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原子层沉积Al_(2)O_(3)钝化对InAs/InGaAsSbⅡ类超晶格发光特性的影响
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作者 项超 王登魁 +5 位作者 方铉 房丹 闫昊 李金华 王晓华 杜鹏 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第7期85-93,共9页
提出一种基于干法刻蚀与原子层沉积相结合的钝化方法,采用干法刻蚀去除InAs/InGaAsSb超晶格表面及端面固有的氧化层,利用原子层沉积Al_(2)O_(3)薄膜钝化刻蚀表面,对钝化前后光致发光光谱的表征研究其发光性能与长期稳定性。处理后超晶格... 提出一种基于干法刻蚀与原子层沉积相结合的钝化方法,采用干法刻蚀去除InAs/InGaAsSb超晶格表面及端面固有的氧化层,利用原子层沉积Al_(2)O_(3)薄膜钝化刻蚀表面,对钝化前后光致发光光谱的表征研究其发光性能与长期稳定性。处理后超晶格的As 3d谱中As-O键相关的峰消失表明其表面的氧化物被有效去除。样品的发光强度与激发光功率之间的拟合系数α从1.17减小为1.02,表明激子主导的发光占比增加。连续五天的红外光谱测试发现,处理后样品发光强度降低为原来的89%,而未处理样品的发光强度降低为原来的76%,表明处理后超晶格表现出更好发光稳定性。本研究为提升InAs/InGaAsSb超晶格性能、促进其光电探测领域的应用提供参考。 展开更多
关键词 InAs/ingaassb超晶格 钝化 Al_(2)O_(3) 原子层沉积 发光特性
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2μm InGaAsSb/AlGaAsSb双波导半导体激光器的结构设计 被引量:9
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作者 安宁 韩兴伟 +3 位作者 刘承志 范存波 董雪 宋清丽 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第9期71-75,共5页
为了提高2μm InGaAsSb/AlGaAsSb半导体激光器的最大输出功率,减小远场垂直发散角并实现单模稳定输出,在非对称波导结构的基础上设计了具有双波导结构的2μm InGaAsSb/AlGaAsSb半导体激光器.同时,利用相关的物理模型及SimLastip程序语... 为了提高2μm InGaAsSb/AlGaAsSb半导体激光器的最大输出功率,减小远场垂直发散角并实现单模稳定输出,在非对称波导结构的基础上设计了具有双波导结构的2μm InGaAsSb/AlGaAsSb半导体激光器.同时,利用相关的物理模型及SimLastip程序语言构建了InGaAsSb/AlGaAsSb Macro文件,利用SimLastip软件对具有不同结构的2μm InGaAsSb/AlGaAsSb半导体激光器进行了数值模拟分析.研究结果表明,双波导结构可以将半导体激光器的有源区限制因子由0.019 2减小至0.011 3,器件的最大输出功率提高了1.7倍,远场垂直发散角由57°减小到48°,器件性能得到了改善. 展开更多
关键词 半导体激光器 ingaassb/AlGaAsSb量子阱 双波导结构 低垂直发散角 数值模拟
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2μm InGaAsSb/AlGaAsSb应变补偿量子阱结构的数值研究 被引量:2
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作者 安宁 刘国军 +5 位作者 刘超 李占国 刘鹏程 魏志鹏 方玄 马晓辉 《半导体光电》 CAS 北大核心 2015年第2期205-208,212,共5页
为了降低2μm半导体激光器的阈值电流并提高器件的输出功率,设计了InGaAsSb/AlGaAsSb应变补偿量子阱结构,并利用SimLastip软件对器件进行了数值模拟。研究表明,在势垒中适当引入张应变可以改善量子阱的能带结构,提高对载流子的限制能力... 为了降低2μm半导体激光器的阈值电流并提高器件的输出功率,设计了InGaAsSb/AlGaAsSb应变补偿量子阱结构,并利用SimLastip软件对器件进行了数值模拟。研究表明,在势垒中适当引入张应变可以改善量子阱的能带结构,提高对载流子的限制能力。当条宽为120μm、腔长为1 000μm时,采用应变补偿量子阱结构的激光器的阈值电流为91mA,斜率效率为0.48W/A。与压应变量子阱激光器相比,器件性能得到明显的改善。 展开更多
关键词 ingaassb/AlGaAsSb 应变补偿 临界厚度 能带结构 增益 阈值电流
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采用MBE生长1.6~2.3μm InGaAsSb/AlGaAsSb多量子阱 被引量:1
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作者 尤明慧 高欣 +5 位作者 李占国 刘国军 李林 李梅 王晓华 薄报学 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期282-284,共3页
采用分子束外延生长了不同In组分的InGaAsSb/AlGaAsSb多量子阱材料。X射线衍射发现量子阱材料有多级衍射卫星峰出现,表明量子阱的界面均匀性和质量较好。研究了不同In组分与光致发光波长的关系,光荧光谱测试表明,所制备的不同In组分的In... 采用分子束外延生长了不同In组分的InGaAsSb/AlGaAsSb多量子阱材料。X射线衍射发现量子阱材料有多级衍射卫星峰出现,表明量子阱的界面均匀性和质量较好。研究了不同In组分与光致发光波长的关系,光荧光谱测试表明,所制备的不同In组分的InGaAsSb/AlGaAsSb多量子阱材料,在室温下的发光波长可以覆盖1.6~2.3μm的范围。 展开更多
关键词 ingaassb/AlGaAsSb 量子阱 分子束外延
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1.8μm波段台面条形结构InGaAsSb/AlGaAsSb量子阱激光器 被引量:2
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作者 柏劲松 陈高庭 +4 位作者 张云妹 方祖捷 李爱珍 郑燕兰 林春 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2000年第5期355-357,362,共4页
报道了 1.8μm波段台面条形结构InGaAsSb/AlGaAsSb量子阱激光器的研制结果 ,器件在 77K下以脉冲方式工作 ,阈值电流约 2 5mA ,中心波长约 1.84 μm。
关键词 量子阱激光器 台面条形结构 ingaassb/AlGaAsSb
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InGaAsSb四元固溶体的团簇效应 被引量:1
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作者 童玉珍 杨锡震 +1 位作者 王占国 周伯骏 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第10期660-663,共4页
在Onabe工作的基础上,使用对相互作用模型对于In1-xGaxAs1-ySby四元固溶体中的团簇效应对在适用于光电通讯材料的若干组分值(x,y)进行了计算.结果表明团簇效应在该系统中严重存在.计算了对分布几率随组分... 在Onabe工作的基础上,使用对相互作用模型对于In1-xGaxAs1-ySby四元固溶体中的团簇效应对在适用于光电通讯材料的若干组分值(x,y)进行了计算.结果表明团簇效应在该系统中严重存在.计算了对分布几率随组分值和温度的变化.对于该效应对固溶隙计算的影响作了讨论. 展开更多
关键词 半导体材料 ingaassb 固溶体 团簇效应
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组份变化的InGaAsSb/AlGaAsSb多量子阱结构对其X射线衍射及发光性质的影响 被引量:1
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作者 单含 李梅 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期68-71,共4页
通过二元系和三元系结构参数计算四元系量子阱结构的晶格常数、禁带宽度等,设计了InGaAsSb/AlGaAsSb结构的MBE生长参数及工艺,利用X射线双晶衍射和PL谱研究了InGaAsSb/AlGaAsSb多量子阱结构特性和光学特性。X射线双晶衍射谱中出现了8条... 通过二元系和三元系结构参数计算四元系量子阱结构的晶格常数、禁带宽度等,设计了InGaAsSb/AlGaAsSb结构的MBE生长参数及工艺,利用X射线双晶衍射和PL谱研究了InGaAsSb/AlGaAsSb多量子阱结构特性和光学特性。X射线双晶衍射谱中出现了8条卫星峰,表明制备的InGaAsSb/AlGaAsSb多量子阱结构具有良好的结晶质量。利用光致发光光谱方法对制备的样品的光学性质进行了表征,结果表明,不同组份的InGaAsSb/AlGaAsSb多量子阱的发光峰波长随组份的变化在1.6~2.28μm范围内可调,样品PL谱的半峰宽最窄可达22 meV。 展开更多
关键词 GaSb衬底 ingaassb/AlGaAsSb多量子阱结构 X射线双晶衍射 发光性质
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采用AlSb缓冲层生长2.3μm InGaAsSb/AlGaAsSb多量子阱结构 被引量:2
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作者 尤明慧 高欣 +4 位作者 李占国 刘国军 李林 李梅 王晓华 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第8期1716-1718,共3页
针对常见的GaSb衬底的InGaAsSb/AlGaAsSb多量子阱结构进行了设计和外延生长。样品通过X-射线测试,有多级衍射卫星峰出现,表明量子阱结构的均匀性和界面质量较好,引入AlSb缓冲层可以降低衬底与外延层之间的界面自由能,使AlSb起到了一个... 针对常见的GaSb衬底的InGaAsSb/AlGaAsSb多量子阱结构进行了设计和外延生长。样品通过X-射线测试,有多级衍射卫星峰出现,表明量子阱结构的均匀性和界面质量较好,引入AlSb缓冲层可以降低衬底与外延层之间的界面自由能,使AlSb起到了一个滤板的作用,抑制了位错的扩散。光荧光谱测试表明,室温下量子阱结构中心发光波长在2.3μm附近。 展开更多
关键词 AlSb缓冲层 ingaassb/AlGaAsSb多量子阱 中红外 锑化物
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InGaAsSb/GaSb量子阱能带结构及自发发射谱
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作者 安宁 李占国 +4 位作者 何斌太 芦鹏 方铉 魏志鹏 刘国军 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第11期37-42,共6页
讨论了不同In组分对InGaAsSb/GaSb量子阱能带结构,即带隙及带边不连续性(带阶)的影响。给出了较为精准的InGaAsSb禁带宽度与In组分的关系。分析了In组分对InGaAsSb/GaSb导带、价带带阶的作用。研究表明,随In组分的增加,InGaAsSb禁带宽... 讨论了不同In组分对InGaAsSb/GaSb量子阱能带结构,即带隙及带边不连续性(带阶)的影响。给出了较为精准的InGaAsSb禁带宽度与In组分的关系。分析了In组分对InGaAsSb/GaSb导带、价带带阶的作用。研究表明,随In组分的增加,InGaAsSb禁带宽度减小,应力加大,能带漂移增大,InGaAsSb/GaSb导带、价带的带阶减小。同时,利用上述研究结果合理地解释了InGaAsSb/GaSb自发发射谱的增益、发射峰位及半峰宽与In组分关系。研究In组分对InGaAsSb/GaSb量子阱能带结构及自发发射谱的影响,可以定性地解释已有的实验报道。 展开更多
关键词 ingaassb/GaSb 应变量子阱 能带结构 自发发射谱
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1.3μm InGaAsSb/GaAsSb量子阱激光器有源区结构设计 被引量:3
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作者 何斌太 刘国军 +4 位作者 魏志鹏 刘超 安宁 刘鹏程 王旭 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2015年第5期505-508,共4页
为了研制满足光纤通讯需求的高性能半导体激光器,对压应变In Ga As Sb/Ga As Sb量子阱激光器有源区进行了研究。根据应变量子阱能带理论、固体模型理论和克龙尼克-潘纳模型,确定了激射波长与量子阱材料组分及阱宽的关系。基于Lastip软... 为了研制满足光纤通讯需求的高性能半导体激光器,对压应变In Ga As Sb/Ga As Sb量子阱激光器有源区进行了研究。根据应变量子阱能带理论、固体模型理论和克龙尼克-潘纳模型,确定了激射波长与量子阱材料组分及阱宽的关系。基于Lastip软件建立了条宽为50μm、腔长为800μm的半导体激光器仿真模型,模拟器件的输出特性,讨论了量子阱个数对器件光电特性的影响。结果表明:当量子阱组分为In0.44Ga0.56As0.92Sb0.08/Ga As0.92Sb0.08、阱宽为9 nm、量子阱个数为2时,器件的性能达到最佳,阈值电流为48 m A,斜率效率为0.76 W/A。 展开更多
关键词 半导体激光器 ingaassb/GaAsSb 量子阱 有源区
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InP/InGaP/GaAsSb/InGaAsSb/InP双异质结双极晶体管设计 被引量:1
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作者 刘涛 刘燚 王冯涛 《固体电子学研究与进展》 CAS 北大核心 2022年第3期184-190,219,共8页
应用半导体器件的电阻电容计算理论和SILVACO ATLAS软件,在综合考虑载流子渡越时间和电阻电容延迟时间对增益截止频率的影响下设计了一种InP/InGaP/GaAsSb/InGaAsSb/InP双异质结双极晶体管(DHBT)结构。该结构中在基区与发射区之间加入P... 应用半导体器件的电阻电容计算理论和SILVACO ATLAS软件,在综合考虑载流子渡越时间和电阻电容延迟时间对增益截止频率的影响下设计了一种InP/InGaP/GaAsSb/InGaAsSb/InP双异质结双极晶体管(DHBT)结构。该结构中在基区与发射区之间加入P型半导体层以降低基区与发射区之间的电子势垒,并通过引入梯度渐变材料及优化掺杂分布提高基区电场、增强集电区中易趋近于零区域的电场,器件的电流增益截止频率得到显著提升。此外,还列出了InGaP和InGaAsSb材料的禁带宽度和电子亲合势、P型GaAs_(0.51)Sb_(0.49)和InGaAsSb材料的电子迁移率的近似计算公式。 展开更多
关键词 双异质结双极晶体管(DHBT) InP/InGaP/GaAsSb/ingaassb/InP 渐变材料 梯度掺杂
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Performance of dual-band short-or mid-wavelength infrared photodetectors based on InGaAsSb bulk materials and InAs/GaSb superlattices
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作者 孙姚耀 吕粤希 +7 位作者 韩玺 郭春妍 蒋志 郝宏玥 蒋洞微 王国伟 徐应强 牛智川 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第9期526-529,共4页
In this paper,we demonstrate bias-selectable dual-band short-or mid-wavelength infrared photodetectors based on In0.24Ga0.76As0.21Sb0.79 bulk materials and InAs/GaSb type-II superlattices with cutoff wavelengths of 2.... In this paper,we demonstrate bias-selectable dual-band short-or mid-wavelength infrared photodetectors based on In0.24Ga0.76As0.21Sb0.79 bulk materials and InAs/GaSb type-II superlattices with cutoff wavelengths of 2.2μm and 3.6μm,respectively.At 200 K,the short-wave channel exhibits a peak quantum efficiency of 42%and a dark current density of5.93×10^-5)/cm^2at 500 mV,thereby providing a detectivity of 1.55×10^11cm·Hz^1/2/W.The mid-wave channel exhibits a peak quantum efficiency of 31%and a dark current density of 1.22×10^-3A/cm^2at-300 mV,thereby resulting in a detectivity of 2.71×10^10cm·Hz^1/2/W.Moreover,we discuss the band alignment and spectral cross-talk of the dual-band n-i-p-p-i-n structure. 展开更多
关键词 short-/mid-wavelength ingaassb InAs/GaSb
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InGaAsSb四元合金材料禁带宽度的计算方法 被引量:2
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作者 刘超 魏志鹏 +3 位作者 安宁 何斌太 刘鹏程 刘国军 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第24期346-351,共6页
讨论了计算In Ga As Sb四元合金材料禁带宽度常用的Glisson方法和Moon方法,比较了它们的计算结果.将两者化成相同形式下的等价公式后发现,二者都只考虑了Γ点带隙弯曲因子对禁带宽度的影响.通过考虑自旋轨道分裂带对价带的影响,提出一... 讨论了计算In Ga As Sb四元合金材料禁带宽度常用的Glisson方法和Moon方法,比较了它们的计算结果.将两者化成相同形式下的等价公式后发现,二者都只考虑了Γ点带隙弯曲因子对禁带宽度的影响.通过考虑自旋轨道分裂带对价带的影响,提出一种将自旋轨道分裂带弯曲因子引入计算In Ga As Sb禁带宽度的新方法.研究结果表明,该方法计算结果的准确性要优于两种常见的方法. 展开更多
关键词 ingaassb 禁带宽度 弯曲因子
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InGaAsSb量子阱的MBE生长和光致发光特性研究 被引量:1
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作者 邹永刚 刘国军 +5 位作者 马晓辉 史全林 李占国 李林 隋庆学 张志敏 《光散射学报》 北大核心 2011年第4期336-339,共4页
采用分子束外延(MBE)技术生长InGaAsSb多量子阱结构,利用光致发光光谱对材料的生长特性进行了研究。研究了衬底温度对材料激发光谱强度的影响,探索了发光波长与有源层量子阱厚度的关系。发现外延生长时衬底温度对材料的质量有重要影响;... 采用分子束外延(MBE)技术生长InGaAsSb多量子阱结构,利用光致发光光谱对材料的生长特性进行了研究。研究了衬底温度对材料激发光谱强度的影响,探索了发光波长与有源层量子阱厚度的关系。发现外延生长时衬底温度对材料的质量有重要影响;在一定范围内,量子阱厚度不断增加会导致材料的光致发光波长增加。 展开更多
关键词 ingaassb 量子阱 分子束外延 光致发光
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AlGaAsSb/InGaAsSb多量子阱结构的光致发光谱
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作者 郑燕兰 李爱珍 +2 位作者 林春 李存才 胡建 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2000年第3期282-284,共3页
用固态源MBE技术生长了AlGaAsSb/InGaAsSb多量子阱材料,研究了通过改变多量子阱AlGaAsSb/InGaAsSb中的结构参数,如多量子阱中InGaAsSb的阱宽,AlGaAsSb的垒宽及垒层中Al组分和阱层中的In组分,多量子阱中的阱数等,来提高AlGaAsSb/InGa... 用固态源MBE技术生长了AlGaAsSb/InGaAsSb多量子阱材料,研究了通过改变多量子阱AlGaAsSb/InGaAsSb中的结构参数,如多量子阱中InGaAsSb的阱宽,AlGaAsSb的垒宽及垒层中Al组分和阱层中的In组分,多量子阱中的阱数等,来提高AlGaAsSb/InGaAsSb多量子阱的PL强度。 展开更多
关键词 AlGaAsSb/ingaassb多量子阱 激光器 光致发光谱
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n型GaSb、InGaAsSb的MBE生长和特性研究
16
作者 郑燕兰 李爱珍 +3 位作者 王建新 茹国平 李存才 胡建 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 1996年第4期260-263,共4页
本文报导了非故意掺杂InGaAsSb本底浓度的降低和掺Ten型GaSb和InGaAsSb的MBE生长与特性的研究结果。结果表明,通过生长工艺的优化,GaSb和InGaAsSb的背景空穴浓度可分别降至1.1×10^... 本文报导了非故意掺杂InGaAsSb本底浓度的降低和掺Ten型GaSb和InGaAsSb的MBE生长与特性的研究结果。结果表明,通过生长工艺的优化,GaSb和InGaAsSb的背景空穴浓度可分别降至1.1×10^(16)cm^(-3)和4×10^(16)cm^(-3),室温空穴迁移率分别为940cm2/v.s和260cm~2/v.s。用Te作n型掺杂剂,可获得载流子浓度在10^(16)~10^(18)cm^(-3)的优质GaSb和InGaAsSb外延层,所研制的材料已成功地制备出D_λ~*=4×10^(10)cmHz^(1/2)/W的室温InGaAsSb红外探测器和室温脉冲AlGaAsSb/InGaAsSb双异质结激光器。 展开更多
关键词 ingaassb 掺杂 半导体 锑化物 MBE
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InGaAsSb多量子阱材料的光致发光特性研究 被引量:2
17
作者 唐田 张永刚 +1 位作者 郑燕兰 李爱珍 《功能材料与器件学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期183-186,共4页
研究了InGaAsSb多量子阱材料光致发光特性。通过实验数据分析和理论计算,发现对于分子束外延(MBE)法生长的InGaAsSb多量子阱材料,生长时的衬底温度决定着材料的质量,合适的衬底温度可以明显的增加其发射的光致发光强度;组分相同时,在一... 研究了InGaAsSb多量子阱材料光致发光特性。通过实验数据分析和理论计算,发现对于分子束外延(MBE)法生长的InGaAsSb多量子阱材料,生长时的衬底温度决定着材料的质量,合适的衬底温度可以明显的增加其发射的光致发光强度;组分相同时,在一定范围内,随着阱厚的增加,其发射的光致发光波长也随着增加,但是随着阱厚增大,波长增加趋于平缓。 展开更多
关键词 ingaassb 分子束外延 多量子阱 光致发光
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快速热退火对InGaAsSb/AlGaAsSb多量子阱材料发光特性的影响 被引量:3
18
作者 申琳 唐吉龙 +5 位作者 贾慧民 王登魁 房丹 方铉 林逢源 魏志鹏 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第7期188-195,共8页
I型InGaAsSb/AlGaAsSb量子阱是1.8~3μm波段锑化物半导体激光器的首选材料,为进一步提升分子束外延生长的InGaAsSb/AlGaAsSb量子阱材料的光学性能,本文对其进行了快速热退火处理,通过光致发光光谱研究了快速热退火对量子阱材料光致发光... I型InGaAsSb/AlGaAsSb量子阱是1.8~3μm波段锑化物半导体激光器的首选材料,为进一步提升分子束外延生长的InGaAsSb/AlGaAsSb量子阱材料的光学性能,本文对其进行了快速热退火处理,通过光致发光光谱研究了快速热退火对量子阱材料光致发光特性的影响。光致发光光谱测试结果表明,快速热退火会使量子阱结构中垒层、阱层异质界面处的原子互扩散,改善量子阱材料的晶体质量,促使结构释放应力,进而提高了量子阱材料的光学性能。随着退火温度升高,量子阱材料的室温光致发光谱峰位逐渐蓝移,在500,550,600℃退火后,量子阱材料光致发光谱的峰位分别蓝移了7,8,9 meV。通过变温及变功率光致发光光谱测试,确认了样品发光峰的来源,位于0.687 eV的发光峰为局域载流子的复合,位于0.701 eV的发光峰为自由激子的复合。对不同退火温度的样品进一步研究后发现,退火温度的升高降低了材料中局域态载流子复合的比例,在600℃退火温度下局域载流子与自由激子的强度比值降为500℃退火温度下的22.6%,这表明合适温度的快速热退火处理可以有效改善量子阱材料的光致发光特性。 展开更多
关键词 光谱学 光致发光 ingaassb/AlGaAsSb 量子阱 快速热退火 局域态
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热光伏技术的研究进展 被引量:14
19
作者 乔在祥 陈文浚 杜邵梅 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期57-61,共5页
热光伏是通过光伏电池将热辐射能量转换成电能的技术。热光伏的优点是可以使用很广泛的热源以及具有很高的潜在输出密度,热光伏应用的潜在市场是很大的。主要介绍了热光伏辐射器、热光伏电池、光学滤波器、热回收器和系统应用的近期发... 热光伏是通过光伏电池将热辐射能量转换成电能的技术。热光伏的优点是可以使用很广泛的热源以及具有很高的潜在输出密度,热光伏应用的潜在市场是很大的。主要介绍了热光伏辐射器、热光伏电池、光学滤波器、热回收器和系统应用的近期发展状态。 展开更多
关键词 热光伏 ingaassb电池 InGaAs/InP电池 同位素
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MBE生长AlGa AsSb/InGa AsSb材料的应变控制 被引量:2
20
作者 唐田 张永刚 +2 位作者 郑燕兰 唐雄心 李爱珍 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期530-532,共3页
基于理论计算和实验 ,对采用MBE方法生长的不同组份的AlGaAsSb/InGaAsSb材料的应变进行了研究。结果表明 ,通过对材料中的As组份调节 ,可以对材料中的应变进行控制 ,达到良好的应变补偿效果 ,实验结果和理论计算相当吻合。
关键词 ingaassb AIGaAsSb 应变
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