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ITO透明半导体膜的研究 被引量:2
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作者 林钰 辛荣生 贾晓林 《河南教育学院学报(自然科学版)》 2003年第1期28-29,共2页
采用直流磁控溅射ITO陶瓷靶的高温低氧工艺,在玻璃衬底上成功地镀制了ITO透明半导体膜,其可见光透过率达80%以上,电阻率降到3×10^(-4)(?)cm以下。
关键词 ito透明半导体膜 铟锡氧化物 ito陶瓷 直流磁控贱射 高温低氧工艺 光透过率 电阻率
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高效径向结纳米线太阳能电池的制备工艺研究 被引量:1
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作者 孙肖林 李路 +1 位作者 丁臻昱 王天驰 《电子世界》 2016年第13期194-195,共2页
本文利用纳米线结构构建了径向结非晶硅薄膜太阳能电池,充分发挥了径向结结构"陷光效应"、共振耦合、降低衰减等优势,并对传统的平面结构的太阳能电池制备工艺加以改进,制备出高效径向结硅纳米线太阳能电池。
关键词 径向结 太阳能电池 金属热蒸发 等离子增强化学气相沉积(PECVD) 半导体透明导电ito蒸镀
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