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ITO薄膜的气敏特性 被引量：6
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作者 张正勇 张耀华 《传感技术学报》 CAS CSCD 1999年第1期52-56,共5页
本文研究了用胶体法制备的ＩＴＯ薄膜的气敏特性；并同时研究了各种掺杂杂质对ＩＴＯ薄膜的气敏特性的影响．通过实验发现ＩＴＯ薄膜对乙醇气体具有最高的灵敏度，对二氧化氮等也有较好的敏感特性，一般催化剂型掺杂物如资金属等掺杂对... 本文研究了用胶体法制备的ＩＴＯ薄膜的气敏特性；并同时研究了各种掺杂杂质对ＩＴＯ薄膜的气敏特性的影响．通过实验发现ＩＴＯ薄膜对乙醇气体具有最高的灵敏度，对二氧化氮等也有较好的敏感特性，一般催化剂型掺杂物如资金属等掺杂对提高ＩＴＯ薄膜的灵敏度没有多大帮助．ＩＴＯ薄膜与 ＳｎＯ_２薄膜相比具有更高的稳定性．ＩＴＯ薄膜的气敏特性既具有表面控制型的特征，又具有体效应气敏材料的敏感特性． 展开更多
关键词 ito薄膜 胶体法 气敏特性 掺杂 敏感器件
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