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1.74μm大应变InGaAs/InGaAsP半导体锁模激光器
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作者 段阳 林中晞 苏辉 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第6期90-97,共8页
针对光频梳、医学光声成像及痕量气体探测等应用需要,研制了一种InP基碰撞锁模半导体激光器,可在1.74μm波段实现重复频率为19.3GHz的高效锁模,其射频(RF)谱半高全宽(FWHM)约14kHz。在可饱和吸收区未加偏压时,激光器的阈值电流为83mA,... 针对光频梳、医学光声成像及痕量气体探测等应用需要,研制了一种InP基碰撞锁模半导体激光器,可在1.74μm波段实现重复频率为19.3GHz的高效锁模,其射频(RF)谱半高全宽(FWHM)约14kHz。在可饱和吸收区未加偏压时,激光器的阈值电流为83mA,最大出光功率可达到25.83mW。固定吸收区偏置电压在-1.6V,增益区驱动电流高于130mA时,锁模激光器开始输出微波射频信号,并且RF谱的FWHM随着电流增加可下降至十几kHz。固定驱动电流为520mA,在吸收区偏置电压从-1.4V降至-2V过程中,激光发射光谱逐渐展宽,在-2V偏压下,光谱的FWHM为9.88nm,包含40多个间隔为0.2nm的纵模。对比分析了不同驱动电流和偏置电压下的射频频谱和发射光谱的变化趋势,证明了该锁模器件具有高效、稳定的锁模机制。 展开更多
关键词 半导体激光器 碰撞锁模 InP基材料 ingaas/ingaasp多量子阱
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InGaAs/InGaAsP量子阱激光器材料带隙蓝移研究 被引量:1
2
作者 刘超 李国辉 +3 位作者 韩德俊 姬成周 陈涌海 叶小玲 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期170-173,共4页
为了在光开关器件的制作中实现低传输损耗的光波导 ,对InGaAs/InGaAsP分别限制异质结多量子阱 (SCH MQW )激光器结构进行了一系列带隙蓝移实验 .将能量 12MeV、注量 15×10 13cm- 2 的P+注入到实验样品后 ,在 70 0℃下快速热退火 9... 为了在光开关器件的制作中实现低传输损耗的光波导 ,对InGaAs/InGaAsP分别限制异质结多量子阱 (SCH MQW )激光器结构进行了一系列带隙蓝移实验 .将能量 12MeV、注量 15×10 13cm- 2 的P+注入到实验样品后 ,在 70 0℃下快速热退火 90s.发现光致发光谱的峰值位置发生蓝移 989nm .蓝移量随着注入能量和注量的增大而增大 ,并且能量比注量对蓝移的影响更大 . 展开更多
关键词 半导体激光器 量子阱混合 波长蓝移 ingaas/ingaasp 光致发光谱
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GSMBE-Grown InGaAs/InGaAsP Strained Quantum Well Lasers at 1.84 Micron Wavelength 被引量:1
3
作者 柏劲松 方祖捷 +3 位作者 张云妹 陈高庭 李爱珍 陈建新 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期126-129,共4页
GSMBE grown 1 84 micron wavelength InGaAs/InGaAsP/InP strained quantum well lasers are reported. Lasers with 800 micron long cavity and 40 micron wide planar electrical stripe have been operated under the pulsed r... GSMBE grown 1 84 micron wavelength InGaAs/InGaAsP/InP strained quantum well lasers are reported. Lasers with 800 micron long cavity and 40 micron wide planar electrical stripe have been operated under the pulsed regime at room temperature. At 20℃, the threshold current density is 3 8kA/cm 2 and the external different quantum efficiency is 9 3%. 展开更多
关键词 GSMBE midinfrared band strained quantum well laser
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HCl/HF/CrO_3溶液对InGaAs/InGaAsP的选择性湿法刻蚀——应用于楔形结构的制备
4
作者 黄辉 王兴妍 +4 位作者 任晓敏 王琦 黄永清 高俊华 马晓宇 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第7期1469-1474,共6页
利用动态掩膜湿法腐蚀技术,研究了HCl/HF/CrO3溶液对与InP衬底晶格匹配的InxGa1-xAs1-yPy(y=0,0.2,0.4,0.6)材料的腐蚀特性.对于HCl(36wt%)/HF(40wt%)/CrO3(10wt%)的体积比为x∶0.5∶1的溶液,随着x由0增加到1.25,相应的腐蚀液对In0.53Ga... 利用动态掩膜湿法腐蚀技术,研究了HCl/HF/CrO3溶液对与InP衬底晶格匹配的InxGa1-xAs1-yPy(y=0,0.2,0.4,0.6)材料的腐蚀特性.对于HCl(36wt%)/HF(40wt%)/CrO3(10wt%)的体积比为x∶0.5∶1的溶液,随着x由0增加到1.25,相应的腐蚀液对In0.53Ga0.47As/In0.72Ga0.28As0.6P0.4的选择性由42.4降到1.4;通过调节腐蚀液的选择性,在In0.72Ga0.28As0.6P0.4外延层上制备出了倾角从1.35°到35.9°的各种楔形结构;当x为0.025和1.25时,相应的In0.72Ga0.28As0.6P0.4腐蚀表面的均方根粗糙度分别为1.1nm和1.6nm.还研究了溶液的组分与InxGa1-xAs1-yPy(y=0,0.2,0.4)的腐蚀速率间的关系,并对腐蚀机理进行了分析. 展开更多
关键词 半导体器件 制造工艺 楔形结构 动态掩膜湿法腐蚀技术 刻蚀 选择性湿法 HCl/HF/CrO3溶液 ingaasp ingaas
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MOCVD生长InGaAs/InGaAsP多量子阱光泵微碟激光器 被引量:2
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作者 吴根柱 张子莹 +1 位作者 任大翠 张兴德 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第8期1057-1062,共6页
用 MOCVD方法生长了 In Ga As/ In Ga As P多量子阱微碟激光器外延片 ,用光刻、干法刻蚀和湿法刻蚀等现代化的微加工技术制备出直径 9.5μm的 In Ga As/ In Ga As P微碟激光器 ,并详细介绍了整个制备工艺过程 .在液氮温度下用氩离子激... 用 MOCVD方法生长了 In Ga As/ In Ga As P多量子阱微碟激光器外延片 ,用光刻、干法刻蚀和湿法刻蚀等现代化的微加工技术制备出直径 9.5μm的 In Ga As/ In Ga As P微碟激光器 ,并详细介绍了整个制备工艺过程 .在液氮温度下用氩离子激光器泵浦方式实现了低阈值光泵激射 ,测出单个微碟激光器的阈值光功率为 15 0μW,激射波长约为 1.6μm,品质因数 Q=80 0 ,激射光谱线宽为 2 nm,同时指出微碟激光器激射线宽比 F- 展开更多
关键词 微碟激光器 多量子阱光泵 MOCVD生长 ingaas/ingaasp
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InGaAsP/InGaAs双结太阳电池的开路电压损耗抑制
6
作者 陆宏波 李欣益 +4 位作者 李戈 张玮 胡淑红 戴宁 杨瑰婷 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2021年第1期7-11,共5页
现有1.0 eV/0.75 eV InGaAsP/InGaAs双结太阳电池的开路电压小于各子电池的开路电压之和,鲜有研究探索开路电压损耗的来源以及如何抑制。通过研究发现,InGaAs底电池背场/基区界面处的少数载流子输运的主要机制是热离子发射,而不是缺陷... 现有1.0 eV/0.75 eV InGaAsP/InGaAs双结太阳电池的开路电压小于各子电池的开路电压之和,鲜有研究探索开路电压损耗的来源以及如何抑制。通过研究发现,InGaAs底电池背场/基区界面处的少数载流子输运的主要机制是热离子发射,而不是缺陷诱导复合。SIMS测试表明,采用InP或InAlAs背场均不能有效抑制Zn掺杂剂的扩散。此外,由于生长过程中持续的高温热处理,Ⅲ-Ⅴ族主元素在界面处发生了热扩散。为了抑制上述现象,提出了一种新型InP/InAlAs超晶格背场,并应用到InGaAs底电池中。制备得到的双结太阳电池在维持短路电流密度不变的情况下,开路电压提升到997.5 mV,与传统采用InP背场的双结太阳电池相比,开路电压损耗降低了30 mV。该研究成果对提升四结太阳电池的整体开路电压有重要意义。 展开更多
关键词 背场 ingaasp/ingaas双结电池 开路电压 超晶格
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1 MeV电子辐照对InGaAsP/InGaAs双结电池电学参数的影响
7
作者 玛丽娅.黑尼 赵晓凡 +4 位作者 李豫东 莫敏.赛来 周东 艾尔肯.阿不都瓦衣提 郭旗 《现代应用物理》 2017年第4期32-36,共5页
为研究空间用四结太阳电池中InGaAsP/InGaAs子电池在电子辐照条件下的性能衰退情况,对InGaAsP/InGaAs双结电池开展了1 MeV电子辐照试验,测试了辐照前后的电学参数和量子效率,分析讨论了参数退化情况。结果表明:随着电子注量和位移损伤... 为研究空间用四结太阳电池中InGaAsP/InGaAs子电池在电子辐照条件下的性能衰退情况,对InGaAsP/InGaAs双结电池开展了1 MeV电子辐照试验,测试了辐照前后的电学参数和量子效率,分析讨论了参数退化情况。结果表明:随着电子注量和位移损伤剂量的增加,电池性能参数退化程度逐渐加大;由位移损伤缺陷导致的载流子寿命减小,是导致电池短路电流和开路电压下降的主要原因;InGaAsP/InGaAs双结电池基区损伤比发射区损伤更加严重,因此,提高其抗辐射能力的关键在于优化基区结构。 展开更多
关键词 ingaasp/ingaas子电池 转换效率 量子效率 电子辐照 位移损伤
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低阈值0.98μm无铝应变量子阱InGaAs/InGaAsP/InGaP激光器
8
作者 陈银彬 《半导体情报》 1994年第5期50-52,共3页
本文首次报道了在GaAs衬底上采用新的双层InGaAsP限制层和InGaP光限制层工艺制作无铝应变云子阱In0.2Ga0.8As激光器。得到的宽条激光器的阈值电流密度低至58A/cm2,就作者所知,对用MOCVD生长... 本文首次报道了在GaAs衬底上采用新的双层InGaAsP限制层和InGaP光限制层工艺制作无铝应变云子阱In0.2Ga0.8As激光器。得到的宽条激光器的阈值电流密度低至58A/cm2,就作者所知,对用MOCVD生长的0.98μm激光器来说,该阈值电流密度是已有报道的最低值。 展开更多
关键词 应变量子阱 激光器 ingaas ingaasp INGAP
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长波长大应变InGaAs/InGaAsP分布反馈激光器的材料生长与器件制备 被引量:4
9
作者 潘教青 赵谦 +6 位作者 朱洪亮 赵玲娟 丁颖 王宝军 周帆 王鲁峰 王圩 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期5216-5220,共5页
采用低压金属有机化合物气相沉积法(LP-MOCVD)生长并制作了1·6—1·7μm大应变InGaAs/InGaAsP分布反馈激光器.采用应变缓冲层技术,得到质量良好的大应变InGaAs/InP体材料.器件采用了4个大应变的量子阱,加入了载流子阻挡层改善... 采用低压金属有机化合物气相沉积法(LP-MOCVD)生长并制作了1·6—1·7μm大应变InGaAs/InGaAsP分布反馈激光器.采用应变缓冲层技术,得到质量良好的大应变InGaAs/InP体材料.器件采用了4个大应变的量子阱,加入了载流子阻挡层改善器件的温度特性.1·66μm和1·74μm未镀膜的3μm脊型波导器件阈值电流低(小于15mA),输出功率高(100mA时大于14mW).从10—40℃,1·74μm激光器的特征温度T0=57K,和1·55μmInGaAsP分布反馈激光器的特征温度相当. 展开更多
关键词 MOCVD ingaas/ingaasp 应变量子阱 分布反馈激光器
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InGaAs/InGaAsP/InP等异质结构体材料最窄能带隙的实验确定 被引量:1
10
作者 丁国庆 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第1期119-123,共5页
报道了几种典型的光压谱(PVS) 和光荧光谱(PLS);比较了PVS中吸收边Eα和PLS中峰能值Ep 的关系;分析指出,最窄能带隙Eg= Ep- 12 KT= Eα;理论分析和实验结果一致.
关键词 ingaas ingaasp INP 异质结构体材料 最窄能带隙
原文传递
用离子注入的方法实现InGaAs/InGaAsP激光器材料的量子阱混合
11
作者 刘超 李国辉 韩德俊 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2000年第3期236-239,共4页
为了在光开关器件的局部区域实现量子阱混合,选用1~2MeV、1×1013~5×1013cm-2的P+离子注入到InGaAs/InGaAsP分别限制多量子阱(SCH-MQW)激光器结构,在700oC下快速热退火90s。发现光致发光谱的峰值位置发生蓝移9~89nm... 为了在光开关器件的局部区域实现量子阱混合,选用1~2MeV、1×1013~5×1013cm-2的P+离子注入到InGaAs/InGaAsP分别限制多量子阱(SCH-MQW)激光器结构,在700oC下快速热退火90s。发现光致发光谱的峰值位置发生蓝移9~89nm。蓝移的大小随着注入能量和剂量的增大而增大,并且能量比剂量对蓝移的影响更大。 展开更多
关键词 量子阱混合 ingaas/ingaasp 离入注入 激光器
原文传递
InGaAs/InGaAsP分别限制应变量子阱激光器的研制及其特性研究
12
作者 安海岩 杨树人 +2 位作者 李玉东 胡礼中 刘式墉 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第8期575-578,共4页
报道了利用LP-MOVPE技术生长高质量的InGaAs/InGaAsP分别限制应变量子阱激光器结构材料、激光器制作和结果.宽而激光器实现了室温脉冲受激发射.激射波长为1.49μm,在腔长为2000μm时,最低阈值电流... 报道了利用LP-MOVPE技术生长高质量的InGaAs/InGaAsP分别限制应变量子阱激光器结构材料、激光器制作和结果.宽而激光器实现了室温脉冲受激发射.激射波长为1.49μm,在腔长为2000μm时,最低阈值电流密度为0.30kAcm-2.最大脉冲光输出峰值功率达500mW以上.同时,从理论和实验上研究了阙值电流及阙值电流密度随激光器腔长的变化关系,并与LP-MOVPE生长制作的宽面双异质结构激光器进行了比较. 展开更多
关键词 LP-MOVPE 量子阱激光器 ingaas ingaasp 激光器
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1.82-μm distributed feedback lasers with InGaAs/InGaAsP multiple-quantum wells for a H_2 O sensing system 被引量:3
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作者 于红艳 潘教青 +3 位作者 邵永波 王宝军 周代兵 王圩 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第3期41-44,共4页
High-strained InGaAs/InGaAsP multiple quantum wells (MQWs) distributed feedback (DFB) lasers, fab- ricated using metal organic chemical vapor deposition, are presented at 1,82 μm with a high side-mode- suppressio... High-strained InGaAs/InGaAsP multiple quantum wells (MQWs) distributed feedback (DFB) lasers, fab- ricated using metal organic chemical vapor deposition, are presented at 1,82 μm with a high side-mode- suppression ratio of 49.53 dB. The current- and temperature-tuning rates of the DFB mode wavelength are 0.01 nm/mA and 0.13 nm/℃, respectively. A characteristic temperature of 51 K is also confirmed. The DFB laser demonstrates good performance and can be apt)lied to H2O concentration sensing. 展开更多
关键词 ingaas WELL m distributed feedback lasers with ingaas/ingaasp multiple-quantum wells for a H2 O sensing system DFB
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Metamorphic growth of 1.55 μm InGaAs/InGaAsP multiple quantum wells laser structures on GaAs substrates
14
作者 李小波 黄永清 +7 位作者 王俊 段晓峰 张瑞康 李业弘 刘正 王琦 张霞 任晓敏 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第3期32-36,共5页
We fabricate a GaAs-based InGaAs/InGaAsP multiple quantum wells (MQWs) laser at 1.55 pm. Using two-step growth method and thermal cyclic annealing, a thin low-temperature InP layer and a thick InP buffer layer are g... We fabricate a GaAs-based InGaAs/InGaAsP multiple quantum wells (MQWs) laser at 1.55 pm. Using two-step growth method and thermal cyclic annealing, a thin low-temperature InP layer and a thick InP buffer layer are grown on GaAs substrates by low-pressure metal organic chemical vapor deposition technology. Then, high- quality MQWs laser structures are grown on the InP buffer layer. Under quasi-continuous wave (QCW) condition, a threshold current of 476 mA and slope efficiency of 0.15 mW/mA are achieved for a broad area device with 50 μm wide strip and 500 μm long cavity at room-temperature. The peak wavelength of emission spectrum is 1549.5 nm at 700 mA. The device is operating for more than 2000 h at room-temperature and 600 mA. 展开更多
关键词 AS In GA m ingaas/ingaasp multiple quantum wells laser structures on GaAs substrates Metamorphic growth of 1.55
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GSMBE生长 1 .8- 2 .0μm波段In Ga As/ In Ga As P应变量子阱激光器 被引量:3
15
作者 柏劲松 方祖捷 +4 位作者 张云妹 张位在 陈高庭 李爱珍 陈建新 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期40-46,共7页
报道了气态分子束外延 ( GSMBE)生长 1.8— 2 .0μm波段 In Ga As/ In Ga As P应变量子阱激光器的研究结果 .1.8μm波段采用平面电极条形结构 ,已制备成功 10μm和 80μm条宽器件 ,器件腔长 5 0 0μm,室温下光致发光中心波长约为 1.82... 报道了气态分子束外延 ( GSMBE)生长 1.8— 2 .0μm波段 In Ga As/ In Ga As P应变量子阱激光器的研究结果 .1.8μm波段采用平面电极条形结构 ,已制备成功 10μm和 80μm条宽器件 ,器件腔长 5 0 0μm,室温下光致发光中心波长约为 1.82μm,在 77K温度下以脉冲方式激射 ,阈值电流分别约为 2 5 0 m A和 6 0 0 m A ,中心波长分别在 1.6 9μm和 1.73μm附近 .2 .0μm波段 ,制备成功 8μm宽脊波导结构器件 ,器件腔长 5 0 0μm,室温光致发光中心波长约为1.98μm ,77K温度下以脉冲方式激射 ,阈值电流约为 2 0 m A ,中心波长约为 1.89μm。 展开更多
关键词 GSMBE生长 中红外波段 应变量子阱激光器 ingaas/ingaasp 砷化镓
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近红外响应的Ⅲ-V族半导体光电阴极材料及工艺 被引量:4
16
作者 王旺平 马建一 《光电子技术》 CAS 北大核心 2013年第3期194-197,207,共5页
随着GaAs负电子亲和势(NEA)半导体光电阴极在我国的成熟和应用,半导体光电阴极的进一步研究将往更长波的近红外发展。针对透射式半导体光电阴极器件,系统总结了近红外波段响应良好的GaAs、InGaAs、InGaAsP Ⅲ-V族外延材料特性及相应商... 随着GaAs负电子亲和势(NEA)半导体光电阴极在我国的成熟和应用,半导体光电阴极的进一步研究将往更长波的近红外发展。针对透射式半导体光电阴极器件,系统总结了近红外波段响应良好的GaAs、InGaAs、InGaAsP Ⅲ-V族外延材料特性及相应商业化产品的应用领域和性能。通过文献调研本文进一步归纳了不同波段NEA光电阴极和转移电子光阴极适用的材料结构,并结合传统GaAs NEA光电阴极工艺讨论了InGaAs、InGaAsP材料及阴极工艺的难点。 展开更多
关键词 负电子亲和势光电阴极 转移电子光阴极 GAAS ingaas ingaasp
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激光作用下多量子阱混迭的热动力学分析
17
作者 李义飞 黄晓东 +1 位作者 黄德修 刘雪峰 《红外与激光工程》 EI CSCD 1999年第1期59-62,共4页
对InGaAs/InGaAsP多量子阱材料,根据温度场方程计算了两种激光作用下多量子阱混迭技术(PAID及PLD)的横向空间选择性,得到PAID在一般情况下的横向空间选择性为100μm量级,而PLD的理论极限为100... 对InGaAs/InGaAsP多量子阱材料,根据温度场方程计算了两种激光作用下多量子阱混迭技术(PAID及PLD)的横向空间选择性,得到PAID在一般情况下的横向空间选择性为100μm量级,而PLD的理论极限为100μm。同时分析了混迭多量子阱材料的能带结构与组分扩散长度的关系,从理论上提出了低温量子阱材料与扩散长度之间的关系曲线。 展开更多
关键词 多量子阱材料 量子阱混迭 光电子集成 激光技术
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