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氧化铟微球的制备及其对异丙醇的气敏特性
被引量:
1
1
作者
张萌
孙永娇
+1 位作者
位子涵
胡杰
《微纳电子技术》
北大核心
2016年第11期714-718,共5页
采用水热法合成了氧化铟(In_2O_3)微球结构。利用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)表征分析In_2O_3样品的晶相、元素种类和微观形貌。测试结果表明:合成的In_2O_3为空心的微球结构,且其平均直径约1μm。同时,制备了基于In_2O_3的...
采用水热法合成了氧化铟(In_2O_3)微球结构。利用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)表征分析In_2O_3样品的晶相、元素种类和微观形貌。测试结果表明:合成的In_2O_3为空心的微球结构,且其平均直径约1μm。同时,制备了基于In_2O_3的气体传感器,并对异丙醇的气敏特性进行研究。实验结果表明:在最佳工作温度(300℃)条件下,该气体传感器对体积分数为10-4异丙醇气体的响应可达10.3,响应时间和恢复时间分别为2 s和7 s,且最低检测极限为5×10-7。最后,讨论了In_2O_3材料对异丙醇的气敏机理。
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关键词
水热法
in2o3微球
气体传感器
气敏特性
异丙醇
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职称材料
题名
氧化铟微球的制备及其对异丙醇的气敏特性
被引量:
1
1
作者
张萌
孙永娇
位子涵
胡杰
机构
太原理工大学信息工程学院微纳系统研究中心
出处
《微纳电子技术》
北大核心
2016年第11期714-718,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(51205274)
山西省人才专项资助项目(2016[36])
+5 种基金
山西省自然基金资助项目(2016[39])
山西省高校科技创新研究项目(2016[37])
山西省归国留学择优资助项目([2014]95)
山西省归国留学基金资助项目(2013-035)
山西省科技重大专项资助项目(20121101004)
山西省高等学校特色重点学科建设项目(晋教财[2012]45号)
文摘
采用水热法合成了氧化铟(In_2O_3)微球结构。利用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)表征分析In_2O_3样品的晶相、元素种类和微观形貌。测试结果表明:合成的In_2O_3为空心的微球结构,且其平均直径约1μm。同时,制备了基于In_2O_3的气体传感器,并对异丙醇的气敏特性进行研究。实验结果表明:在最佳工作温度(300℃)条件下,该气体传感器对体积分数为10-4异丙醇气体的响应可达10.3,响应时间和恢复时间分别为2 s和7 s,且最低检测极限为5×10-7。最后,讨论了In_2O_3材料对异丙醇的气敏机理。
关键词
水热法
in2o3微球
气体传感器
气敏特性
异丙醇
Keywords
hydr
o
thermal meth
o
d
indium
o
xide micr
o
sphere
gas sens
o
r
gas sensing pr
o
perty
is
o
pr
o
pan
o
l
分类号
TB381 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
氧化铟微球的制备及其对异丙醇的气敏特性
张萌
孙永娇
位子涵
胡杰
《微纳电子技术》
北大核心
2016
1
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