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InSb薄膜制备工艺技术研究 被引量：2
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作者 刘佩瑶 于成民 王晓雯 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1996年第2期18-21,共4页
本文介绍了InSb薄膜制备工艺技术的研究成果,系统地阐述了InSb薄膜的工艺机理与制备技术,指出了制备InSb薄膜过程中所需解决的技术关键,并总结了制备InSb薄膜的工艺条件和实验结果.
关键词 薄膜 磁敏元件 制备工艺
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