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氧化铟微球的制备及其对异丙醇的气敏特性 被引量:1
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作者 张萌 孙永娇 +1 位作者 位子涵 胡杰 《微纳电子技术》 北大核心 2016年第11期714-718,共5页
采用水热法合成了氧化铟(In_2O_3)微球结构。利用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)表征分析In_2O_3样品的晶相、元素种类和微观形貌。测试结果表明:合成的In_2O_3为空心的微球结构,且其平均直径约1μm。同时,制备了基于In_2O_3的... 采用水热法合成了氧化铟(In_2O_3)微球结构。利用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)表征分析In_2O_3样品的晶相、元素种类和微观形貌。测试结果表明:合成的In_2O_3为空心的微球结构,且其平均直径约1μm。同时,制备了基于In_2O_3的气体传感器,并对异丙醇的气敏特性进行研究。实验结果表明:在最佳工作温度(300℃)条件下,该气体传感器对体积分数为10-4异丙醇气体的响应可达10.3,响应时间和恢复时间分别为2 s和7 s,且最低检测极限为5×10-7。最后,讨论了In_2O_3材料对异丙醇的气敏机理。 展开更多
关键词 水热法 in2o3微球 气体传感器 气敏特性 异丙醇
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