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氧分压对ITO膜性能的影响 被引量：1
1
作者 宁兆元 吴雪梅 +3 位作者 刘新宇 赵红光 甘肇强 程珊华 《苏州大学学报（自然科学版）》 CAS 1994年第1期32-35,共4页
详细研究了氧分压对于反应蒸镀的ITO膜的透光率,方阻的影响。氧分压决定了膜成份的化学计算比和氧空位浓度,适当的选择氧分压可以获得具有高透光率和低方阻的膜。
关键词 ito膜 反应蒸发镀膜 薄膜 氧分压
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In/Sn配比对ITO膜透光性能的影响
2
作者 程珊华 赵红光 +2 位作者 吴雪梅 宁兆元 叶超 《苏州大学学报（自然科学版）》 CAS 1994年第1期36-37,共2页
采用直接蒸发In_2O_3/SnO_2混合物法镀制了ITO膜,并研究了In/Sn重量比,蒸发温度及后处理工艺对透光性能的影响。
关键词 ito薄膜 透光谱 薄膜 铟-锡配比
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