40 on average.This platform has the potential for continuous and parallel monitoring of cell metabolism in single-cell culture arrays. 展开更多
关键词 ASIC isfet array pH monitoring ion imaging cell metabolism
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pH-ISFET传感器及其测量方法研究
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作者 牛蒙年 袁璟 林崴 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1995年第1期50-54,共5页
在对pH-ISFET传感器参数及其输出特性分析的基础上,讨论了四种测量pH-ISFET传感器的模式和适用条件,以及实现差分测量的简单方法。在ISFET/REFET差分对结构测量中,以金膜作为辅助电极取代传统的甘汞参考... 在对pH-ISFET传感器参数及其输出特性分析的基础上,讨论了四种测量pH-ISFET传感器的模式和适用条件,以及实现差分测量的简单方法。在ISFET/REFET差分对结构测量中,以金膜作为辅助电极取代传统的甘汞参考电极仍得到较好的线性响应。 展开更多
关键词 PH-isfet 传感器 测量方法 差分电路 isfet/REFE
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基于pH-ISFET片上系统的研究 被引量:2
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作者 孙红光 韩泾鸿 +1 位作者 魏金宝 夏善红 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期176-178,共3页
采用标准CMOS工艺实现了基于pH-ISFET微传感器与读出电路的单芯片集成,该芯片包括差分结构ISFET/REFET传感器、金属准参比电极、恒流源和前级读出电路.芯片采用商用0.35μm,4-金属和2-多晶硅标准CMOS工艺流片,整个芯片面积2mm×2.5... 采用标准CMOS工艺实现了基于pH-ISFET微传感器与读出电路的单芯片集成,该芯片包括差分结构ISFET/REFET传感器、金属准参比电极、恒流源和前级读出电路.芯片采用商用0.35μm,4-金属和2-多晶硅标准CMOS工艺流片,整个芯片面积2mm×2.5mm,工作电压3.3V.在标准CMOS工艺代工的基础上,设计并实现了合理的后续工艺流程.微传感系统获得53.65mV/pH的灵敏度和很好的线性度.由此说明,把ISFET微传感阵列与集成电路集成在单个芯片上构建智能型片上系统(SOC)是完全可能的,应用前景良好. 展开更多
关键词 isfet REFET SOC CMOS
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采用H^+-ISFET的便携式上消化道pH值记录仪的研制 被引量:2
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作者 李向明 韩泾鸿 +2 位作者 张虹 李亚亭 梁卫国 《中国生物医学工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期83-87,共5页
上消化道 pH值记录仪是为临床医学上对胃、食管的 pH值进行长时间监测而专门设计的仪器。本文介绍了一种便携式的上消化道 pH值记录仪的研制。它采用H+ ISFET和内参比电极组成的双通道上消化道pH值传感器 ,以高性能的嵌入式微控制器为... 上消化道 pH值记录仪是为临床医学上对胃、食管的 pH值进行长时间监测而专门设计的仪器。本文介绍了一种便携式的上消化道 pH值记录仪的研制。它采用H+ ISFET和内参比电极组成的双通道上消化道pH值传感器 ,以高性能的嵌入式微控制器为控制核心 ,在 2节普通 5号电池供电、采样间隔 4s、同时记录 2通道 pH值的条件下可稳定工作 2 4h以上 ,pH值测量误差小于 0 .1。仪表轻便 ,重量仅 15 0 g ,并具有性能稳定 ,使用简便 ,低功耗 ,低成本等优点。 展开更多
关键词 上消化道 PH值 氢离子敏感场效应管 H^+-isfet 嵌入式微控制器
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一种适用于ISFET读出的高精度CMOS运放设计(英文) 被引量:1
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作者 张翀 杨海钢 魏金宝 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期686-692,共7页
介绍了一种适用于ISFET读出的高精度CMOS运放设计.该运放可为ISFET提供恒定电流、电压偏置,从而便于构建读出电路并于微传感器单片集成.通过运用连续时间自调零技术,大大降低了运放的失调电压、1/f噪声和温漂等低频噪声.该设计基于0.35... 介绍了一种适用于ISFET读出的高精度CMOS运放设计.该运放可为ISFET提供恒定电流、电压偏置,从而便于构建读出电路并于微传感器单片集成.通过运用连续时间自调零技术,大大降低了运放的失调电压、1/f噪声和温漂等低频噪声.该设计基于0.35μm CMOS工艺,电源电压3.3V,运放的开环增益超过100dB,输入等效失调电压低至11μV,总功耗仅为1.48mW.应用该运放实现的pH微传感器已通过实验验证. 展开更多
关键词 高精度 自调零 运算放大器 isfet微传感器
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集成差分式PH-ISFET的研究 被引量:1
6
作者 邵丙铣 张永夏 +1 位作者 邵红霖 金曼娜 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1989年第3期225-228,共4页
本文扼要地叙述了集成差分式氢离子敏感器的原理、制备和特性。由于具有温度补偿作用的M OSFET 与ISFET 集成在同一芯片上,显著地降低了共模噪声和温度的影响,并保持了良好的灵敏度、线性和选择性等性能指标。
关键词 差分式 离子敏感器 isfet 集成
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ISFET—库仑滴定分析仪 被引量:1
7
作者 陈伟平 王东红 王贵华 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第1期97-100,共4页
ISFET—库仑滴定分析仪*陈伟平王东红虞王贵华(哈尔滨工业大学哈尔滨150001)0引言离子敏场效应晶体管——库仑滴定传感器(ISFET—CTS)可实现微量样液的酸度、气体和酶含量的快速定量分析,这对改善分析化学... ISFET—库仑滴定分析仪*陈伟平王东红虞王贵华(哈尔滨工业大学哈尔滨150001)0引言离子敏场效应晶体管——库仑滴定传感器(ISFET—CTS)可实现微量样液的酸度、气体和酶含量的快速定量分析,这对改善分析化学、化工生产及生物医学等领域内的检测... 展开更多
关键词 电解式分析仪器 isfet 库仑滴定分析仪
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差分对结构pH-ISFET传感器的研制 被引量:1
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作者 牛蒙年 丁辛芳 +1 位作者 袁璟 童勤义 《传感器技术》 CSCD 1995年第1期25-27,共3页
报道了采用集成技术制备的差分对结构pH-ISFTET传感器及其特性,实验结果表明,ISFET器件性能良好,经差分放大器输出可以改善恒流电路测量的响应特性,且有效地抑制温漂、时漂等不稳定因素。采用金膜辅助电极替代甘汞参... 报道了采用集成技术制备的差分对结构pH-ISFTET传感器及其特性,实验结果表明,ISFET器件性能良好,经差分放大器输出可以改善恒流电路测量的响应特性,且有效地抑制温漂、时漂等不稳定因素。采用金膜辅助电极替代甘汞参考电极的差分测量仍有较好的结果。 展开更多
关键词 H^+离子传感器 传感器 isfet 差分放大
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基于ISFET的尼古丁传感器的研究 被引量:2
9
作者 李先文 杨伯伦 《分析科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期234-236,共3页
报道了一种测定尼古丁的新方法。用二苦胺作电活性物质 ,将离子敏感场效应晶体管与药物敏感膜相结合 ,制成尼古丁传感器 ,测定尼古丁的线性范围为 1 .0×1 0 - 2 ~ 3.0× 1 0 - 5mol/L,适宜的 p H值范围为 5 .0~ 8.5 ,传感器... 报道了一种测定尼古丁的新方法。用二苦胺作电活性物质 ,将离子敏感场效应晶体管与药物敏感膜相结合 ,制成尼古丁传感器 ,测定尼古丁的线性范围为 1 .0×1 0 - 2 ~ 3.0× 1 0 - 5mol/L,适宜的 p H值范围为 5 .0~ 8.5 ,传感器灵敏度为 5 8.0 m V/pc。用该传感器分析烟草中的尼古丁含量 。 展开更多
关键词 isfet 尼古丁 化学传感器 二苦胺 离子敏感场效应晶体管 药物敏感膜 烟草 生物碱 分析
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pH-ISFET的温度特性及其补偿的讨论 被引量:2
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作者 冯秀清 石琳 周前能 《辽宁工学院学报》 2002年第4期13-15,25,共4页
p H- ISFET的温漂是影响测量精度的重要参数 ,本文对其温度特性进行了讨论 。
关键词 PH-isfet 温度特性 离子敏场效应晶体管 温漂 温度补偿 测量精度
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基于壳聚糖膜的ISFET麻黄碱传感器的研究 被引量:1
11
作者 李先文 杨伯伦 《传感技术学报》 CAS CSCD 2003年第3期332-334,共3页
以硅钨酸为电活性物质 ,用壳聚糖代替传统的聚氯乙烯 (PVC)作为成膜物质 ,制成药物敏感膜。将其与离子敏感场效应晶体管 (ISFET)相结合 ,制成药物敏感传感器。传感器对麻黄碱有良好的响应 ,能斯特范围为 5 0× 10 - 5~ 1 0× ... 以硅钨酸为电活性物质 ,用壳聚糖代替传统的聚氯乙烯 (PVC)作为成膜物质 ,制成药物敏感膜。将其与离子敏感场效应晶体管 (ISFET)相结合 ,制成药物敏感传感器。传感器对麻黄碱有良好的响应 ,能斯特范围为 5 0× 10 - 5~ 1 0× 10 - 2 mol·L- 1 ,响应的灵敏度为 5 8 3mV/pC(C的单位为mol·L- 1 ) ,适宜的pH范围是 3 5~ 8 0。利用该传感器分析麻黄碱片剂含量 。 展开更多
关键词 壳聚糖 离子敏感场效应晶体管 isfet 药物敏感传感器 麻黄碱
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一次性铵离子ISFET的研究 被引量:1
12
作者 黄西朝 黄强 《分析科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第1期103-104,共2页
本文报道一种基于四苯硼钠的离子敏感场效应晶体管(ISFET)。并对器件性能的影响因素进行详尽讨论,确立了以邻苯二甲酸二丁酯(DBP)为增型塑剂,器件的性能最佳。ISFET的线性范围为1.0~7.5×10-5mol/L,检出限为6.0×10-5mol/L,斜... 本文报道一种基于四苯硼钠的离子敏感场效应晶体管(ISFET)。并对器件性能的影响因素进行详尽讨论,确立了以邻苯二甲酸二丁酯(DBP)为增型塑剂,器件的性能最佳。ISFET的线性范围为1.0~7.5×10-5mol/L,检出限为6.0×10-5mol/L,斜率为58mV/decade,适宜的pH范围为4.2~8.4。 展开更多
关键词 氯化铵 片剂 含量测定 离子敏感场效应晶体管 铵离子 isfet 一次性使用 祛痰尿药物 四苯硼钠
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新型微流通池pH-ISFET集成传感器的研制 被引量:1
13
作者 牛蒙年 丁辛芳 《应用科学学报》 CAS CSCD 1997年第1期75-81,共7页
报道了一种新型微流通池pE-ISFET集成传感器,该集成传感器采用常规IC工艺、微加工技术和键合技术,实现微流通池、四对长臂式ISFET/REFET传感器(差分测量用)和Ti/Au膜伪参考电极芯片一体化结构,芯片面积... 报道了一种新型微流通池pE-ISFET集成传感器,该集成传感器采用常规IC工艺、微加工技术和键合技术,实现微流通池、四对长臂式ISFET/REFET传感器(差分测量用)和Ti/Au膜伪参考电极芯片一体化结构,芯片面积为8mmx6mm,微流通池体积为0.7mmx5.0mm×0.3mm,当集成传感器外部配上蠕动泵、注入阀和测量电路则构成微流通池pH-ISFET流动注入分析(FIA)系统。实验结果表明,该集成传感器和FIA系统具有响应快、耗样液量少等特点,且稳定性和可靠性大为提高。 展开更多
关键词 传感器 微流通池 pH-isfet传感器 流动注入分析
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CMOS兼容的ISFET传感器模型和测量电路研究
14
作者 王阳 刘高平 +1 位作者 郭锋 尹湘源 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2007年第2期19-20,24,共3页
随着CMOS工艺的不断发展,将离子敏场效应晶体管(ISFET)传感器与CMOS技术相结合,以达到提高集成度、降低成本、减小系统尺寸、提高系统可靠性。在对与CMOS工艺兼容的ISFET传感器结构模型分析的基础上,研究了一种测量电路,它具有有利于消... 随着CMOS工艺的不断发展,将离子敏场效应晶体管(ISFET)传感器与CMOS技术相结合,以达到提高集成度、降低成本、减小系统尺寸、提高系统可靠性。在对与CMOS工艺兼容的ISFET传感器结构模型分析的基础上,研究了一种测量电路,它具有有利于消除体效应的影响、减少共模噪声的影响、克服温度漂移等优点。对该测量电路进行模拟仿真,得到输出电压与pH值之间的关系图,结果表明:其结果与理论模型仿真值基本吻合。 展开更多
关键词 isfet传感器 CMOS工艺 pH值 测量电路
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pH-ISFET滞后特性的研究
15
作者 虞惇 张玉良 王贵华 《传感器技术》 CSCD 1989年第4期12-17,共6页
离子敏场效应晶体管具有体积小、重量轻、响应快、输入阻抗高、输出阻抗低、可全固体化、易于实现多功能化等优点,受到国内外普遍重视,其研究工作已取得了显著进展。但推广应用中有不少困难,其原因在于目前器件尚未完善,除可靠性尚不够... 离子敏场效应晶体管具有体积小、重量轻、响应快、输入阻抗高、输出阻抗低、可全固体化、易于实现多功能化等优点,受到国内外普遍重视,其研究工作已取得了显著进展。但推广应用中有不少困难,其原因在于目前器件尚未完善,除可靠性尚不够理想之外,温漂与滞后也严重地影响其稳定性。为加速ISFET实用化进程,深入研究其滞后特性,具有极其重要的现实意义。 研究工作表明。 展开更多
关键词 isfet器件 滞后特性 PH-isfet
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偏置模式可编程的ISFET集成放大器设计
16
作者 魏金宝 杨海钢 韩泾鸿 《电子器件》 CAS 2007年第2期461-464,共4页
生物微传感SOC系统在生命科学研究、医疗保健、环境检测等领域有广阔的应用前景,然而系统的真正实现面临着许多挑战.根据离子敏场效应管ISFET的敏感机理,研究了ISFET与其接口放大器的集成芯片,ISFET可以被提供线性和饱和两种模式下的工... 生物微传感SOC系统在生命科学研究、医疗保健、环境检测等领域有广阔的应用前景,然而系统的真正实现面临着许多挑战.根据离子敏场效应管ISFET的敏感机理,研究了ISFET与其接口放大器的集成芯片,ISFET可以被提供线性和饱和两种模式下的工作条件.整个芯片包含ISFET微传感、双模式ISFET放大器,同时也集成了恒流源等,采用新加坡Char-tered半导体制造公司3.3V标准CMOS工艺流片,并成功进行了传感器芯片的pH响应测试实验. 展开更多
关键词 isfet 放大器 pH灵敏度 双模式 SOC
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微机在ISFET特性测量中的应用 被引量:1
17
作者 聂邦畿 《现代医学仪器与应用》 1997年第4期2-4,共3页
ISF ET是近年来开发的新型医学传感器,它主要用于测量生物体中生理溶液中的离子状况。本文介绍躲开计算机在ISFET特性检测中的应用。
关键词 微机 医学传感器 isfet 生物体 生理溶液 离子
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基于ISFET的幽门螺杆菌传感器的研制
18
作者 张虹 韩泾鸿 《中国医疗器械杂志》 CAS 2004年第6期423-424,共2页
阐述了传感器的基本结构和工作原理,重点介绍了生物敏感膜的制备方法并给出了用该传感器和快速尿素酶药盒对感染了幽门螺杆菌的13例患者进行临床试验的比较结果。
关键词 传感器 幽门螺杆菌 isfet
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等离子体聚合膜的制备及在ISFET中的应用
19
作者 邵丙铣 金曼娜 邵红霖 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1990年第2期32-34,40,共4页
本文叙述了用等离子体辉光放电法将单体直接聚合成高分子膜,及淀积在半导体器件样品上的制备设备、方法、性能及应用结果。由于设备简单,操作方便,同半导体工艺相容及聚合膜有良好的抗水性及抗离子性,它在离敏器件中有一定的应用价值。... 本文叙述了用等离子体辉光放电法将单体直接聚合成高分子膜,及淀积在半导体器件样品上的制备设备、方法、性能及应用结果。由于设备简单,操作方便,同半导体工艺相容及聚合膜有良好的抗水性及抗离子性,它在离敏器件中有一定的应用价值。预计在其它器件中也有推广的价值。 展开更多
关键词 等离子体 聚合膜 isfet 应用
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集成pH-ISFET/压力传感器的研究
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作者 丁辛芳 俞海明 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1994年第3期250-254,共5页
基于SDB/SOI材料和硅微机械加工技术,提出了一种含微参比电极和择优差分补偿单元的背面引线PH-ISFET/压力传感器的新结构。并且设计了高稳定的可调芯片自恒温系统,以减少硅材料对温度敏感的效应。这种结构既方便地实... 基于SDB/SOI材料和硅微机械加工技术,提出了一种含微参比电极和择优差分补偿单元的背面引线PH-ISFET/压力传感器的新结构。并且设计了高稳定的可调芯片自恒温系统,以减少硅材料对温度敏感的效应。这种结构既方便地实现敏感元和信号处理电路的完全隔离,又有效地改善了敏感特性和稳定性。初步实验结果证实了新结构设计是成功的。 展开更多
关键词 PH-isfet 集成传感器 压力传感器
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