新颖CCD图像传感器最新发展及应用

本文概述了EMCCD、Super HAD CCD、ITO-CCD、ISIS-CCD、RGBE-CCD、FoveonX3全色CCD图像传感器等CCD图像传感器的最新发展现状,同时也介绍了CCD图像传感器的原理、特点、发展趋势及面临的众多挑战。

新颖CCD图像传感器最新发展及应用

本文概述了EMCCD、Super HAD CCD、ITO-CCD、ISIS-CCD、RGBE-CCD、FoveonX3全色CCD图像传感器等CCD图像传感器的最新发展现状,同时也介绍了CCD图像传感器的原理、特点、发展趋势及面临的众多挑战。

投射电容屏ITO电路检测用线阵CCD成像系统的设计

为解决线阵CCD用于投射电容屏氧化铟锡(ITO)电路检测时不易获取高对比度图像的问题,根据明场照明反射成像原理,设计并构建了一套基于最大叠加反射系数差值的同轴照明与成像系统.根据投射电容屏ITO电路与玻璃基板的光学特性及ITO电路的几何特征,分析了光源照射及成像方式;根据ITO电路的多层复合结构,分析了影响ITO电路与玻璃基板成像对比度的影响因素;在满足较高生产率的运动速度下,通过对比不同光照亮度下所获取的系列图像,确定了可获得高对比度ITO电路与玻璃基板图像的成像系统工作参数.实验结果表明:检测精度为10μm、ITO基板运动速度为130 mm/s且光照亮度等级为190时,所获图像的灰度直方图具有显著双峰值,易于识别ITO电路缺陷.

CCD用透明栅电极的制作

采用反应溅射法制备了ITO透明导电薄膜材料,薄膜电阻率为2.59×10-4Ω·cm,可见光透过率可达90%;通过优化光刻工艺条件,选择合适的ITO薄膜刻蚀液,完成了ITO透明栅电极的制作;使用ITO透明电极代替其中一相多晶硅电极,制作的CCD图像传感器,其蓝光响应明显增加。

电容屏ITO电路缺陷自动检测光照研究

ITO材料与玻璃基板的透射与反射系数相近而使高速扫描CCD很难采集到高对比度图像,电容触摸屏的ITO电路上下双层结构使光源倾角与相机倾角不平行时照明光经过多次透射与反射后会出现无序叠加。采用光源倾角与相机倾角平行的透射照明方式能避免光强无序叠加,并能提高玻璃基板图像和ITO图像的对比度,光照强度优化实验表明:光强较弱时CCD曝光不足将导致图像过暗并存在横向条纹干扰,随光强增大图像灰度直方图双峰现象凸显,在光照等级达到200时达到最佳,之后变化不明显。