利用MATLAB进行焦平面探测器的In柱高度自动统计

In柱制备是红外焦平面器件倒焊互连的关键工艺,In柱高度是评价In柱制备工艺水平的基本指标。通常的In柱高度统计方法为随机采样人工显微镜观测法,此方法由于采样点较少将导致统计结果不全面,另一方面由于In柱表面形貌的微观特性,人工显微镜观测引入的主观偏差将使统计结果不准确。提出了一种更合理可行的In柱高度统计方法,首先使用激光共聚焦显微镜对In柱表面形貌进行扫描,再利用MATLAB软件对扫描数据进行分析以统计In柱高度,分析时考虑In柱表面微观形貌对In柱高度的影响。利用此方法对16×16面阵的红外焦平面器件读出电路进行了In柱高度统计,统计结果优于随机采样人工显微镜观测法。为评价In柱制备工艺水平提供了更客观准确的In柱高度数据。

CO_2激光对HgCdTe焦平面器件热力作用的理论分析

利用有限元分析方法,对CO2连续激光辐照HgCdTe红外焦平面器件的温升效应和热应力效应进行模拟计算,模型的建立加入了In柱对实验的影响。对温度及热应力分布进行分析,结果表明,探测器的温度分布随着激光辐照时间的增加而出现明显的变化。在感光层与In柱阵列的交界面上所产生的热应力对HgCdTe红外焦平面器件造成的损伤有可能先于温升损伤而发生。