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ISG工艺合成SrTiO_3纳米粒子薄膜 被引量:4
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作者 徐明霞 马志明 +2 位作者 郑嘹赢 杨义敏 徐廷献 《天津大学学报(自然科学与工程技术版)》 EI CAS CSCD 2000年第3期411-413,共3页
采用 ISG工艺 ,在氧化铝陶瓷基片上合成 Sr Ti O3陶瓷薄膜 ,研究了溶胶性能和溶胶 -凝胶的晶化过程 ,分析了薄膜的形成及结构 .结果表明 ,Sr O- Ti O2 复合氧化物系统由凝胶向结晶相的转变过程中 ,无简单氧化物等中间相生成 ,经 40 0~ ... 采用 ISG工艺 ,在氧化铝陶瓷基片上合成 Sr Ti O3陶瓷薄膜 ,研究了溶胶性能和溶胶 -凝胶的晶化过程 ,分析了薄膜的形成及结构 .结果表明 ,Sr O- Ti O2 复合氧化物系统由凝胶向结晶相的转变过程中 ,无简单氧化物等中间相生成 ,经 40 0~ 80 0℃ ,0 .5 h,可生成结晶度较好的单一的立方 Sr Ti O3相 .Sr Ti O3陶瓷薄膜晶粒为 1 0 nm左右 . 展开更多
关键词 isg工艺 陶瓷薄膜 钛酸锶 纳米粒子薄膜
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