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AlGaN双势垒结构对高In组分InGaN/GaN MQWs太阳能电池材料晶体质量和发光性能的影响
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作者 单恒升 李明慧 +4 位作者 李诚科 刘胜威 梅云俭 宋一凡 李小亚 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第1期83-88,124,共7页
本文利用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)技术在(001)面图形化蓝宝石衬底(PSS)上生长了一种含有AlGaN-InGaN/GaN MQWs(multiple quantum wells)-AlGaN双势垒结构的高In组分太阳能电池外延材料。高分辨率X射线衍射(HRXRD)和光致发光(... 本文利用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)技术在(001)面图形化蓝宝石衬底(PSS)上生长了一种含有AlGaN-InGaN/GaN MQWs(multiple quantum wells)-AlGaN双势垒结构的高In组分太阳能电池外延材料。高分辨率X射线衍射(HRXRD)和光致发光(PL)谱分析表明,与含有AlGaN电子阻挡层的低In组分的量子阱结构太阳能电池外延材料相比,该结构材料具有较小的半峰全宽(FWHM),计算表明:此结构材料的位错密度降低了一个数量级,达到10^(7)cm^(-2);同时,有源区中的应变弛豫降低了51%;此外,此结构材料的发光强度增强了35%。研究结果表明含有AlGaN双势垒结构的外延材料可以减小有源区的位错密度,降低非辐射复合中心的数目,增大有源区有效光生载流子的数目,为制备高质量太阳能电池提供实验依据。 展开更多
关键词 金属有机化合物化学气相沉积 太阳能电池外延材料 Algan双势垒结构 ingan/gan mqws 位错密度 光生载流子
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采用AlGaN/GaN阻挡层的大功率InGaN/GaN MQWs蓝光LED 被引量:1
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作者 齐胜利 陈志忠 +8 位作者 潘尧波 郝茂盛 邓俊静 田朋飞 张国义 颜建锋 朱广敏 陈诚 李士涛 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期216-218,共3页
大功率InGaN/GaN多量子阱蓝光发光二极管在大注入电流下,载流子泄漏而引起的效率下降问题是目前限制大功率发光二极管光电特性及其应用的突出问题。本文通过在p型GaN和InGaN/GaN多量子阱(MQW)有源区之间插入p型AlGaN/GaN多量子势垒(MQB... 大功率InGaN/GaN多量子阱蓝光发光二极管在大注入电流下,载流子泄漏而引起的效率下降问题是目前限制大功率发光二极管光电特性及其应用的突出问题。本文通过在p型GaN和InGaN/GaN多量子阱(MQW)有源区之间插入p型AlGaN/GaN多量子势垒(MQB)电子阻挡层,利用多量子势垒对电子的量子反射作用,有效地解决了大注入下载流子泄漏问题。与未使用多量子势垒电子阻挡层的样品相比,MQB样品的光功率和外量子效率分别提高了约80%和100%。 展开更多
关键词 氮化镓 多量子阱 发光二极管 铝镓氮/氮化镓 多量子势垒 外量子效率
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Effects of growth interruption on the properties of InGaN/GaN MQWs grown by MOCVD 被引量:1
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作者 NIU Nan-hui WANG Huai-bing LIU Jian-ping LIU Nai-xin XING Yan-hui HAN Jun DENG Jun SHEN Guang-di 《Optoelectronics Letters》 EI 2007年第1期1-3,共3页
InGaN/GaN MQWs structures were grown by MOCVD. The effects of the growth interruption time on the optical and structural properties of InGaN/GaN MQWs were investigated. The experimental results show that the growth in... InGaN/GaN MQWs structures were grown by MOCVD. The effects of the growth interruption time on the optical and structural properties of InGaN/GaN MQWs were investigated. The experimental results show that the growth interruption can improve the interface quality, increase the intensity of photoluminescence (PL) and electroluminescence (EL); but if the interruption time was too long, the well thickness and the average In composition of MQWs decreased, and the EL intensity also decreased due to poor interface quality and impurities derived from growth interruption. 展开更多
关键词 晶体生长中断 ingan/gan多量子阱 氮化铟镓 MOCVD
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Photoluminescence of green InGaN/GaN MQWs grown on pre-wells
4
作者 赖寿强 李青璇 +5 位作者 龙浩 吴瑾照 应磊莹 郑志威 丘志仁 张保平 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2020年第12期492-497,共6页
Photoluminescence(PL)characteristics of the structure consisting of green InGaN/GaN multiple quantum wells(MQWs)and low indium content InGaN/GaN pre-wells are investigated.Several PL peaks from pre-wells and green InG... Photoluminescence(PL)characteristics of the structure consisting of green InGaN/GaN multiple quantum wells(MQWs)and low indium content InGaN/GaN pre-wells are investigated.Several PL peaks from pre-wells and green InGaN/GaN MQWs are observed.The peak energy values for both pre-wells and green InGaN/GaN MQWs display an S-shaped variation with temperature.In addition,the differences in the carrier localization effect,defect density,and phonon-exciton interaction between the pre-wells and green InGaN/GaN MQWs,and the internal quantum efficiency of the sample are studied.The obtained results elucidate the mechanism of the luminescence characteristics of the sample and demonstrate the significant stress blocking effect of pre-wells. 展开更多
关键词 ingan/gan PHOTOLUMINESCENCE pre-wells green LED
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Electrical properties and structural optimization of GaN/InGaN/GaN tunnel junctions grown by molecular beam epitaxy
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作者 Jun Fang Fan Zhang +4 位作者 Wenxian Yang Aiqin Tian Jianping Liu Shulong Lu Hui Yang 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2024年第1期48-54,共7页
The InGaN films and GaN/InGaN/GaN tunnel junctions(TJs)were grown on GaN templates with plasma-assisted molecular beam epitaxy.As the In content increases,the quality of InGaN films grown on GaN templates decreases an... The InGaN films and GaN/InGaN/GaN tunnel junctions(TJs)were grown on GaN templates with plasma-assisted molecular beam epitaxy.As the In content increases,the quality of InGaN films grown on GaN templates decreases and the surface roughness of the samples increases.V-pits and trench defects were not found in the AFM images.p++-GaN/InGaN/n++-GaN TJs were investigated for various In content,InGaN thicknesses and doping concentration in the InGaN insert layer.The InGaN insert layer can promote good interband tunneling in GaN/InGaN/GaN TJ and significantly reduce operating voltage when doping is sufficiently high.The current density increases with increasing In content for the 3 nm InGaN insert layer,which is achieved by reducing the depletion zone width and the height of the potential barrier.At a forward current density of 500 A/cm^(2),the measured voltage was 4.31 V and the differential resistance was measured to be 3.75×10^(−3)Ω·cm^(2)for the device with a 3 nm p++-In_(0.35)Ga_(0.65)N insert layer.When the thickness of the In_(0.35)Ga_(0.65)N layer is closer to the“balanced”thickness,the TJ current density is higher.If the thickness is too high or too low,the width of the depletion zone will increase and the current density will decrease.The undoped InGaN layer has a better performance than n-type doping in the TJ.Polarization-engineered tunnel junctions can enhance the functionality and performance of electronic and optoelectronic devices. 展开更多
关键词 gan/ingan/gan tunnel junctions polarization-engineering molecular beam epitaxy
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MOCVD生长InGaN/GaN MQW紫光LED 被引量:9
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作者 李忠辉 杨志坚 +7 位作者 于彤军 胡晓东 杨华 陆曙 任谦 金春来 章蓓 张国义 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期107-109,共3页
利用LP MOCVD系统生长了InGaN/GaNMQW紫光LED外延片 ,双晶X射线衍射测试获得了 2级卫星峰 ,室温光致发光谱的峰值波长为 399 5nm ,FWHM为 15 5nm ,波长均匀性良好。制成的LED管芯 ,正向电流2 0mA时 ,工作电压在 4V以下。
关键词 ingan 量子阱 紫光LED MOCVD 发光二极管 外延生长 镓铟化合物 氮化镓 gan
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MOCVD制备In_xGa_(1-x)N/GaN MQWs的温度依赖性 被引量:2
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作者 李培咸 郝跃 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期34-38,共5页
利用方势阱模型对Inx Ga1-xN/GaN MQWs结构的光特性进行了量子力学定性理论分析.并在MO源流量恒定条件下,在570℃~640℃范围内进行了不同生长温度的多量子阱制备实验,对Inx Ga1-xNs制备过程中的In组份掺入效率的温度依赖关系进行... 利用方势阱模型对Inx Ga1-xN/GaN MQWs结构的光特性进行了量子力学定性理论分析.并在MO源流量恒定条件下,在570℃~640℃范围内进行了不同生长温度的多量子阱制备实验,对Inx Ga1-xNs制备过程中的In组份掺入效率的温度依赖关系进行研究.通过对制备样品的PL谱测量分析,得到了587℃~600℃的In组份最佳掺入温度区间. 展开更多
关键词 MOCVD INX Ga1-xN gan mqws 生长温度
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Application of nano-patterned InGaN fabricated by selfassembled Ni nano-masks in green InGaN/GaN multiple quantum wells
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作者 Ruoshi Peng Shengrui Xu +5 位作者 Xiaomeng Fan Hongchang Tao Huake Su Yuan Gao Jincheng Zhang Yue Hao 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2023年第4期86-91,共6页
The nano-patterned InGaN film was used in green InGaN/GaN multiple quantum wells(MQWs)structure,to relieve the unpleasantly existing mismatch between high indium content InGaN and GaN,as well as to enhance the light o... The nano-patterned InGaN film was used in green InGaN/GaN multiple quantum wells(MQWs)structure,to relieve the unpleasantly existing mismatch between high indium content InGaN and GaN,as well as to enhance the light output.The different self-assembled nano-masks were formed on InGaN by annealing thin Ni layers of different thicknesses.Whereafter,the InGaN films were etched into nano-patterned films.Compared with the green MQWs structure grown on untreated InGaN film,which on nano-patterned InGaN had better luminous performance.Among them the MQWs performed best when 3 nm thick Ni film was used as mask,because that optimally balanced the effects of nano-patterned InGaN on the crystal quality and the light output. 展开更多
关键词 gan ingan nano-mask nano-patterned mqws
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Bottom-up approaches to microLEDs emitting red, green and blue light based on GaN nanowires and relaxed InGaN platelets
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作者 毕朝霞 Anders Gustafsson Lars Samuelson 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第1期1-10,共10页
Miniaturization of light-emitting diodes(LEDs) with sizes down to a few micrometers has become a hot topic in both academia and industry due to their attractive applications on self-emissive displays for high-definiti... Miniaturization of light-emitting diodes(LEDs) with sizes down to a few micrometers has become a hot topic in both academia and industry due to their attractive applications on self-emissive displays for high-definition televisions,augmented/mixed realities and head-up displays, and also on optogenetics, high-speed light communication, etc. The conventional top-down technology uses dry etching to define the LED size, leading to damage to the LED side walls.Since sizes of microLEDs approach the carrier diffusion length, the damaged side walls play an important role, reducing microLED performance significantly from that of large area LEDs. In this paper, we review our efforts on realization of microLEDs by direct bottom-up growth, based on selective area metal–organic vapor phase epitaxy. The individual LEDs based on either GaN nanowires or InGaN platelets are smaller than 1 μm in our approach. Such nano-LEDs can be used as building blocks in arrays to assemble microLEDs with different sizes, avoiding the side wall damage by dry etching encountered for the top-down approach. The technology of InGaN platelets is especially interesting since InGaN quantum wells emitting red, green and blue light can be grown on such platelets with a low-level of strain by changing the indium content in the InGaN platelets. This technology is therefore very attractive for highly efficient microLEDs of three primary colors for displays. 展开更多
关键词 microLEDs RGB gan ingan
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Green Vertical‑Cavity Surface‑Emitting Lasers Based on InGaN Quantum Dots and Short Cavity
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作者 Tao Yang Yan‑Hui Chen +7 位作者 Ya‑Chao Wang Wei Ou Lei‑Ying Ying Yang Mei Ai‑Qin Tian Jian‑Ping Liu Hao‑Chung Guo Bao‑Ping Zhang 《Nano-Micro Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第12期115-125,共11页
Room temperature low threshold lasing of green GaNbased vertical cavity surface emitting laser(VCSEL)was demonstrated under continuous wave(CW)operation.By using self-formed InGaN quantum dots(QDs)as the active region... Room temperature low threshold lasing of green GaNbased vertical cavity surface emitting laser(VCSEL)was demonstrated under continuous wave(CW)operation.By using self-formed InGaN quantum dots(QDs)as the active region,the VCSEL emitting at 524.0 nm has a threshold current density of 51.97 A cm^(-2),the lowest ever reported.The QD epitaxial wafer featured with a high IQE of 69.94%and theδ-function-like density of states plays an important role in achieving low threshold current.Besides,a short cavity of the device(~4.0λ)is vital to enhance the spontaneous emission coupling factor to 0.094,increase the gain coefficient factor,and decrease the optical loss.To improve heat dissipation,AlN layer was used as the current confinement layer and electroplated copper plate was used to replace metal bonding.The results provide important guidance to achieving high performance GaN-based VCSELs. 展开更多
关键词 Green vertical cavity surface emitting laser gan Low threshold ingan quantum dots
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Efficiency Droop Effect Mechanism in an InGaN/GaN Blue MQW LED 被引量:1
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作者 王嘉星 汪莱 +1 位作者 郝智彪 罗毅 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2011年第11期249-252,共4页
In order to clarify the origin of the efficiency droop effect in InGaN based blue multiple-quantum-well(MQW)light emitting diodes(LEDs),a reasonable model is set up,taking all the possible factor(carrier delocalizatio... In order to clarify the origin of the efficiency droop effect in InGaN based blue multiple-quantum-well(MQW)light emitting diodes(LEDs),a reasonable model is set up,taking all the possible factor(carrier delocalization,carrier leakage and Auger recombination)into account.By fitting the external quantum efficiency-injection current(η–Ⅰ)measurements of two LED samples,the validity of the model is demonstrated.The fit results show that the main origin of efficiency droop at a high injection current is carrier leakage.Furthermore it is also indicated that carrier delocalization plays an important role in the efficiency droop effect in those LEDs of large localization degree. 展开更多
关键词 ingan/gan LED INJECTION
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通过诱导载流子的V坑传输提升GaN基绿光LED的空穴注入效率
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作者 张东皓 杨东锴 +2 位作者 徐畅 刘信佑 包立君 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期800-808,共9页
为了提升GaN基多量子阱LED的空穴注入效率,设计了具有不同最后势垒层结构的GaN基多量子阱外延结构,并将其制备为绿光mini-LED发光芯片,利用低温电致发光光谱、电流电压特性测试对其载流子传输机制进行了研究。结果表明,在采用AlGaN或GaN... 为了提升GaN基多量子阱LED的空穴注入效率,设计了具有不同最后势垒层结构的GaN基多量子阱外延结构,并将其制备为绿光mini-LED发光芯片,利用低温电致发光光谱、电流电压特性测试对其载流子传输机制进行了研究。结果表明,在采用AlGaN或GaN/AlN最后势垒层的样品中,有更多载流子可以传输到深层量子阱,空穴注入效率获得提升。本文对这一现象中的载流子运输机制以及V坑缺陷在其中所起的作用进行了研究,发现这种提升主要来自空穴V坑注入比例的增大。实验还发现,过大的V坑注入比例也会造成非辐射复合率上升,从而抑制了AlGaN最后势垒层样品的电光转换效率。 展开更多
关键词 发光二极管 最后势垒层 空穴注入 ingan/gan多量子阱 V坑
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Carrier transport via V-shaped pits in InGaN/GaN MQW solar cells
13
作者 刘诗涛 全知觉 王立 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第3期558-563,共6页
Carrier transport via the V-shaped pits (V-pits) in InGaN/GaN multiple-quantum-well (MQW) solar cells is numer- ically investigated. By simulations, it is found that the V-pits can act as effective escape paths fo... Carrier transport via the V-shaped pits (V-pits) in InGaN/GaN multiple-quantum-well (MQW) solar cells is numer- ically investigated. By simulations, it is found that the V-pits can act as effective escape paths for the photo-generated carriers. Due to the thin barrier thickness and low indium composition of the MQW on V-pit sidewall, the carriers entered the sidewall QWs can easily escape and contribute to the photocurrent. This forms a parallel escape route for the carries generated in the fiat quantum wells. As the barrier thickness of the fiat MQW increases, more carriers would transport via the V-pits. Furthermore, it is found that the V-pits may reduce the recombination losses of carriers due to their screening effect to the dislocations. These discoveries are not only helpful for understanding the carrier transport mechanism in the InGaN/GaN MQW, but also important in design of the structure of solar cells. 展开更多
关键词 V-shaped pits ingan/gan multiple-quantum-well solar cells carrier transport
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p-NiO/MQWs/n-GaN异质结器件制备及其特性的研究
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作者 项国姣 高薇 +4 位作者 付宏远 周毅坚 彭文博 赵洋 王辉 《光电子技术》 CAS 北大核心 2020年第3期180-185,共6页
采用射频磁控溅射设备以NiO为空穴注入层在MQWs/n-GaN上制备了p-NiO/MQWs/n-GaN异质结发光器件。通过X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、紫外分光光度计(UV-2700)等测试系统对制备的NiO层结构、形貌及光学特性进行了测试,结果表明Ni... 采用射频磁控溅射设备以NiO为空穴注入层在MQWs/n-GaN上制备了p-NiO/MQWs/n-GaN异质结发光器件。通过X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、紫外分光光度计(UV-2700)等测试系统对制备的NiO层结构、形貌及光学特性进行了测试,结果表明NiO薄膜具有较好的结晶质量。对p-NiO/MQWs/n-GaN异质结器件进行了电流-电压(I-V)特性和电致发光(EL)特性测试。I-V特性测试结果显示,器件具有明显的整流特性,开启电压约为2.9 V。EL特性测试结果显示,该器件实现了室温下的蓝紫光发射,结合GaN的光致发光(PL)谱和器件的能带结构图,对器件的电致发光机理进行了深入研究。 展开更多
关键词 NIO 量子阱 磁控溅射 电致发光
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抛物线型衬底InGaN/GaN发光二极管的模拟研究 被引量:7
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作者 夏长生 李志锋 +2 位作者 王茺 陈效双 陆卫 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期100-104,共5页
针对发射到衬底中的光子,提出了一种具有抛物线型衬底结构的InGaN/GaN发光二极管,并对平面衬底和抛物线型衬底InGaN/GaN发光二极管的光子运动轨迹、发射功率角度分布和外量子效率进行了模拟计算.结果表明相对于平面衬底发光二极管,抛物... 针对发射到衬底中的光子,提出了一种具有抛物线型衬底结构的InGaN/GaN发光二极管,并对平面衬底和抛物线型衬底InGaN/GaN发光二极管的光子运动轨迹、发射功率角度分布和外量子效率进行了模拟计算.结果表明相对于平面衬底发光二极管,抛物线型衬底发光二极管可以充分利用发射到衬底中的光子,使其正向光子发射功率增加12.6倍,外量子效率提高1.22倍,同时具有发射准平行光的功能. 展开更多
关键词 ingan/gan发光二极管 光子运动轨迹 外量子效率
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MOVPE生长的InGaN/GaN单量子阱的光致发光和光吸收特性(英文) 被引量:5
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作者 王玥 施卫 +3 位作者 苑进社 贺训军 胡辉 姬广举 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期407-411,共5页
研究了用金属有机物气相外延(MOVPE)法在蓝宝石衬底上生长的In组分浓度保持不变的InGaN/GaN单量子阱结构在室温下的发光特性和光吸收特性。实验结果表明,在InGaN厚度<3 nm时,随着样品InGaN势阱层宽度的增加(1 nm),光致发光(PL)谱的... 研究了用金属有机物气相外延(MOVPE)法在蓝宝石衬底上生长的In组分浓度保持不变的InGaN/GaN单量子阱结构在室温下的发光特性和光吸收特性。实验结果表明,在InGaN厚度<3 nm时,随着样品InGaN势阱层宽度的增加(1 nm),光致发光(PL)谱的发光峰值波长出现明显的红移33 nm现象,而且发光强度下降8%,谱线半峰全宽(FWHM)展宽,通过对样品的透射、反射光谱研究发现,量子阱层窄(1.5 nm)的样品在波长接近红外区时出现无吸收的现象,即R+T达到了100%,而在阱层较宽的样品中没有发现这一现象,对引起这些现象的原因进行了讨论。这些结果有助于开发和优化三族氮化物半导体光电器件的进一步研究工作。 展开更多
关键词 ingan/gan 单量子阱 光致发光 透射光谱 反射光谱
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具有超晶格应力调制结构的绿光InGaN/GaN多量子阱的发光特性 被引量:5
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作者 王小丽 王文新 +5 位作者 江洋 马紫光 崔彦翔 贾海强 宋京 陈弘 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期1152-1158,共7页
研究了具有InGaN/GaN超晶格(SL)插入结构的绿光InGaN/GaN多量子阱(MQW)的发光特性。结构测试表明,SL插入结构并没有引起MQW中平均In组份的增加,而是改变了In组份的分布,形成了高In组份的量子点和低In组份量子阱。其电致发光(EL)谱和光... 研究了具有InGaN/GaN超晶格(SL)插入结构的绿光InGaN/GaN多量子阱(MQW)的发光特性。结构测试表明,SL插入结构并没有引起MQW中平均In组份的增加,而是改变了In组份的分布,形成了高In组份的量子点和低In组份量子阱。其电致发光(EL)谱和光致发光(PL)谱均出现了双发光峰。我们认为这两个峰分别来自于量子点和量子阱,且存在着载流子从阱向点转移的输运机制。最后变温PL积分强度的Arrhenius拟合表明,SL插入结构并没有在MQW中引入新的缺陷,使其发光效率下降。 展开更多
关键词 ingan/gan多量子阱 超晶格 电致发光 光致发光
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GaN基外延膜的激光剥离和InGaNLD外延膜的解理 被引量:3
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作者 黎子兰 胡晓东 +3 位作者 章蓓 陈科 聂瑞娟 张国义 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第1期29-32,共4页
利用波长为 2 4 8nm的KrF准分子激光器进行了蓝宝石衬底GaN外延层剥离。对极薄的MOCVD生长的单层GaN外延膜 (3μm)和InGaNLD外延膜 (5 μm)实现了大面积剥离。对剥离蓝宝石衬底背面抛光和未抛光外延片的不同特点作了比较 ,激光剥离所需... 利用波长为 2 4 8nm的KrF准分子激光器进行了蓝宝石衬底GaN外延层剥离。对极薄的MOCVD生长的单层GaN外延膜 (3μm)和InGaNLD外延膜 (5 μm)实现了大面积剥离。对剥离蓝宝石衬底背面抛光和未抛光外延片的不同特点作了比较 ,激光剥离所需的能量密度阈值分别约为 2 0 0mJ/cm2 和 30 0mJ/cm2 ,优化结果表明 ,能量密度分别在 4 0 0mJ/cm2 和 6 0 0mJ/cm2 可实现稳定的剥离。同时对剥离后的InGaN多量子阱LD结构薄膜进行了解理 ,SEM观察显示获得的InGaNLD腔面平整光滑。 展开更多
关键词 剥离 gan ingan LD 解理
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InGaN/GaN多量子阱热退火的拉曼光谱和荧光光谱 被引量:3
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作者 吕国伟 唐英杰 +3 位作者 李卫华 黎子兰 张国义 杜为民 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期39-43,共5页
通过拉曼光谱及荧光光谱测量研究了采用低压金属有机化学沉积(MOCVD)方法生长的InGaNGaN多量子阱高温快速热退火处理对量子阱光学性质的影响。观测到退火后InGaNGaN量子阱的拉曼光谱E2,A1(LO)模式的峰位置出现了红移,而且该振动峰的半... 通过拉曼光谱及荧光光谱测量研究了采用低压金属有机化学沉积(MOCVD)方法生长的InGaNGaN多量子阱高温快速热退火处理对量子阱光学性质的影响。观测到退火后InGaNGaN量子阱的拉曼光谱E2,A1(LO)模式的峰位置出现了红移,而且该振动峰的半高宽也有微小变化。温度升高退火效果更明显。退火使量子阱内应力部分消除,同时In,Ga原子扩散出现相分离使拉曼谱表现出变化。在常温和低温下的光荧光谱表明,退火处理的量子阱发光主峰都出现了红移;而且低温退火出现红移,退火温度升高相对低温退火出现蓝移;同时在低温荧光光谱里看到经过退火处理后原发光峰中主峰旁边弱的峰消失了。讨论了退火对多量子阱光学性质的影响。 展开更多
关键词 ingan/gan 多量子阱 光荧光 快速热退火 MOCVD 发光峰 红移 拉曼光谱 荧光光谱 光学性质
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生长温度对InGaN/GaN多量子阱LED光学特性的影响 被引量:4
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作者 朱丽虹 刘宝林 张保平 《半导体光电》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期165-169,共5页
利用低压MOCVD系统,在蓝宝石衬底上外延生长了InGaN/GaN多量子阱蓝紫光LED结构材料。研究了生长温度对有源层InGaN/GaN多量子阱的合金组分、结晶品质及其发光特性的影响。结果表明当生长温度从730℃升到800℃时,LED的光致发光波长从490... 利用低压MOCVD系统,在蓝宝石衬底上外延生长了InGaN/GaN多量子阱蓝紫光LED结构材料。研究了生长温度对有源层InGaN/GaN多量子阱的合金组分、结晶品质及其发光特性的影响。结果表明当生长温度从730℃升到800℃时,LED的光致发光波长从490 nm移到380 nm,室温下PL谱发光峰的半高全宽从133 meV降到73 meV,表明了量子阱结晶性的提高。高温生长时,PL谱中还观察到了GaN的蓝带发光峰,说明量子阱对载流子的限制作用有所减弱。研究表明,通过改变生长温度可以对LED发光波长及有源层InGaN的晶体质量实现良好的控制。 展开更多
关键词 MOCVD ingan/gan多量子阱 蓝紫光LED 蓝带
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