一种ISO 6级工业洁净室过滤系统的改进方法

传统ISO6级洁净室的过滤系统通常是3级过滤，即初效、中效和高效过滤，系统阻力很大，为了减少洁净室的能耗，通过用管道式静电除尘器代替高效过滤器改进了洁净室过滤系统，比较了改进后的过滤系统和传统过滤系统对洁净室内含尘浓度、洁净室自净时间、过滤系统阻力的影响，得到了改进后的洁净室过滤系统在换气次数在50—80次／h的范围内既能满足ISO6级洁净室的洁净度要求，又能缩短洁净室白净时问，还能减小过滤系统阻力的结论，为工业洁净室的设计提供一定的参考。