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AlGaN双势垒结构对高In组分InGaN/GaN MQWs太阳能电池材料晶体质量和发光性能的影响
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作者 单恒升 李明慧 +4 位作者 李诚科 刘胜威 梅云俭 宋一凡 李小亚 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第1期83-88,124,共7页
本文利用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)技术在(001)面图形化蓝宝石衬底(PSS)上生长了一种含有AlGaN-InGaN/GaN MQWs(multiple quantum wells)-AlGaN双势垒结构的高In组分太阳能电池外延材料。高分辨率X射线衍射(HRXRD)和光致发光(... 本文利用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)技术在(001)面图形化蓝宝石衬底(PSS)上生长了一种含有AlGaN-InGaN/GaN MQWs(multiple quantum wells)-AlGaN双势垒结构的高In组分太阳能电池外延材料。高分辨率X射线衍射(HRXRD)和光致发光(PL)谱分析表明,与含有AlGaN电子阻挡层的低In组分的量子阱结构太阳能电池外延材料相比,该结构材料具有较小的半峰全宽(FWHM),计算表明:此结构材料的位错密度降低了一个数量级,达到10^(7)cm^(-2);同时,有源区中的应变弛豫降低了51%;此外,此结构材料的发光强度增强了35%。研究结果表明含有AlGaN双势垒结构的外延材料可以减小有源区的位错密度,降低非辐射复合中心的数目,增大有源区有效光生载流子的数目,为制备高质量太阳能电池提供实验依据。 展开更多
关键词 金属有机化合物化学气相沉积 太阳能电池外延材料 Algan双势垒结构 ingan/gan mqws 位错密度 光生载流子
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Application of nano-patterned InGaN fabricated by selfassembled Ni nano-masks in green InGaN/GaN multiple quantum wells 被引量:1
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作者 Ruoshi Peng Shengrui Xu +5 位作者 Xiaomeng Fan Hongchang Tao Huake Su Yuan Gao Jincheng Zhang Yue Hao 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2023年第4期86-91,共6页
The nano-patterned InGaN film was used in green InGaN/GaN multiple quantum wells(MQWs)structure,to relieve the unpleasantly existing mismatch between high indium content InGaN and GaN,as well as to enhance the light o... The nano-patterned InGaN film was used in green InGaN/GaN multiple quantum wells(MQWs)structure,to relieve the unpleasantly existing mismatch between high indium content InGaN and GaN,as well as to enhance the light output.The different self-assembled nano-masks were formed on InGaN by annealing thin Ni layers of different thicknesses.Whereafter,the InGaN films were etched into nano-patterned films.Compared with the green MQWs structure grown on untreated InGaN film,which on nano-patterned InGaN had better luminous performance.Among them the MQWs performed best when 3 nm thick Ni film was used as mask,because that optimally balanced the effects of nano-patterned InGaN on the crystal quality and the light output. 展开更多
关键词 gan ingan nano-mask nano-patterned mqws
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通过诱导载流子的V坑传输提升GaN基绿光LED的空穴注入效率
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作者 张东皓 杨东锴 +2 位作者 徐畅 刘信佑 包立君 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期800-808,共9页
为了提升GaN基多量子阱LED的空穴注入效率,设计了具有不同最后势垒层结构的GaN基多量子阱外延结构,并将其制备为绿光mini-LED发光芯片,利用低温电致发光光谱、电流电压特性测试对其载流子传输机制进行了研究。结果表明,在采用AlGaN或GaN... 为了提升GaN基多量子阱LED的空穴注入效率,设计了具有不同最后势垒层结构的GaN基多量子阱外延结构,并将其制备为绿光mini-LED发光芯片,利用低温电致发光光谱、电流电压特性测试对其载流子传输机制进行了研究。结果表明,在采用AlGaN或GaN/AlN最后势垒层的样品中,有更多载流子可以传输到深层量子阱,空穴注入效率获得提升。本文对这一现象中的载流子运输机制以及V坑缺陷在其中所起的作用进行了研究,发现这种提升主要来自空穴V坑注入比例的增大。实验还发现,过大的V坑注入比例也会造成非辐射复合率上升,从而抑制了AlGaN最后势垒层样品的电光转换效率。 展开更多
关键词 发光二极管 最后势垒层 空穴注入 ingan/gan多量子阱 V坑
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生长温度对InGaN/GaN多量子阱LED光学特性的影响 被引量:4
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作者 朱丽虹 刘宝林 张保平 《半导体光电》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期165-169,共5页
利用低压MOCVD系统,在蓝宝石衬底上外延生长了InGaN/GaN多量子阱蓝紫光LED结构材料。研究了生长温度对有源层InGaN/GaN多量子阱的合金组分、结晶品质及其发光特性的影响。结果表明当生长温度从730℃升到800℃时,LED的光致发光波长从490... 利用低压MOCVD系统,在蓝宝石衬底上外延生长了InGaN/GaN多量子阱蓝紫光LED结构材料。研究了生长温度对有源层InGaN/GaN多量子阱的合金组分、结晶品质及其发光特性的影响。结果表明当生长温度从730℃升到800℃时,LED的光致发光波长从490 nm移到380 nm,室温下PL谱发光峰的半高全宽从133 meV降到73 meV,表明了量子阱结晶性的提高。高温生长时,PL谱中还观察到了GaN的蓝带发光峰,说明量子阱对载流子的限制作用有所减弱。研究表明,通过改变生长温度可以对LED发光波长及有源层InGaN的晶体质量实现良好的控制。 展开更多
关键词 MOCVD ingan/gan多量子阱 蓝紫光LED 蓝带
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局域表面等离激元对InGaN/GaN多量子阱发光效率的影响 被引量:1
5
作者 许恒 闫龙 +2 位作者 李玲 张源涛 张宝林 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期324-330,共7页
Ag纳米粒子的形貌对InGaN/Ga N多量子阱(MQWs)的光致发光(PL)效率有着显著影响。本文采用离子束沉积(IBD)技术将Ag沉积在InGaN/Ga N MQWs上,然后通过快速热退火处理制备Ag纳米粒子。通过改变Ag的沉积时间获得了具有不同Ag纳米粒子形貌... Ag纳米粒子的形貌对InGaN/Ga N多量子阱(MQWs)的光致发光(PL)效率有着显著影响。本文采用离子束沉积(IBD)技术将Ag沉积在InGaN/Ga N MQWs上,然后通过快速热退火处理制备Ag纳米粒子。通过改变Ag的沉积时间获得了具有不同Ag纳米粒子形貌的样品。用原子力显微镜对各样品的Ag纳米粒子形貌和尺寸进行了表征,并且测试了吸收谱、室温和变温PL谱及时间分辨光致发光(TRPL)谱。结果表明:随着Ag沉积时间的延长,所得Ag纳米粒子粒径增大,粒子纵横比先增大后减小且吸收谱峰红移。由于不同形貌的Ag纳米粒子在入射光作用下产生的局域表面等离激元(LSPs)与MQWs中激子耦合强度不同,光发射能力也不同,与没有Ag纳米粒子的样品相比,沉积时间为15 s的样品室温PL积分强度被抑制6.74倍,沉积时间为25 s和35 s的样品室温PL积分强度分别增强1.55和1.72倍且峰位发生红移,沉积时间为45 s的样品室温PL积分强度基本没有变化。TRPL与变温PL的测试结果证明,室温PL积分强度的改变是由于LSPs与MQWs中的激子耦合作用引起的。纵横比大且吸收谱与MQWs的PL谱交叠大的Ag纳米粒子能够更好地增强InGaN/Ga N MQWs的发光。 展开更多
关键词 离子束沉积 AG纳米粒子 局域表面等离激元 ingan/gan多量子阱 光致发光
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Optimized Layers Design for AlGaN/GaN/InGaN Symmetrical Separate Confinement Heterojunction Multi-Quantum Well Laser Diode
6
作者 陆敏 方慧智 张国义 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期492-496,共5页
Waveguide characteristics of symmetrical separate confinement heterojunction multi quantum well (SCH MQW) AlGaN/GaN/InGaN laser diode (LD) are studied by using one dimensional (1 D) transfer matrix waveguide appro... Waveguide characteristics of symmetrical separate confinement heterojunction multi quantum well (SCH MQW) AlGaN/GaN/InGaN laser diode (LD) are studied by using one dimensional (1 D) transfer matrix waveguide approach.Aiming at photon confinement factor,threshold current,and power efficiency,layers design for SCH MQW LD is optimized.The optimal layers parameters are 3 periods In 0.02 Ga 0.98 N/In 0.15 Ga 0.85 N QW for active layer,In 0.1 Ga 0 9 N for waveguide layer with 90nm thick,and 120×(2 5nm/2 5nm) Al 0.25 Ga 0 75 N/GaN supper lattices for cladding layer with the laser wavelength of 396 6nm. 展开更多
关键词 Algan/gan/ingan mqw SCH
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红橙光InGaN/GaN量子阱的结构与光学性质研究
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作者 苏辉 张荣 +8 位作者 谢自力 刘斌 李毅 傅德颐 赵红 华雪梅 韩平 施毅 郑有炓 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第10期747-750,共4页
采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)技术生长了具有高In组分InGaN阱层的InGaN/GaN多量子阱(MQW)结构,高分辨X射线衍射(HRXRD)ω-2θ扫描拟合得到阱层In含量28%。比较大的表面粗糙度表明有很大的位错密度。室温下光致荧光(PL)研究发现该... 采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)技术生长了具有高In组分InGaN阱层的InGaN/GaN多量子阱(MQW)结构,高分辨X射线衍射(HRXRD)ω-2θ扫描拟合得到阱层In含量28%。比较大的表面粗糙度表明有很大的位错密度。室温下光致荧光(PL)研究发现该量子阱发射可见的红橙光,峰位波长在610 nm附近。变温PL(15~300 K)进一步揭示量子阱在低温下有两个发光机制,对应的发射峰波长分别为538 nm和610 nm。由于In分凝和载流子的局域化导致的载流子动力改变,使得量子阱PL发光峰值随温度增加呈明显的"S"变化趋势。 展开更多
关键词 ingan/gan多量子阱 金属有机化学气相沉积 光致荧光谱 原子力显微镜 红橙光
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InGaN/GaN多量子阱LED载流子泄漏与温度关系研究 被引量:3
8
作者 刘诗涛 王立 +5 位作者 伍菲菲 杨祺 何沅丹 张建立 全知觉 黄海宾 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第1期63-69,共7页
通过测量光电流,直接观察了InGaN/GaN量子阱中载流子的泄漏程度随温度升高的变化关系。当LED温度从300K升高到360K时,在相同的光照强度下,LED的光电流增大,说明在温度上升之后,载流子从量子阱中逃逸的数目更多,即载流子泄漏比例增大。同... 通过测量光电流,直接观察了InGaN/GaN量子阱中载流子的泄漏程度随温度升高的变化关系。当LED温度从300K升高到360K时,在相同的光照强度下,LED的光电流增大,说明在温度上升之后,载流子从量子阱中逃逸的数目更多,即载流子泄漏比例增大。同时,光电流的增大在激发密度较低的时候更为明显,而且光电流随温度的增加幅度与激发光子的能量有关。用量子阱-量子点复合模型能很好地解释所观察到的实验现象。实验结果直接证明,随着温度的升高,InGaN/GaN量子阱中的载流子泄漏将显著增加,而且在低激发密度下这一效应更为明显。温度升高导致的载流子泄漏增多是InGaN多量子阱LED发光效率随温度升高而降低的重要原因。 展开更多
关键词 ingan/gan多量子阱 发光二极管 载流子泄漏 量子效率
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InGaN/GaN多量子阱太阳电池的研制及特性研究 被引量:2
9
作者 王宇 张江勇 +2 位作者 余健 应磊莹 张保平 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2014年第2期206-210,共5页
利用金属有机物化学气相沉积技术在蓝宝石衬底上生长了InGaN/GaN多量子阱外延结构,高分辨率X射线衍射测量结果显示,量子阱结构界面清晰,周期重复性很好,InGaN阱层的In组分约为0.2。利用该外延结构制备的InGaN/GaN多量子阱太阳电池的开... 利用金属有机物化学气相沉积技术在蓝宝石衬底上生长了InGaN/GaN多量子阱外延结构,高分辨率X射线衍射测量结果显示,量子阱结构界面清晰,周期重复性很好,InGaN阱层的In组分约为0.2。利用该外延结构制备的InGaN/GaN多量子阱太阳电池的开路电压为2.16V,转换效率达到了0.64%。器件的I-V测量结果显示,在光照条件下,曲线的正向区域存在一明显的"拐点"。随着聚光度的减小,I-V曲线的"拐点"逐渐向高电压区域移动,同时器件的开路电压也随之急剧下降。通过与理论计算对比,发现器件开路电压的下降幅度明显大于理论计算值。进一步分析表明,InGaN量子阱的极化效应不仅是I-V曲线产生拐点以及器件开路电压下降过快的主要原因,也是影响氮化物太阳电池性能的关键因素之一。 展开更多
关键词 ingan/gan多量子阱 极化效应 拐点 太阳电池
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喷淋头高度对InGaN/GaN量子阱生长的影响 被引量:1
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作者 柯昀洁 梁红伟 +5 位作者 申人升 宋世巍 夏晓川 柳阳 张克雄 杜国同 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期469-473,共5页
在Aixtron 3×2近耦合喷淋式金属有机化学气相沉积反应室中,调节喷淋头与基座之间的距离,制备了7,13,18,25 mm间距的4个InGaN/GaN量子阱样品。利用原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)对样品表面形貌及界面质量进行了表征。研究表明... 在Aixtron 3×2近耦合喷淋式金属有机化学气相沉积反应室中,调节喷淋头与基座之间的距离,制备了7,13,18,25 mm间距的4个InGaN/GaN量子阱样品。利用原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)对样品表面形貌及界面质量进行了表征。研究表明:随着高度的增加,量子阱的表面粗糙度减少,垒/阱界面陡峭度逐步变差,垒层和阱层厚度及阱层In组分含量减少;增加高度至一定值后,量子阱厚度及In组分趋于稳定。此外,对比垒层和阱层的厚度变化,垒层厚度的变化幅度较阱层更为明显。 展开更多
关键词 MOCVD 高度调节 ingan gan量子阱
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InGaN/GaN多量子阱纳米线发光二极管制备及研究 被引量:1
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作者 曹瑞华 殷垚 +4 位作者 陈鹏 万青 濮林 施毅 郑有炓 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2011年第1期24-28,共5页
用SiO2纳米图形层作为模板在以蓝宝石为衬底的n-GaN单晶层上制备了InGaN/GaN多量子阱纳米线,并成功实现了其发光二极管器件(LED)。场发射扫描电子显微镜(FESEM)的测量结果表明,InGaN/GaN多量子阱纳米线具有光滑的表面形貌和三角形的剖... 用SiO2纳米图形层作为模板在以蓝宝石为衬底的n-GaN单晶层上制备了InGaN/GaN多量子阱纳米线,并成功实现了其发光二极管器件(LED)。场发射扫描电子显微镜(FESEM)的测量结果表明,InGaN/GaN多量子阱纳米线具有光滑的表面形貌和三角形的剖面结构。室温下阴极射线荧光谱(CL)的测试发现了位于461 nm处的强发光峰,其峰位与多量子阱薄膜相比发生了明显的蓝移。I-V测量表明,多量子阱纳米线LED具有典型的p-n结伏安特性,在20 mA注入电流下,开启电压为4.28 V,且与多量子阱LED的绿色发光相比,其电致发光偏紫色。 展开更多
关键词 铟镓氮/氮化镓多量子阱纳米线 阴极射线荧光谱 发光二极管
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Evaluation of polarization field in InGaN/GaN multiple quantum well structures by using electroluminescence spectra shift 被引量:1
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作者 Ping Chen De-Gang Zhao +8 位作者 De-Sheng Jiang Jing Yang Jian-Jun Zhu Zong-Shun Liu Wei Liu Feng Liang Shuang-Tao Liu Yao Xing Li-Qun Zhang 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2020年第3期221-224,共4页
In order to investigate the inherent polarization intensity in InGaN/GaN multiple quantum well(MQW) structures,the electroluminescence(EL) spectra of three samples with different GaN barrier thicknesses of 21.3 nm, 11... In order to investigate the inherent polarization intensity in InGaN/GaN multiple quantum well(MQW) structures,the electroluminescence(EL) spectra of three samples with different GaN barrier thicknesses of 21.3 nm, 11.4 nm, and 6.5 nm are experimentally studied. All of the EL spectra present a similar blue-shift under the low-level current injection,and then turns to a red-shift tendency when the current increases to a specific value, which is defined as the turning point.The value of this turning point differs from one another for the three InGaN/GaN MQW samples. Sample A, which has the GaN barrier thickness of 21.3 nm, shows the highest current injection level at the turning point as well as the largest value of blue-shift. It indicates that sample A has the maximum intensity of the polarization field. The red-shift of the EL spectra results from the vertical electron leakage in InGaN/GaN MQWs and the corresponding self-heating effect under the high-level current injection. As a result, it is an effective approach to evaluate the polarization field in the InGaN/GaN MQW structures by using the injection current level at the turning point and the blue-shift of the EL spectra profiles. 展开更多
关键词 ingan/gan multiple quantum well(mqw) POLARIZATION FIELD ELECTROLUMINESCENCE spectra SHIFT electron leakage current
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蓝光激光器结构中InGaN/GaN多量子阱界面效应的精细光致发光光谱研究
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作者 王滔 刘建勋 +4 位作者 葛啸天 王荣新 孙钱 宁吉强 郑昌成 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第4期1179-1185,共7页
金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法制备InGaN/GaN多量子阱结构时,在GaN势垒层生长的N_(2)载气中引入适量H_(2),能够有效改善阱/垒界面质量从而提升发光效率。本工作利用光致发光(PL)光谱技术,对蓝光激光器结构中的InGaN/GaN多量子阱的发... 金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法制备InGaN/GaN多量子阱结构时,在GaN势垒层生长的N_(2)载气中引入适量H_(2),能够有效改善阱/垒界面质量从而提升发光效率。本工作利用光致发光(PL)光谱技术,对蓝光激光器结构中的InGaN/GaN多量子阱的发光性能进行了精细的光谱学测量与表征,研究了通H_(2)生长对量子阱界面的调控效应及其发光效率提升的物理机制。室温PL光谱结果显示,GaN势垒层生长载气中引入2.5%的H_(2)使InGaN/GaN多量子阱的发光效率提升了75%、发光峰的峰位蓝移了17 meV、半峰宽(FWHM)减小了10 meV。通过功率依赖的PL光谱特征分析,我们对InGaN/GaN量子阱中的量子限制Stark效应(QCSE)和能带填充(Band Filling)效应进行了清晰的辨析,发现了发光峰峰位和峰宽的光谱特征主要受QCSE效应影响,H_(2)的引入能够大幅度降低QCSE效应,并且确定了QCSE效应被完全屏蔽情况下的发光峰能量为2.75 eV。温度依赖的PL光谱数据揭示了通H_(2)生长量子阱结构中显著减弱的载流子局域化行为,显示界面质量提高有效降低了限制势垒的能量波动,从而导致更窄的发光峰半峰宽。PL光谱强度随温度的变化规律表明,通H_(2)生长并不改变量子阱界面处的非辐射复合中心的物理本质,却能够显著减少非辐射复合中心的密度,有助于提升量子阱的发光效率。通过时间分辨PL光谱分析,发现通H_(2)生长会导致量子阱结构中更短的载流子辐射复合寿命,但不影响非辐射复合寿命。载流子复合寿命的变化特征进一步确认了通H_(2)生长对量子阱结构中QCSE效应和非辐射复合中心的影响规律。综合所有PL光谱分析结果,我们发现通H_(2)生长能够提高InGaN/GaN多量子阱的界面质量、显著减弱应力效应(更弱的QCSE效应)、降低限制势垒的能量波动以及减少界面处非辐射复合中心的密度,从而显著提升量子阱的发光效率。该研究工作充分显示了PL光谱技术对半导体量子结构发光性能的精细表征能力,光谱分析结果能够为InGaN/GaN多量子阱生长提供有价值的参考。 展开更多
关键词 ingan/gan多量子阱 光致发光光谱 量子限制Stark效应 载流子局域化 载流子复合寿命
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Monolithic semi-polar(1■01) InGaN/GaN near white light-emitting diodes on micro-striped Si(100) substrate
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作者 Qi Wang Guo-Dong Yuan +5 位作者 Wen-Qiang Liu Shuai Zhao Lu Zhang Zhi-Qiang Liu Jun-Xi Wang Jin-Min Li 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第8期349-354,共6页
The epitaxial growth of novel GaN-based light-emitting diode(LED) on Si(100) substrate has proved challenging.Here in this work, we investigate a monolithic phosphor-free semi-polar InGaN/GaN near white light-emitting... The epitaxial growth of novel GaN-based light-emitting diode(LED) on Si(100) substrate has proved challenging.Here in this work, we investigate a monolithic phosphor-free semi-polar InGaN/GaN near white light-emitting diode, which is formed on a micro-striped Si(100) substrate by metal organic chemical vapor deposition. By controlling the size of micro-stripe, InGaN/GaN multiple quantum wells(MQWs) with different well widths are grown on semi-polar(1■01)planes. Besides, indium-rich quantum dots are observed in InGaN wells by transmission electron microscopy, which is caused by indium phase separation. Due to the different widths of MQWs and indium phase separation, the indium content changes from the center to the side of the micro-stripe. Various indium content provides the wideband emission. This unique property allows the semipolar InGaN/GaN MQWs to emit wideband light, leading to the near white light emission. 展开更多
关键词 ingan/gan mqws NEAR white LIGHT-EMITTING diodes Si(100)substrate
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InGaN/GaN多量子阱中的深能级表征分析
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作者 刘建明 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第9期716-720,共5页
采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)方法在蓝宝石衬底上生长的In GaN/GaN多量子阱(MQW)结构中存在大量的深能级,电子空穴在多量子阱中复合发光时,深能级作为非辐射复合中心降低发光二极管(LED)内量子效率。通过稳态光电容(SSPC)和光电容... 采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)方法在蓝宝石衬底上生长的In GaN/GaN多量子阱(MQW)结构中存在大量的深能级,电子空穴在多量子阱中复合发光时,深能级作为非辐射复合中心降低发光二极管(LED)内量子效率。通过稳态光电容(SSPC)和光电容(LCV)的测量方法,对比了在垒中掺杂Si和垒中没有掺杂样品的量子阱区域不同位置的深能级浓度和能级。测量结果表明,垒掺杂Si浓度为4×1017cm-3的样品的MQW的深能级密度比垒中没有掺杂的样品低一个数量级。利用变激发强度光致发光谱和发光强度来评估MQW的性能,测试结果表明,垒中掺杂Si可抑制深能级。MQW中深能级浓度影响发光效率,深能级缺陷浓度越小,MQW的发光效率越高。 展开更多
关键词 深能级 多量子阱(mqw) ingan/gan 发光二极管(LED) 金属有机物化学
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InGaN基可见光光电二极管研究进展
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作者 黎斌 卫静婷 谭露雯 《广东开放大学学报》 2018年第3期108-112,共5页
与商用硅基或磷化镓光电二极管相比,In Ga N基可见光光电二极管在窄带通可见光应用领域表现出明显优势。到目前为止,In Ga N/Ga N MQWs为有源层结构和In Ga N体基结构光电二极管都表现出暗电流较大,外量子效率较低,探测带边接近紫外范... 与商用硅基或磷化镓光电二极管相比,In Ga N基可见光光电二极管在窄带通可见光应用领域表现出明显优势。到目前为止,In Ga N/Ga N MQWs为有源层结构和In Ga N体基结构光电二极管都表现出暗电流较大,外量子效率较低,探测带边接近紫外范围等缺点。虽然通过器件工艺和结构设计,可以提升器件的性能,但是In Ga N材料外延技术方面的突破才是器件提升性能的根本。 展开更多
关键词 ingan 可见光光电二极管 ingan/gan多重量子阱 金属-半导体-金属 金属-半导体 P-I-N
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TMIn流量对GaN基蓝光LED外延薄膜的影响
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作者 李天保 赵广洲 +3 位作者 尚林 董海亮 贾伟 余春燕 《人工晶体学报》 CSCD 北大核心 2017年第6期975-979,995,共6页
以蓝宝石(Al_2O_3)为衬底,采用有机金属化学气相沉积(MOCVD)技术生长InGaN/GaN多量子阱结构。本文通过调整外延生长过程中三甲基铟(TMIn)流量,研究了TMIn流量对InGaN/GaN多量子阱结构的合金组分、晶体质量和光学性质的影响。本文采用高... 以蓝宝石(Al_2O_3)为衬底,采用有机金属化学气相沉积(MOCVD)技术生长InGaN/GaN多量子阱结构。本文通过调整外延生长过程中三甲基铟(TMIn)流量,研究了TMIn流量对InGaN/GaN多量子阱结构的合金组分、晶体质量和光学性质的影响。本文采用高分辨X射线衍射(HRXRD)、原子力显微镜(AFM)和光致发光(PL)测试表征其结构和光学性质。HRXRD测试结果表明,随TMIn流量增加,"0"级峰与GaN峰之间角偏离增大,更多的In并入薄膜中。HRXRD与AFM表征结果表明:增大TMIn流量会导致外延薄膜中的位错密度增大,V形坑数量增加,晶体质量严重恶化;PL测试结果表明,随着TMIn流量增加,发光强度逐渐降低,半高宽增大,这是由于晶体质量恶化所导致。因此严格控制铟源流量对于改善量子阱薄膜的晶体质量与光学性质有着至关重要的作用。 展开更多
关键词 三甲基铟 金属有机化学气相沉积 ingan/gan多量子阱
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单边凹槽电极结构MSM型蓝光探测器的研究
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作者 黎斌 张震华 卫静婷 《半导体光电》 CAS 北大核心 2024年第3期410-414,共5页
为提升InGaN基可见光探测器性能,制作并测试了基于GaN/InGaN MQWs外延材料的单边凹槽叉指电极MSM结构蓝光光电二极管。凹槽电极器件的I-V特性测试结果显示,相较于传统平面电极器件,随着偏压增加,器件暗电流越小且越趋于平缓,而光电流越... 为提升InGaN基可见光探测器性能,制作并测试了基于GaN/InGaN MQWs外延材料的单边凹槽叉指电极MSM结构蓝光光电二极管。凹槽电极器件的I-V特性测试结果显示,相较于传统平面电极器件,随着偏压增加,器件暗电流越小且越趋于平缓,而光电流越大;光谱响应率测试显示,器件截止带边都位于490nm附近,凹槽电极器件带边处拒绝比高于平面电极器件1个量级。当偏压为5V时,凹槽电极器件响应率为0.0346A/W@480nm,对应外量子效率为8.94%,高于平面电极器件。器件性能提升的原因是单边凹槽电极结构有效改善了内建电场的分布,从而抑制了表面传导漏电流,使得器件暗电流更小且更有利于电极收集光生载流子,提升了响应率。 展开更多
关键词 蓝光探测器 MSM gan/ingan多重量子阱 单边凹槽电极 内建电场分布
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多量子阱垒结构优化提高GaN基LED发光效率研究
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作者 游瑜婷 《科技创新导报》 2013年第9期1-4,共4页
为了解决由于极化效应引起的漏电流影响发光效率的问题,以k.p理论为基础建立多量子阱模型,分析研究了GaN基LED中不同的InGaN/InGaN多量子阱发光层势垒结构。基于化合物半导体器件的电学、光学和热学属性的有限元分析,设计与优化多量子... 为了解决由于极化效应引起的漏电流影响发光效率的问题,以k.p理论为基础建立多量子阱模型,分析研究了GaN基LED中不同的InGaN/InGaN多量子阱发光层势垒结构。基于化合物半导体器件的电学、光学和热学属性的有限元分析,设计与优化多量子阱中靠近P型AlGaN电子阻档层倒数第二层势垒,显著提高了光输出功率,减少漏电流.数值模拟分析表明,改良多量子阱势垒能够大幅提高高亮度、高功率器件结构光电特性。 展开更多
关键词 gan基LED 多量子阱 ingan 垒结构
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A GaN/InGaN/AlGaN MQW RTD for versatile MVL applications with improved logic stability 被引量:1
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作者 Haipeng Zhang Qiang Zhang +6 位作者 Mi Lin Weifeng Lü Zhonghai Zhang Jianling Bai Jian He Bin Wang Dejun Wang 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2018年第7期77-87,共11页
To improve the logic stability of conventional multi-valued logic(MVL) circuits designed with a GaNbased resonate tunneling diode(RTD), we proposed a GaN/InGaN/AlGaN multi-quantum well(MQW) RTD. The proposed RTD... To improve the logic stability of conventional multi-valued logic(MVL) circuits designed with a GaNbased resonate tunneling diode(RTD), we proposed a GaN/InGaN/AlGaN multi-quantum well(MQW) RTD. The proposed RTD was simulated through solving the coupled Schrodinger and Poisson equations in the numerical non-equilibrium Green's function(NEGF) method on the TCAD platform. The proposed RTD was grown layer by layer in epitaxial technologies. Simulated results indicate that its current-voltage characteristic appears to have a wider total negative differential resistance region than those of conventional ones and an obvious hysteresis loop at room temperature. To increase the Al composite of AIGaN barrier layers properly results in increasing of both the total negative differential resistance region width and the hysteresis loop width, which is helpful to improve the logic stability of MVL circuits. Moreover, the complement resonate tunneling transistor pair consisted of the proposed RTDs or the proposed RTD and enhanced mode HEMT controlled RTD8 is capable of generating versatile MVL modes at different supply voltages less than 3.3 V, which is very attractive for implementing more complex MVL function digital integrated circuits and systems with less devices, super high speed linear or nonlinear ADC and voltage sensors with a built-in super high speed ADC function. 展开更多
关键词 gan/ingan/Algan mqw RTD total NDR region width hysteresis characteristic MVL
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