用于高分辨率Micro-LED显示阵列凸点的湿法回流制备方法与集成技术

为了实现高分辨率Micro-LED显示,介绍了一种基于SiO_(2)开孔的焊盘结构,使用基于丙三醇还原剂的湿法回流工艺,成功制备了间距为40μm,直径为15μm的铟(In)凸点阵列。通过剪切试验评价了In凸点与凸点下金属层(UBM)的连接可靠性,结果表明In凸点与UBM层形成了良好的机械互连性能,这是由于两者之间形成了稳定的金属间化合物AuIn2,提高了剪切强度。此外,还通过倒装键合工艺实现了Micro-LED发光器件的转移和精准键合。