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Indium tin oxide nanosized composite powder prepared using waste ITO target 被引量:3
1
作者 LIU Jiaxiang GAN Yong ZENG Shengnan 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2005年第3期277-282,共6页
Indium tin oxide (ITO) nano-particles were prepared directly using waste ITO target, which had been coated by magnetron controlled sputtering. The waste ITO target was cleaned with de-ionized water, and then dissolv... Indium tin oxide (ITO) nano-particles were prepared directly using waste ITO target, which had been coated by magnetron controlled sputtering. The waste ITO target was cleaned with de-ionized water, and then dissolved in acid, filtrated, neutralized, manipulated through azeotropic distillation and finally dried, and in this way the precursor of indium tin hydroxide was obtained. The nanosized rio composite powder was prepared after the precursor heat-treated at 500℃ for 2 h. TEM images show a narrow distribution of particle size is 5-20 nm and the particle size can be controlled. Its granule has a spherical shape and the dispersion of the particle is well. X-ray diffraction (XRD) patterns indicate the only cubic In2O3 phase in the ITO powder hot-treated at 500℃. The purity of ITO composite powder is 99.9907%. The content of radium within filtrate was detected by using the EDTA titration of determination of indium in the ITO powder and ITO target. Appropriate amount of SnCl4.5H2O was dissolved in the filtrate, and then ITO powder containing 10 wt.% SnO2 was successfully prepared by heat-treating. 展开更多
关键词 waste ito target nanosized ito composite powder chemical technique MICROSTRUCTURE
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ITO nano-powders prepared by microwave-assisted co-precipitation in aqueous phase 被引量:2
2
作者 朱协彬 姜涛 +1 位作者 邱冠周 黄伯云 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2009年第S3期752-756,共5页
By using microwave-assisted co-precipitation in aqueous phase, adding surface activation agent PEG-6000 into the mixture of InCl3 solution and SnCl4 solution, and dropping the ammonia solution with the density (volume... By using microwave-assisted co-precipitation in aqueous phase, adding surface activation agent PEG-6000 into the mixture of InCl3 solution and SnCl4 solution, and dropping the ammonia solution with the density (volume ratio) of 1-0 to 1-4, ITO precursor was prepared at different reaction system temperatures of 35 ℃-85 ℃, then ITO nano-powder was obtained after it was calcinated at 800 ℃ for 1 h. The morphology of ITO nano-powder was characterized by SEM and its electrical conductivity was determined by conductivity meter. The effects of different temperatures and ammonia concentration in microwave-assisted reaction system on its morphology and electric conductivity were discussed. The experimental results indicate that with the dilution of the ammonia solution or the rise of reacting system temperature, the morphology of ITO particles is transformed from spherical to rod-like one with the decline of its electric conductivity. And the electric conductivity of ITO nano-powders with spherical morphology is higher than that of ITO nano-powders with rod-like morphology. 展开更多
关键词 ito NANO-powder surface activation agent PEG-6000 microwave assistance CO-PRECIPITATION aqueous phase
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铟锡氧化物 (ITO) 靶材的应用和制备技术 被引量:23
3
作者 钟毅 王达健 +1 位作者 刘荣佩 郭玉忠 《昆明理工大学学报(理工版)》 1997年第1期66-70,共5页
对铟锡氧化物(ITO)靶材的现有生产工艺方案和应用现状及前景作了综合评述.
关键词 靶材 爆炸成形 动态成形 铟锡氧化物 制备
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纳米ITO粉末及高密度ITO靶制备工艺的研究现状 被引量:26
4
作者 张维佳 王天民 +1 位作者 糜碧 洪轲 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期449-453,共5页
对铟锡氧化物ITO(Indium Tin Oxide)纳米粉末的制备方法如均相共沉淀法,水溶液共沉淀法,电解法,溶胶-凝胶法,喷雾燃烧法,喷雾热分解法等以及ITO磁控溅射靶的现有几种制备工艺进行了综合评述。阐述了各种制备工艺过程和工作原理,比较和... 对铟锡氧化物ITO(Indium Tin Oxide)纳米粉末的制备方法如均相共沉淀法,水溶液共沉淀法,电解法,溶胶-凝胶法,喷雾燃烧法,喷雾热分解法等以及ITO磁控溅射靶的现有几种制备工艺进行了综合评述。阐述了各种制备工艺过程和工作原理,比较和分析了各工艺方法的优缺点,并提出了制备高品质ITO粉末及ITO靶的努力方向。 展开更多
关键词 纳米粉末 ito 溅射靶
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纳米ITO粉末爆炸压实及后续烧结工艺研究 被引量:6
5
作者 李晓杰 张越举 +1 位作者 阎鸿浩 陈涛 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期155-158,共4页
为了探索生产ITO陶瓷靶材的新工艺方法,降低生产靶材的成本,提高靶材的性能,设计了纳米ITO陶瓷粉末经爆炸压实并附加烧结的工艺路线,提出了快速烧结,快速冷却的烧结工艺,对所得样品进行密度检测,并利用SEM对样品微观组织、形貌进行了分... 为了探索生产ITO陶瓷靶材的新工艺方法,降低生产靶材的成本,提高靶材的性能,设计了纳米ITO陶瓷粉末经爆炸压实并附加烧结的工艺路线,提出了快速烧结,快速冷却的烧结工艺,对所得样品进行密度检测,并利用SEM对样品微观组织、形貌进行了分析.研究表明:使用高爆速炸药RDX和选择高温快速烧结方案能够获得密度高达98.71%理论密度,微观组织比较良好的陶瓷块体;纳米ITO粉末经爆炸压实后能够在高温突变条件下进行烧结处理;在快速冷却过程中,没有发现宏观裂纹的产生. 展开更多
关键词 爆炸压实 纳米ito 烧结工艺
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用喷雾燃烧法制备ITO纳米级粉末的研究 被引量:40
6
作者 陈世柱 尹忠民 +1 位作者 黄伯云 胡林轩 《有色金属》 CSCD 2000年第2期88-90,共3页
将金属钢和锡先配制成合金,然后使In-Sn合金熔体过热,通过气雾喷粉工艺,由高压预热氧气使熔体雾化成微细的金属雾滴,并随即在高温反应室中进行直接地氧化燃烧而生成 ITO纳米级复合的氧化物粉体,其粒度 ≤ 30mm,制备 ... 将金属钢和锡先配制成合金,然后使In-Sn合金熔体过热,通过气雾喷粉工艺,由高压预热氧气使熔体雾化成微细的金属雾滴,并随即在高温反应室中进行直接地氧化燃烧而生成 ITO纳米级复合的氧化物粉体,其粒度 ≤ 30mm,制备 1kg的纳米级金属氧化物粉末仅仅需要约50s,并且生产过程无任何污染。 展开更多
关键词 雾化 氧化燃烧 金属氧化物 ito纳米粉
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纳米ITO粉末制备工艺优化设计 被引量:8
7
作者 张维佳 王天民 +2 位作者 吴小文 钟立志 崔敏 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期1352-1356,共5页
研究采用均相共沉淀法制备纳米ITO(IndiumTinOxide)粉末的制备工艺参数,从碱式溶度积平衡和酸式溶度积平衡,根据热力学平衡理论并引入化学反应热容参数分别计算了ITO前驱物In(OH)3和Sn(OH)4开始沉淀和沉淀完全的pH值以及其开始溶解和溶... 研究采用均相共沉淀法制备纳米ITO(IndiumTinOxide)粉末的制备工艺参数,从碱式溶度积平衡和酸式溶度积平衡,根据热力学平衡理论并引入化学反应热容参数分别计算了ITO前驱物In(OH)3和Sn(OH)4开始沉淀和沉淀完全的pH值以及其开始溶解和溶解完全的pH值,给出了这些pH值随沉淀温度的变化规律,由此对工艺参数进行了优化设计并提供了一种有效的材料掺杂新工艺。采用高分辨率透射电镜,扫描电镜,X射线衍射对ITO纳米粉末进行了测量。结果表明,ITO粉末的平均晶粒大小为28nm,而且沿(400)面生长。 展开更多
关键词 纳米粉末 ito 优化工艺参数设计
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化学共沉淀法制备纳米ITO粉体及结构表征 被引量:13
8
作者 张艳峰 张久兴 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期573-574,共2页
 以InCl3·5H2O和SnCl4·5H2O为原料,在掺杂浓度In2O3与SnO2的质量比为9∶1的条件下,采用化学共沉淀法合成了纳米ITO粉体。利用TEM、XRD、IR、粒度分布仪等实验手段对粉体的形貌、物相、粒度进行了表征,讨论了煅烧温度对粉体...  以InCl3·5H2O和SnCl4·5H2O为原料,在掺杂浓度In2O3与SnO2的质量比为9∶1的条件下,采用化学共沉淀法合成了纳米ITO粉体。利用TEM、XRD、IR、粒度分布仪等实验手段对粉体的形貌、物相、粒度进行了表征,讨论了煅烧温度对粉体物相和粒度的影响。研究结果表明:当煅烧温度>300℃时,可以获得立方In2O3结构的球形纳米ITO粉体。 展开更多
关键词 ito 纳米粉体 结构表征 化学共沉淀 TEM XRD 粒度
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超声波-化学共沉淀法制备纳米ITO粉 被引量:7
9
作者 宋宁 戴永年 +2 位作者 钟晓林 姜宏伟 邓又铵 《有色金属》 CSCD 北大核心 2008年第1期11-16,共6页
以In、Sn硫酸盐为原料,采用超声波与化学共沉淀相结合的方法制备纳米ITO粉末,用TEM,SEM,XRD,BET等现代分析测试手段对制备的粉末进行表征。在反应温度为60~75℃,In^3+浓度〈160g/L,氨水浓度〈400g/L,终点pH为6.8~8的条件... 以In、Sn硫酸盐为原料,采用超声波与化学共沉淀相结合的方法制备纳米ITO粉末,用TEM,SEM,XRD,BET等现代分析测试手段对制备的粉末进行表征。在反应温度为60~75℃,In^3+浓度〈160g/L,氨水浓度〈400g/L,终点pH为6.8~8的条件下,得到的纳米ITO粉末颗粒呈球状,团聚少、分散性好,In2O3:SnO2(质量)=9:1,平均粒径〈50nm,比表面积〉15m^2/g。 展开更多
关键词 材料合成与加工工艺 纳米ito粉体 化学共沉淀法 超声波
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在纳米ITO粉末共沉淀法制备过程中pH值的影响 被引量:7
10
作者 朱协彬 段学臣 《稀有金属与硬质合金》 CAS CSCD 2006年第2期8-11,共4页
研究了水相共沉淀法制备ITO粉末过程中,pH值对粉末形成过程的影响,并用TEM和XRD对其作了表征分析。结果表明,反应pH值在2.8~4.1之间时可实现共沉淀。在沉淀终点pH=9时,晶粒粒径最小,比表面积最大,团聚系数最小,粒径分布均匀... 研究了水相共沉淀法制备ITO粉末过程中,pH值对粉末形成过程的影响,并用TEM和XRD对其作了表征分析。结果表明,反应pH值在2.8~4.1之间时可实现共沉淀。在沉淀终点pH=9时,晶粒粒径最小,比表面积最大,团聚系数最小,粒径分布均匀,单分散性能好,无团聚现象。当pH值过低时,沉淀不完全,造成物料流失;pH值过高时,颗粒变大,会影响到比表面积变小等其他相关性能。 展开更多
关键词 ito 粉末 PH值 制备
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燃烧合成超细ITO粉体 被引量:2
11
作者 彭桂花 王夏 +2 位作者 何岸梅 梁振华 韩小宝 《广西师范大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2011年第4期99-103,共5页
以In粒和Sn粒为原料,尿素为燃料,柠檬酸为添加剂,燃烧合成ITO(掺锡氧化铟)粉体,利用粉末X射线衍射、扫描电子显微镜对产品进行表征,并研究柠檬酸(C6H8O7)对燃烧产物的影响。结果表明,以尿素为燃料燃烧合成是制备ITO粉体的有效途径,添加... 以In粒和Sn粒为原料,尿素为燃料,柠檬酸为添加剂,燃烧合成ITO(掺锡氧化铟)粉体,利用粉末X射线衍射、扫描电子显微镜对产品进行表征,并研究柠檬酸(C6H8O7)对燃烧产物的影响。结果表明,以尿素为燃料燃烧合成是制备ITO粉体的有效途径,添加剂柠檬酸能有效抑制粉体的团聚,使颗粒分散性变好,得到颗粒细小均匀的ITO粉体。 展开更多
关键词 燃烧合成 超细ito粉体 柠檬酸
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制备工艺对纳米级铟锡氧化物(ITO)形貌和电性能的影响 被引量:10
12
作者 刘建玲 赖琼琳 +3 位作者 陈宗璋 何莉萍 杨天足 江名喜 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期559-562,共4页
以SnCl4·5H2O、In和浓盐酸为原料,采用化学共沉淀法制备出了纳米级锡掺杂氧化铟(ITO)导电微粉,系统地研究了掺杂量,共沉淀温度,pH值,热处理时间、温度对粉体粒度、形貌和电性能的影响规律。研究表明,合成的ITO粉体分散性较好、导... 以SnCl4·5H2O、In和浓盐酸为原料,采用化学共沉淀法制备出了纳米级锡掺杂氧化铟(ITO)导电微粉,系统地研究了掺杂量,共沉淀温度,pH值,热处理时间、温度对粉体粒度、形貌和电性能的影响规律。研究表明,合成的ITO粉体分散性较好、导电性能优异,粒径在40nm左右具有立方铁锰矿结构。在ITO纳米导电粉的制备过程中,共沉淀温度和滴定终点pH值对其形貌和性能有很大影响,当共沉淀温度在60℃左右,pH=6时制得的粉体性能最佳。煅烧条件对粉体的形貌、粒度和导电性也有较大的影响,在700℃,4h条件下可以制得导电性能良好,结晶完好,粒度分布均匀的ITO粉体。掺入Sn(Ⅳ)的量对载流子的迁移率有很大的影响,在掺杂浓度为10%左右可制得导电性极佳的纳米ITO粉体。 展开更多
关键词 纳米级ito粉体 共沉淀 煅烧 结晶 电性能
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纳米ITO粉体的制备及其性能表征 被引量:16
13
作者 吕志伟 陈志飞 姚吉升 《矿冶工程》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期70-72,共3页
介绍了以In(NO3 ) 3 、SnCl4·5H2 O和尿素为原料、采用均相共沉淀法在一定的条件下制备纳米级ITO粉体的实验过程 ,并对产品的结构性能进行了表征。结果表明 :所得的ITO粉体平均粒径约为 80nm、分散性好、呈单一相。
关键词 均相共沉淀法 纳米粉体 ITD
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液相共沉淀法制备纳米ITO粉体 被引量:7
14
作者 张久兴 张艳峰 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期451-454,共4页
采用化学共沉淀法,以InCl3?5H2O和SnCl4?5H2O为原料,在掺杂浓度In2O3与SnO2的质量比为9:1的条件下,合成了平均粒径80nm的ITO粉体。利用TEM,XRD,DSC-TG,IR,ζ电位分析仪等实验方法对粉体的形貌、物相、结构等进行了表征。实验结果表明,... 采用化学共沉淀法,以InCl3?5H2O和SnCl4?5H2O为原料,在掺杂浓度In2O3与SnO2的质量比为9:1的条件下,合成了平均粒径80nm的ITO粉体。利用TEM,XRD,DSC-TG,IR,ζ电位分析仪等实验方法对粉体的形貌、物相、结构等进行了表征。实验结果表明,当前驱体煅烧温度为600℃时,可以获得晶化良好的立方In2O3结构的In2O3和SnO2固溶体。根据ζ电位测定和TEM的观察结果,当反应的最终pH值为9时,粉体的分散性较好。 展开更多
关键词 ito 纳米粉体 化学共沉淀法
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电弧气化法制备纳米ITO粉末及高密度ITO靶的研制 被引量:4
15
作者 张雪凤 潘震 +1 位作者 王政红 邢朋飞 《材料开发与应用》 CAS 2009年第3期1-3,7,共4页
以纯度为99.99%的纯金属In和Sn为原料,采用电弧气化法制备了单一立方In2O3结构的纳米ITO合金粉末,所制备的粉末以四方和类球形两种形貌存在,粒度主要位于30-70nm,分散性良好;并在此基础上采用常压烧结制备了相对密度高达99.74... 以纯度为99.99%的纯金属In和Sn为原料,采用电弧气化法制备了单一立方In2O3结构的纳米ITO合金粉末,所制备的粉末以四方和类球形两种形貌存在,粒度主要位于30-70nm,分散性良好;并在此基础上采用常压烧结制备了相对密度高达99.74%,平均电阻率达到1.52×10^-4Ω·cm,结构成份均匀,晶粒尺寸5—10μm左右的超高密度ITO靶材。 展开更多
关键词 电弧气化法 纳米 ito ito
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微波辅助-水相共沉淀法纳米ITO粉体的制备及其表征 被引量:3
16
作者 朱协彬 姜涛 +1 位作者 邱冠周 黄伯云 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第10期1720-1723,共4页
利用微波辅助-水相共沉淀法,在InCl3和SnCl4混和溶液中添加PEG-6000,并滴加体积比1∶4浓度的氨水,并在不同反应温度(35~75℃)下制备了ITO前驱体,在温度800℃煅烧1h后得到纳米ITO粉体。利用SEM对纳米ITO粉体的形貌进行表征,用XRD对其结... 利用微波辅助-水相共沉淀法,在InCl3和SnCl4混和溶液中添加PEG-6000,并滴加体积比1∶4浓度的氨水,并在不同反应温度(35~75℃)下制备了ITO前驱体,在温度800℃煅烧1h后得到纳米ITO粉体。利用SEM对纳米ITO粉体的形貌进行表征,用XRD对其结构、晶粒度和堆垛层数进行了表征,同时用纳米粒度Zeta电位分析仪对相应颗粒度进行了测试。讨论了微波辅助下不同反应体系温度对制备的纳米ITO粉体的形貌和尺寸的影响,并探讨了其机理,研究结果表明,随着反应体系温度的上升,纳米ITO粉体形貌由球形转为棒形,其晶体结构不变,晶粒粒径和颗粒度随着增大;反应体系温度的升高使纳米ITO晶粒不同晶面的晶粒度不同程度地增大,以及不同晶面垂直方向晶面不同程度地增多,是球形ITO晶粒成为棒形ITO晶粒的基础。 展开更多
关键词 纳米ito粉体 微波辅助-水相共沉淀法 制备 表征 机理
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ITO粉末材料中铟含量的测定 被引量:7
17
作者 宋伟明 林枫 +1 位作者 买小霞 胡奇林 《石油化工应用》 CAS 2008年第1期43-45,共3页
ITO粉末材料中铟的氧化物的含量约为90%左右,锡的氧化物约为10%左右,为了知道自制ITO粉末材料中氧化铟的含量,我们用柠檬酸作掩蔽剂,H3PO4-柠檬酸作缓冲溶液,将pH控制在2.5~2.6,采用EDTA容量法进行测定,测得相对平均偏差为0.2%-0.9%,... ITO粉末材料中铟的氧化物的含量约为90%左右,锡的氧化物约为10%左右,为了知道自制ITO粉末材料中氧化铟的含量,我们用柠檬酸作掩蔽剂,H3PO4-柠檬酸作缓冲溶液,将pH控制在2.5~2.6,采用EDTA容量法进行测定,测得相对平均偏差为0.2%-0.9%,回收率在99%-102%.试验结果符合要求,较令人满意. 展开更多
关键词 ito EDTA容量法
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成形工艺对烧结法制备ITO靶材的影响 被引量:10
18
作者 王玥 刘家祥 刘宸 《有色金属》 CSCD 北大核心 2010年第4期30-33,共4页
以平均粒径为30nm的ITO粉体为原料,添加少量聚乙烯醇(PVA)造粒,模压成形获得素坯,在氧气氛、1550℃烧结素坯制备IT0靶材。采用100~600MPa的成形压力,添加0.5%,1.0%,2.5%的PVA制备靶材,研究压力和PVA添加量对靶材制备的... 以平均粒径为30nm的ITO粉体为原料,添加少量聚乙烯醇(PVA)造粒,模压成形获得素坯,在氧气氛、1550℃烧结素坯制备IT0靶材。采用100~600MPa的成形压力,添加0.5%,1.0%,2.5%的PVA制备靶材,研究压力和PVA添加量对靶材制备的影响。结果表明,成形压力在100~500MPa内,素坯及靶材密度随压力升高而增大,500MPa时达到最大值,分别为47.5%和99.16%。600MPa时素坯和靶材密度略微降低。成形压力越高,摩擦导致的压力损失越大,素坯脱模越困难。增大PVA添加量,素坯更易脱模,且坯体内密度分布更均一。添加1.0%的PVA时获得的素坯及靶材密度最高,分别为45,21%和98,45%。得出素坯的较佳制备条件为成型压力400MPa,PVA添加1.0%。 展开更多
关键词 粉末冶金 ito靶材 素坯 成形压力 PVA
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纳米ITO粉末的离心喷雾造粒工艺 被引量:1
19
作者 彭平 陈敬超 +4 位作者 杜焰 陈守东 王鹏 武月春 于杰 《粉末冶金材料科学与工程》 EI 北大核心 2014年第3期395-400,共6页
以纳米氧化铟锡(ITO)粉末为原料,采用离心喷雾造粒技术制备高性能ITO造粒粉体,通过SEM、激光粒度仪及松装密度仪等手段研究浆料固相含量、粘结剂含量及雾化器转速对干燥粉体形貌、粒径分布、流动性和松装密度的影响。结果表明:当浆料固... 以纳米氧化铟锡(ITO)粉末为原料,采用离心喷雾造粒技术制备高性能ITO造粒粉体,通过SEM、激光粒度仪及松装密度仪等手段研究浆料固相含量、粘结剂含量及雾化器转速对干燥粉体形貌、粒径分布、流动性和松装密度的影响。结果表明:当浆料固相含量为50%、粘结剂为1%、雾化器转速为10 800 r/min时,喷雾造粒得到的ITO粉体成球率较高、粒径分布均匀、松装密度和流动性显著提高。用该ITO造粒粉末经冷等静压成形制坯和常压烧结制备靶材,压坯和烧结坯的致密度可达到61.7%和99.27%。 展开更多
关键词 离心喷雾干燥 ito粉造粒 成球率 松装密度 相对密度
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制备ITO靶材的探索 被引量:3
20
作者 张越举 李晓杰 +2 位作者 孙贵磊 陈涛 王小红 《真空》 CAS 北大核心 2005年第6期27-32,共6页
ITO的用途越来越广泛。研究并且制备ITO靶材具有相当的战略意义。本文概述了ITO玻璃的用途和ITO膜的镀制方法,对目前国内ITO靶材加工和研究的现状进行了调查,提出了用爆炸方法压实ITO纳米粉末并附加烧结的工艺生产靶材的途径。借助粉末... ITO的用途越来越广泛。研究并且制备ITO靶材具有相当的战略意义。本文概述了ITO玻璃的用途和ITO膜的镀制方法,对目前国内ITO靶材加工和研究的现状进行了调查,提出了用爆炸方法压实ITO纳米粉末并附加烧结的工艺生产靶材的途径。借助粉末的压实理论,对粉末的爆炸压实进行了理论探索。并通过初步实验证实了爆炸法的可行性。 展开更多
关键词 ito 爆炸压实 纳米粉末 理论探索 膨胀系数
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