ISO 1级洁净室微环境气流组织模拟分析

我国已经成为全球最大的集成电路市场,并且未来还将继续发展。由于电子厂房洁净室生产工艺的特殊性,空调设备能耗巨大,其节能具有重要意义。通过对现有空态ISO1级洁净室微环境进行模型简化,并通过数值模拟方法,分析得出了不同FFU运行风速及恒定风速下变FFU运行数量的气流组织特性。分析总结了降低FFU运行转速,可以做到单向流,实现降低能耗的目的;但是对于洁净度要求非常高的洁净室,不建议通过减少FFU运行数量去实现节能的目的。

微电子行业洁净室空气化学污染控制

微电子工业在日益庞大而复杂的数据处理与存储市场需求的驱动下,半导体线宽已缩小至7 nm。若不能建立起有效空气化学污染控制标准和对其彻底控制,纳米级的光刻工艺是无法进行的。介绍空气化学污染的控制设施平台的建设,并进行了实验验证,该平台是中国首例达到国际标准(ISO1级,ISO14644-1)超净空气环境设施,在该设施中可开展空气洁净度和空气污染控制等课题研究,对实际项目的设计、运行具有重要参考价值。