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Growth of Space Ordered 1.3μm InAs Quantum Dots on GaAs(100) Vicinal Substrates by MOCVD 被引量:1
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作者 梁松 朱洪亮 +1 位作者 潘教清 王圩 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第11期2074-2079,共6页
Space ordered 1.3μm self-assembled InAs QDs are grown on GaAs(100) vicinal substrates by MOCVD. Photoluminescence measurements show that the dots on vicinal substrates have a much higher PL intensity and a narrower... Space ordered 1.3μm self-assembled InAs QDs are grown on GaAs(100) vicinal substrates by MOCVD. Photoluminescence measurements show that the dots on vicinal substrates have a much higher PL intensity and a narrower FWHM than those of dots on exact substrates, which indicates better material quality. To obtain 1.3μm emissions of InAs QDs, the role of the so called InGaAs strain cap layer (SCL) and the strain buffer layer (SBL) in the strain relaxation process in quantum dots is studied. While the use of SBL results only in a small change of emission wavelength,SCL can extend the QD's emission over 1.3μm due to the effective strain reducing effect of SCL. 展开更多
关键词 inas quantum dots mocvd
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Electrical and deep levels characteristics of ZnO/Si heterostructure by MOCVD deposition 被引量:5
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作者 刘磁辉 刘秉策 付竹西 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2008年第6期2292-2296,共5页
ZnO films have been prepared on p-type Si substrates by metal-organic chemical vapour deposition (MOCVD) at different total gas flow rates. The current versus voltage and temperature (I - V - T) characteristics, t... ZnO films have been prepared on p-type Si substrates by metal-organic chemical vapour deposition (MOCVD) at different total gas flow rates. The current versus voltage and temperature (I - V - T) characteristics, the deep-level transient spectroscopy (DLTS) and the photoluminescence (PL) spectra of the samples were measured. DLTS shows two deep-level centres of E1 (Ec-0.13±0.02eV) and E2 (Ec-0.43±0.05eV) in sample 1202a, which has a ZnO/p-Si heterostructure. A deep level at Ec-0.13±0.01 eV was also obtained from the I -T characteristics. It was considered to be the same as E1 obtained from DLTS measurement. The emission related to this deep level center was detected by PL spectra. In addition, the energy location and the relative trap density of E1 was varied when the total gas flow rate was changed. 展开更多
关键词 mocvd ZnO/Si heterostructure PL spectra deep-level emission
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High-operating-temperature MWIR photodetector based on a InAs/GaSb superlattice grown by MOCVD 被引量:1
3
作者 Xiujun Hao Yan Teng +7 位作者 He Zhu Jiafeng Liu Hong Zhu Yunlong Huai Meng Li Baile Chen Yong Huang Hui Yang 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2022年第1期49-52,共4页
We demonstrate a high-operating-temperature(HOT)mid-wavelength InAs/GaSb superlattice heterojunction in-frared photodetector grown by metal-organic chemical vapor deposition.High crystalline quality and the near-zero ... We demonstrate a high-operating-temperature(HOT)mid-wavelength InAs/GaSb superlattice heterojunction in-frared photodetector grown by metal-organic chemical vapor deposition.High crystalline quality and the near-zero lattice mis-match of a InAs/GaSb superlattice on an InAs substrate were evidenced by high-resolution X-ray diffraction.At a bias voltage of-0.1 V and an operating temperature of 200 K,the device exhibited a 50%cutoff wavelength of~4.9μm,a dark current dens-ity of 0.012 A/cm^(2),and a peak specific detectivity of 2.3×10^(9) cm·Hz^(1/2)/W. 展开更多
关键词 HOT MWIR inas/GaSb superlattice aluminum-free mocvd
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InAs和InAs/GaSb异质结的MOCVD生长和表征 被引量:1
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作者 周天明 张宝林 +3 位作者 蒋红 宁永强 李树纬 金亿鑫 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第3期223-227,共5页
以三甲基铟(TMIn)、砷烷(AsH3)、三甲基镓(TMGa)和三甲基锑(TMSb)为源,用水平常压MOCVD技术,在较低的Ⅴ/Ⅲ比的条件下(1.5~4)于GaAs和GaSb衬底上成功地生长了InAs合金和InAs/... 以三甲基铟(TMIn)、砷烷(AsH3)、三甲基镓(TMGa)和三甲基锑(TMSb)为源,用水平常压MOCVD技术,在较低的Ⅴ/Ⅲ比的条件下(1.5~4)于GaAs和GaSb衬底上成功地生长了InAs合金和InAs/GaSb异质结.实验表明,生长温度在500℃~620℃范围内,InAs外延生长是扩散控制的.在Ⅴ/Ⅲ比为2.5时,生长效率(相对Ⅲ族源)为3×103μm/mol.不掺杂InAs外延层为n型的,室温迁移率为2000cm2/V.s.InAs/GaSb异质结的12KPL谱为一个在375meV处较宽的与杂质相关的跃迁峰。 展开更多
关键词 mocvd 异质结 红外光电材料 砷化铟 锑化镓
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InP衬底上LP-MOCVD生长InAs自组装量子点 被引量:1
5
作者 王本忠 刘式墉 +3 位作者 赵方海 孙洪波 彭宇恒 李正廷 《吉林大学自然科学学报》 CAS CSCD 1997年第2期70-72,共3页
报道利用低压金属有机化学气相沉积(LP-MOCVD)技术在(001)InP衬底上生长InAs自组装量子点的结果,用光致发光技术观察到较强的室温光荧光谱,其峰值波长约为1603um,分布在1300um^1700um范围内。
关键词 砷化铟 自组装量子点 mocvd 磷化铟 衬底
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用于红外探测的短周期InAs/GaSb超晶格材料的生长
6
作者 汪韬 杨瑾 +4 位作者 尹飞 王警卫 胡雅楠 张立臣 殷景致 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第6期511-513,550,555,共5页
用金属有机物化学气相淀积法(MOCVD)在GaSb衬底上生长InAs/GaSb超晶格,探索了最佳的生长厚度,优化了各种生长参数,并且分析了源流量控制的重要性.得到的超晶格材料的光致发光(PL)谱、X射线双晶衍射图以及表面形貌图表明,生长的超晶格材... 用金属有机物化学气相淀积法(MOCVD)在GaSb衬底上生长InAs/GaSb超晶格,探索了最佳的生长厚度,优化了各种生长参数,并且分析了源流量控制的重要性.得到的超晶格材料的光致发光(PL)谱、X射线双晶衍射图以及表面形貌图表明,生长的超晶格材料可以响应10μm的长波,且具有良好的表面形貌和外延层质量. 展开更多
关键词 inas/GASB超晶格 禁带宽度 金属有机物化学气相淀积法(mocvd) 原子力显微镜(AFM) 光致发光(PL)谱
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InAs/AlSb异质结的Pd/Ti/Pt/Au合金化欧姆接触(英文)
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作者 张静 吕红亮 +3 位作者 倪海桥 牛智川 张义门 张玉明 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期679-682,687,共5页
为了得到较低的接触电阻,研究了帽层未掺杂的InAs/AlSb异质结的Pd/Ti/Pt/Au合金化欧姆接触.利用传输线模型(TLM)测量了接触电阻Rc.在最佳的快速热退火条件为275℃和20s时,InAs/AlSb异质结的Pd/Ti/Pt/Au接触电阻值为0.128Ω·mm.TEM... 为了得到较低的接触电阻,研究了帽层未掺杂的InAs/AlSb异质结的Pd/Ti/Pt/Au合金化欧姆接触.利用传输线模型(TLM)测量了接触电阻Rc.在最佳的快速热退火条件为275℃和20s时,InAs/AlSb异质结的Pd/Ti/Pt/Au接触电阻值为0.128Ω·mm.TEM观察发现经过快速热退火后Pd已经扩散到半导体中有利于高质量欧姆接触的形成.研究表明经过Pd/Ti/Pt/Au合金化欧姆接触后Rc有明显减小,适用于InAs/AlSb异质结的应用. 展开更多
关键词 欧姆接触 快速热退火 inas/AlSb异质结
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InAsPSb/InAs四元系异质结液相外延
8
作者 王永珍 金长春 吕贵进 《吉林大学自然科学学报》 CSCD 1994年第4期55-58,共4页
利用液相外延技术,考察了与InAs衬底晶格匹配的InAsPSb四元系化合物生长条件对外延层晶体质量的影响.
关键词 异质结 液相外延 四元系 化合物
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Fabrication of GaN-Based Heterostructures with an InA1GaN/AlGaN Composite Barrier
9
作者 全汝岱 张进成 +6 位作者 薛军帅 赵一 宁静 林志宇 张雅超 任泽阳 郝跃 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2016年第8期127-130,共4页
CaN-based heterostructures with an InAlCaN/AlCaN composite barrier on sapphire (0001) substrates are grown by a low-pressure metal organic chemical vapor deposition system. Compositions of the InAiGaN layer are dete... CaN-based heterostructures with an InAlCaN/AlCaN composite barrier on sapphire (0001) substrates are grown by a low-pressure metal organic chemical vapor deposition system. Compositions of the InAiGaN layer are determined by x-ray photoelectron spectroscopy, structure and crystal quality of the heterostruetures are identified by high resolution x-ray diffraction, surface morphology of the samples are examined by an atomic force microscope, and Hall effect and capacitance-voltage measurements are performed at room temperature to evaluate the electrical properties of heterostructures. The Al/In ratio of the InAlGaN layer is 4.43, which indicates that the InAlCaN quaternary layer is nearly lattice-matched to the CaN channel. Capacitance-voltage results show that there is no parasitic channel formed between the InAIGaN layer and the AlCaN layer. Compared with the InAl- CaN/CaN heterostructure, the electrical properties of the InAlCaN/AlGaN/GaN heterostructure are improved obviously. Influences of the thickness of the AlGaN layer on the electrical properties of the heterostructures are studied. With the optimal thickness of the AlGaN layer to be 5 nm, the 2DEG mobility, sheet density and the sheet resistance of the sample is 1889.61 cm2/V.s, 1.44 × 10^13 cm-2 and as low as 201.1 Ω/sq, respectively. 展开更多
关键词 ALGAN in on as is Fabrication of GaN-Based heterostructures with an InA1GaN/AlGaN Composite Barrier of with
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MOCVD脉冲法制备InAlGaN/GaN异质结材料特性研究 被引量:2
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作者 李忠辉 李传皓 +6 位作者 彭大青 张东国 罗伟科 李亮 潘磊 杨乾坤 董逊 《固体电子学研究与进展》 CSCD 北大核心 2017年第4期229-233,共5页
采用MOCVD脉冲供源方法制备了76.2 mm(3英寸)高质量薄势垒层的InAlGaN/GaN异质结材料。通过对样品表面形貌及电学特性等测试,研究了进入反应腔MO源的不同脉冲组合对InAlGaN材料生长的影响,并分析了相关机理。其中等效为InAlN/AlGaN类超... 采用MOCVD脉冲供源方法制备了76.2 mm(3英寸)高质量薄势垒层的InAlGaN/GaN异质结材料。通过对样品表面形貌及电学特性等测试,研究了进入反应腔MO源的不同脉冲组合对InAlGaN材料生长的影响,并分析了相关机理。其中等效为InAlN/AlGaN类超晶格结构的势垒层外延方法,基于原子层间近晶格匹配和超晶格的原子层调制作用,有效改善了势垒层材料质量和表面形貌,提升了异质结料的电学特性,室温下电子迁移率达到1 620cm^2/(V·s),方块电阻217.2Ω/。 展开更多
关键词 金属有机物化学气相沉积 InAlGaN 异质结 迁移率
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生长温度对InAs/GaAs横向异质结构纳米线形貌及晶体结构的影响
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作者 刘妍 彭艳 +2 位作者 郭经纬 徐朝鹏 喇东升 《复合材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第10期2418-2425,共8页
低维半导体材料因其超常的物理性能而受到了广泛关注和研究。本文采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)技术,利用金作催化剂制备了InAs/GaAs横向异质结构纳米线,并讨论了不同生长温度情况下InAs横向异质材料对纳米线形貌及晶体结构的影响... 低维半导体材料因其超常的物理性能而受到了广泛关注和研究。本文采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)技术,利用金作催化剂制备了InAs/GaAs横向异质结构纳米线,并讨论了不同生长温度情况下InAs横向异质材料对纳米线形貌及晶体结构的影响。提高InAs材料的生长温度,可以有效地抑制纳米线的纵向生长,使其实现横向异质结构的生长。在异质结构纳米线横向生长时发生了侧面晶面旋转的现象,这是纳米线表面重构后侧面趋向能量更低的晶面的结果。本文的研究工作为推动微纳技术的发展提供了相应的理论基础和科学依据。 展开更多
关键词 纳米线 气-液-固 金属有机化合物气相沉积(mocvd) GaAs inas
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MOCVD生长GaAs/AlGaAs掺杂量子异质结构工艺评价 被引量:1
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作者 任红文 刘士文 +2 位作者 徐现刚 黄柏标 蒋民华 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 1993年第2期132-135,共4页
对常压 MOCVD 生长 GaAs/AIGaAs 掺杂多量子阱、超晶格及双极异质晶体管(HBT)和双势垒量子共振隧穿二极管(DBRTD)的生长工艺与结构性能的关系进行了研究。连续生长的量子阱材料载流子低温光荧光(PL)发光波长较间断生长结果蓝移,但强度... 对常压 MOCVD 生长 GaAs/AIGaAs 掺杂多量子阱、超晶格及双极异质晶体管(HBT)和双势垒量子共振隧穿二极管(DBRTD)的生长工艺与结构性能的关系进行了研究。连续生长的量子阱材料载流子低温光荧光(PL)发光波长较间断生长结果蓝移,但强度为后者的10倍,且谱线也较窄。透射电镜(TEM)观察发现,间断生长界面间断处有一因组分波动和杂质吸附产生的亮条纹,且 AlGaAs/GaAs 和 GaAs/AlGaAs 两种异质界面不等同。利用连续生长工艺得到了间断生长未能实现的较高性能的 HBT、DBRTD 器件。 展开更多
关键词 化学汽相沉积 晶体 砷化镓 ALGAAS
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High resolution scanning gate microscopy measurements on InAs/GaSb nanowire Esaki diode devices 被引量:1
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作者 James L. Webb Olof Perssor +3 位作者 Kimberly A. Dick Claes Thelander Rainer Timm Anders Mikkelsen 《Nano Research》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第6期877-887,共11页
Gated transport measurements are the backbone of electrical characterization of nanoscale electronic devices. Scanning gate microscopy (SGM) is one such gating technique that adds crucial spatial information, access... Gated transport measurements are the backbone of electrical characterization of nanoscale electronic devices. Scanning gate microscopy (SGM) is one such gating technique that adds crucial spatial information, accessing the localized properties of semiconductor devices. Nanowires represent a central device concept due to the potential to combine very different materials. However, SGM on semiconductor nanowires has been limited to a resolution in the 50-100 nm range. Here, we present a study by SGM of newly developed III-V semiconductor nanowire InAs/GaSb heterojunction Esaki tunnel diode devices under ultra-high vacuum. Sub-5 nm resolution is demonstrated at room temperature via use of quartz resonator atomic force microscopy sensors, with the capability to resolve InAs nanowire facets, the InAs/GaSb tunnel diode transition and nanoscale defects on the device. We demonstrate that such measurements can rapidly give important insight into the device properties via use of a simplified physical model, without the requirement for extensive calculation of the electrostatics of the system. Interestingly, by precise spatial correlation of the device electrical transport properties and surface structure we show the position and existence of a very abrupt (〈10 nm) electrical transition across the InAs/GaSb junction despite the change in material composition occurring only over 30-50 nm. The direct and simultaneous link between nanostructure composition and electrical properties helps set important limits for the precision in structural control needed to achieve desired device performance. 展开更多
关键词 nanowire scanning gate microscopy Esaki tunnel diode inas GaSb III-V heterostructure
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941nm 2%占空比大功率半导体激光器线阵列 被引量:4
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作者 辛国锋 花吉珍 +4 位作者 陈国鹰 康志龙 杨鹏 徐会武 安振峰 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期521-524,共4页
计算了半导体激光器的激射波长与量子阱宽度以及有源层中In组分的关系 ,确定了94 1nm波长的量子阱宽度和In组分 并利用金属有机化合物气相淀积 (MOCVD)技术生长了InGaAs/GaAs/AlGaAs分别限制应变单量子阱激光器材料 利用该材料制成半... 计算了半导体激光器的激射波长与量子阱宽度以及有源层中In组分的关系 ,确定了94 1nm波长的量子阱宽度和In组分 并利用金属有机化合物气相淀积 (MOCVD)技术生长了InGaAs/GaAs/AlGaAs分别限制应变单量子阱激光器材料 利用该材料制成半导体激光器线阵列的峰值波长为 94 0 .5nm ,光谱的FWHM为 2 .6nm ,在 4 0 0 μs ,5 0Hz的输入电流下 ,输出峰值功率达到1 1 4 .7W(1 6 5A) ,斜率效率高达 0 .81W/A ,阈值电流密度为 1 0 3.7A/cm2 ,串联电阻 5mΩ ,最高转换效率可达 36 .9% 展开更多
关键词 金属有机化合物气相淀积 半导体激光器阵列 分别限制结构 单量子阱
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蓝宝石上高电子迁移率AlGaN/GaN材料的研究 被引量:1
15
作者 袁凤坡 梁栋 +3 位作者 尹甲运 许敏 刘波 冯志宏 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期497-500,共4页
通过优化蓝宝石衬底上GaN材料缓冲层和Mg掺杂生长工艺,获得了高质量的半绝缘GaN缓冲层,同时通过优化AlGaN/GaN异质结材料中AlN插入层的厚度,获得了性能优良的AlGaN/GaN HEMT材料。室温下2DEG载流子面密度为1.21×1013/cm2,迁移率为1... 通过优化蓝宝石衬底上GaN材料缓冲层和Mg掺杂生长工艺,获得了高质量的半绝缘GaN缓冲层,同时通过优化AlGaN/GaN异质结材料中AlN插入层的厚度,获得了性能优良的AlGaN/GaN HEMT材料。室温下2DEG载流子面密度为1.21×1013/cm2,迁移率为1970 cm2/V.s,77 K下2DEG迁移率达到13000 cm2/V.s。 展开更多
关键词 金属有机化学气相外延淀积 氮化镓 铝镓氮/氮化镓 异质结 二维电子气
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Fabrication and characterization of AlGaN/GaN HEMTs with high power gain and efficiency at 8 GHz 被引量:1
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作者 Quan Wang Changxi Chen +10 位作者 Wei Li Yanbin Qin Lijuan Jiang Chun Feng Qian Wang Hongling Xiao Xiufang Chen Fengqi Liu Xiaoliang Wang Xiangang Xu Zhanguo Wang 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2021年第12期44-51,共8页
State-of-the-art AlGaN/GaN high electron mobility structures were grown on semi-insulating 4H-SiC substrates by MOCVD and X-band microwave power high electron mobility transistors were fabricated and characterized.Hal... State-of-the-art AlGaN/GaN high electron mobility structures were grown on semi-insulating 4H-SiC substrates by MOCVD and X-band microwave power high electron mobility transistors were fabricated and characterized.Hall mobility of 2291.1 cm^(2)/(V·s)and two-dimensional electron gas density of 9.954×10^(12)cm^(-2)were achieved at 300 K.The HEMT devices with a 0.45-μm gate length exhibited maximum drain current density as high as 1039.6 mA/mm and peak extrinsic transconductance of 229.7 mS/mm.The f_(T)of 30.89 GHz and f_(max)of 38.71 GHz were measured on the device.Load-pull measurements were performed and analyzed under(-3.5,28)V,(-3.5,34)V and(-3.5,40)V gate/drain direct current bias in class-AB,respectively.The uncooled device showed high linear power gain of 17.04 dB and high power-added efficiency of 50.56%at 8 GHz when drain biased at(-3.5,28)V.In addition,when drain biased at(-3.5,40)V,the device exhibited a saturation output power dens-ity up to 6.21 W/mm at 8 GHz,with a power gain of 11.94 dB and a power-added efficiency of 39.56%.Furthermore,the low f_(max)/f_(T)ratio and the variation of the power sweep of the device at 8 GHz with drain bias voltage were analyzed. 展开更多
关键词 AlGaN/GaN heterostructure mocvd HEMTS power amplifier
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N极性GaN/AlGaN异质结和场效应晶体管(英文)
17
作者 房玉龙 王现彬 +7 位作者 吕元杰 王英民 顾国栋 宋旭波 尹甲运 冯志红 蔡树军 赵正平 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第2期114-118,共5页
由于晶格的反转和随之而来的极化场的反转,N极性面氮化物材料已经成为微波功率器件应用的理想材料之一。在2英寸(1英寸=2.54cm)偏角度4H-SiC衬底上通过金属有机物化学气相沉积(MOCVD)的方法生长了N极性面GaN/AlGaN异质结材料,使用X射线... 由于晶格的反转和随之而来的极化场的反转,N极性面氮化物材料已经成为微波功率器件应用的理想材料之一。在2英寸(1英寸=2.54cm)偏角度4H-SiC衬底上通过金属有机物化学气相沉积(MOCVD)的方法生长了N极性面GaN/AlGaN异质结材料,使用X射线衍射仪(HR-XRD)、原子力显微镜(AFM)、Raman光谱仪和扫描电子显微镜(SEM)等对材料进行了表征。结果表明,N极性面GaN/AlGaN异质结材料的二维电子气面密度和迁移率分别为0.92×1013cm^(-2)和1035cm^2/(V·s)。制备了N极性GaN/AlGaN异质结场效应晶体管(HFET)。测试结果表明,1μm栅长的n极性面GaN/AlGa NHFET器件峰值跨导为88.9mS/mm,峰值电流为128mA/mm。 展开更多
关键词 N极性 GaN/AlGaN 异质结场效应晶体管(HFET) 异质结 金属有机化学气相沉积(mocvd)
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AlN插入层对AlGaN/GaN外延材料电学性能影响
18
作者 王侠 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期672-675,共4页
采用MOCVD制备了带有Al N插入层Al Ga N/Ga N异质结构外延材料,对外延材料分别进行了原子力显微镜AFM、双晶XRD以及变温HALL测试。测试结果表明:具有Al N插入层的外延材料表面非常平整,10μm×10μm范围样品的表面均方根粗糙度RMS仅... 采用MOCVD制备了带有Al N插入层Al Ga N/Ga N异质结构外延材料,对外延材料分别进行了原子力显微镜AFM、双晶XRD以及变温HALL测试。测试结果表明:具有Al N插入层的外延材料表面非常平整,10μm×10μm范围样品的表面均方根粗糙度RMS仅为0.302 nm,Al Ga N势垒层衍射峰更尖锐,材料结构特性良好,大大提高了Al Ga N/Ga N异质结的2DEG面密度和迁移率,280 K和300 K时沟道电子迁移率分别为4736 cm2/V·s和1785 cm2/V·s,比无Al N插入层的传统结构得到的结果分别提高了45.7%和23.4%。 展开更多
关键词 mocvd AlN插入层 AlGaN/GaN异质结构 外延 迁移率
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InGaAs/AlGaAs半导体激光器二维阵列 被引量:5
19
作者 辛国锋 陈国鹰 +2 位作者 冯荣珠 花吉珍 安振峰 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第8期684-686,共3页
用金属有机化合物气相淀积 (MOCVD)技术外延生长了InGaAs/AlGaAs分别限制应变单量子阱激光器材料。利用该材料制成半导体激光器一维线阵列 ,然后再串联组装成二维阵列 ,在 1 0 0 0 μs的输入脉宽下 ,输出峰值功率达到 730W (77A) ,输出... 用金属有机化合物气相淀积 (MOCVD)技术外延生长了InGaAs/AlGaAs分别限制应变单量子阱激光器材料。利用该材料制成半导体激光器一维线阵列 ,然后再串联组装成二维阵列 ,在 1 0 0 0 μs的输入脉宽下 ,输出峰值功率达到 730W (77A) ,输出光功率密度为 4 87W/cm2 ,中心激射波长为 90 3nm ,光谱半宽 (FWHM )为 4 4nm。在此条件下可以稳定工作 86 0 展开更多
关键词 激光技术 半导体激光器 金属有机化合物气相淀积 二维阵列 分别限制单量子阱
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9OOnm高功率半导体激光器线阵列 被引量:3
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作者 辛国锋 冯荣珠 +1 位作者 陈国鹰 花吉珍 《激光与光电子学进展》 CSCD 2003年第3期43-44,共2页
利用金属有机化合物气相淀积(MOCVD)技术生长了InGaAs/GaAs分别限制应变单量子阱激光器工作物质。利用它制成半导体激光器线阵列,其峰值波长为900nm,光谱半高全宽小于4nm,在脉宽1000μs、13Hz的输入电流抽运下,输出峰值功率接近60W(室温... 利用金属有机化合物气相淀积(MOCVD)技术生长了InGaAs/GaAs分别限制应变单量子阱激光器工作物质。利用它制成半导体激光器线阵列,其峰值波长为900nm,光谱半高全宽小于4nm,在脉宽1000μs、13Hz的输入电流抽运下,输出峰值功率接近60W(室温,电流87A),斜率效率为0.64W/A。 展开更多
关键词 半导体激光器线阵列 金属有机化台物气相淀积 单量子阱 材料结构 制作工艺
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