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中波InAs/GaSb超晶格红外焦平面探测器 被引量:5
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作者 向伟 王国伟 +5 位作者 徐应强 郝宏玥 蒋洞微 任正伟 贺振宏 牛智川 《航空兵器》 2015年第1期49-51,共3页
由分子束外延生长的GaSb基的InAs/GaSb超晶格材料具有良好的均匀性,其在制作红外焦平面探测器方面有独特的优势。分别采用生长中断和表面迁移率增强的分子束外延法在GaSb衬底上生长了中波段InAs/GaSb超晶格红外探测器材料,对比表明对于... 由分子束外延生长的GaSb基的InAs/GaSb超晶格材料具有良好的均匀性,其在制作红外焦平面探测器方面有独特的优势。分别采用生长中断和表面迁移率增强的分子束外延法在GaSb衬底上生长了中波段InAs/GaSb超晶格红外探测器材料,对比表明对于中波超晶格材料,生长中断法优于表面迁移率增强法。利用标准工艺制作了中波红外PIN单元探测器,并制备了320×256的焦平面探测器芯片。 展开更多
关键词 In As/ga sb超晶格 红外焦平面探测器 分子束外延
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InAs基InAs/Ga(As)Sb Ⅱ类超晶格长波红外探测器湿法腐蚀研究(英文) 被引量:2
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作者 吴佳 徐志成 +1 位作者 陈建新 何力 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第5期549-553,共5页
开展了InAs基InAs/Ga(As)SbⅡ类超晶格长波红外探测器的湿法腐蚀工艺研究.选择的腐蚀液由柠檬酸、磷酸和过氧化氢组成,先后在InAs、GaSb体材料和InAs/Ga(As)SbⅡ类超晶格上进行了湿法腐蚀实验,分别获得了其最佳的腐蚀液组分及配比.使用... 开展了InAs基InAs/Ga(As)SbⅡ类超晶格长波红外探测器的湿法腐蚀工艺研究.选择的腐蚀液由柠檬酸、磷酸和过氧化氢组成,先后在InAs、GaSb体材料和InAs/Ga(As)SbⅡ类超晶格上进行了湿法腐蚀实验,分别获得了其最佳的腐蚀液组分及配比.使用优化的磷酸系腐蚀液对InAs/Ga(As)SbⅡ类超晶格进行腐蚀,获得的腐蚀表面粗糙度仅为1nm.然后使用改进的工艺制备了50%截止波长为12μm的超晶格长波单元器件,实验结果表明磷酸系腐蚀液可以获得低暗电流密度的InAs基InAs/Ga(As)SbⅡ类超晶格长波红外探测器.另外,在81K下,该探测器的表面电阻率(ρSurface)为4.4×10^3Ωcm. 展开更多
关键词 In As/ga(As) sb Ⅱ类超晶格 湿法腐蚀 表面形貌
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Electron mobility anisotropy in (Al,Ga)Sb/InAs two-dimensional electron gases epitaxied on GaAs (001) substrates 被引量:2
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作者 Qiqi Wei Hailong Wang +1 位作者 Xupeng Zhao Jianhua Zhao 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2022年第7期55-60,共6页
The electron mobility anisotropy in (Al,Ga)Sb/InAs two-dimensional electron gases with different surface morphology has been investigated.Large electron mobility anisotropy is found for the sample with anisotropic mor... The electron mobility anisotropy in (Al,Ga)Sb/InAs two-dimensional electron gases with different surface morphology has been investigated.Large electron mobility anisotropy is found for the sample with anisotropic morphology,which is mainly induced by the threading dislocations in the InAs layer.For the samples with isotropic morphology,the electron mobility is also anisotropic and could be attributed to the piezoelectric scattering.At low temperature (below transition temperature),the piezoelectric scattering is enhanced with the increase of temperature,leading to the increase of electron mobility anisotropy.At high temperature (above transition temperature),the phonon scattering becomes dominant.Because the phonon scattering is isotropic,the electron mobility anisotropy in all the samples would be reduced.Our results provide useful information for the comprehensive understanding of electron mobility anisotropy in the (Al,Ga)Sb/InAs system. 展开更多
关键词 molecular-beam epitaxy (Al ga)sb/inas two-dimensional electron gases electron mobility anisotropy piezoelectric scattering
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Long-wave infrared emission properties of strain-balanced InAs/In_(x)Ga_(1-x)As_(y)Sb_(1-y)type-Ⅱsuperlattice on different substrates
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作者 Chao Shi Xuan Fang +6 位作者 Hong-Bin Zhao Deng-Kui Wang Xi Chen Dan Fang Dong-Bo Wang Xiao-Hua Wang Jin-Hua Li 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第7期3194-3204,共11页
High-performance type-Ⅱsuperlattices ofⅢ-Ⅴsemiconductor materials play an important role in the development and application of infrared optoelectronic devices.Improving the quality of epitaxial materials and clarif... High-performance type-Ⅱsuperlattices ofⅢ-Ⅴsemiconductor materials play an important role in the development and application of infrared optoelectronic devices.Improving the quality of epitaxial materials and clarifying the luminescent mechanism are of great significance for practic al applic ations.In this work,strain-balanced and high-quality In As/In_(x)Ga_(1-x)As_(y)Sb_(1-y)superlattices without lattice mismatch were achieved on InAs and GaSb substrates successfully.Superlattices grown on In As substrate could exhibit higher crystal quality and surface flatness based on high-resolution X-ray diffraction(HRXRD)and atomic force microscopy(AFM)measurements'results.Moreover,the strain distribution phenomenon from geometric phase analysis indicates that fluctuations of alloy compositions in superlattices on GaSb substrate are more obvious.In addition,the optical properties of superlattices grown on different substrates are discussed systematically.Because of the difference in fluctuations of element composition and interface roughness of superlattices on different substrates,the superlattices grown on In As substrate would have higher integral intensity and narrower full-width at half maximum of long-wave infrared emission.Finally,the thermal quenching of emission intensity indicates that the superlattices grown on the In As substrate have better recombination ability,which is beneficial for increasing the operating temperature of infrared optoelectronic devices based on this type of superlattices. 展开更多
关键词 Photoluminescence Alloy compositions fluctuations inas(sb)/In_(x)ga_(1-x)As_(y)sb_(1-y) Type-Ⅱsuperlattice Substrate
原文传递
新型Sb基二类超晶格红外探测器
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作者 史衍丽 何雯瑾 +8 位作者 张卫锋 王羽 袁俊 莫境辉 冯江敏 胡锐 邓功荣 徐应强 牛智川 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2012年第12期3141-3144,共4页
InAs/Ga(In)SbⅡ类超晶格材料由于特殊的二型能带结构,可以通过人造低维结构获得类似于体材料的带间吸收,从而获得较高的量子效率;另外,通过调节材料参数调节能带结构,器件响应波段可调;通过能带结构设计抑制俄歇复合,获得较小的暗电流... InAs/Ga(In)SbⅡ类超晶格材料由于特殊的二型能带结构,可以通过人造低维结构获得类似于体材料的带间吸收,从而获得较高的量子效率;另外,通过调节材料参数调节能带结构,器件响应波段可调;通过能带结构设计抑制俄歇复合,获得较小的暗电流和较高的器件性能。因为以上特有的材料性能和器件特性,Sb基二类超晶格在国际上被认为是第三代红外焦平面探测器的优选材料。对二类超晶格材料的设计和器件特性进行了研究,设计了峰值波长4μm的nBn结构的中波红外探测器,在没有蒸镀抗反膜的条件下,77 K温度下测试得到的峰值探测率为2.4×1011cm Hz1/2W-1,计算得到的量子效率为47.8%,峰值探测率已经接近目前的碲镉汞中波红外探测器器件性能。研究结果充分显示了二类超晶格优越的材料和器件性能。 展开更多
关键词 inas ga(In)sb Ⅱ类超晶格 NBN 第三代红外探测器 探测率 量子效率
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高性能锑化物超晶格中红外探测器研究进展(特邀) 被引量:3
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作者 郝宏玥 吴东海 +3 位作者 徐应强 王国伟 蒋洞微 牛智川 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第3期22-31,共10页
中红外探测技术作为一种重要的被动探测手段,在各个领域都有着非常重要的作用。其中,以InAs/InAsSb超晶格材料为基础的无Ga型Sb化物II类超晶格探测器,由于去除了Ga原子的缺陷,具有更高的少子寿命,有利于提高探测器性能。此外,使用光子... 中红外探测技术作为一种重要的被动探测手段,在各个领域都有着非常重要的作用。其中,以InAs/InAsSb超晶格材料为基础的无Ga型Sb化物II类超晶格探测器,由于去除了Ga原子的缺陷,具有更高的少子寿命,有利于提高探测器性能。此外,使用光子晶体结构,进行表面光学性能调控,可以提高器件的响应度,从而降低材料吸收区厚度,降低器件暗电流。暗电流的降低和响应度的提升,进一步优化了探测器的性能,进而提高器件工作温度,进一步降低探测系统的体积、重量和功耗。研究表明:使用光子晶体结构可以在不改变外延材料结构的前提下,提高器件量子效率,实现响应光谱的展宽,在实际应用中具有重要的意义。文中综述和讨论了InAs/InAsSb超晶格探测器和光子晶体结构探测器材料生长、结构设计的主要技术问题,详细介绍了两种提高中红外探测器性能的方案及国内外的研究进展。 展开更多
关键词 锑化物 中红外探测技术 高工作温度 inas/inassb二类超晶格 光子晶体
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