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InSb 精密角位移传感器的研究 被引量:7
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作者 胡明 张之圣 刘志刚 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1998年第2期1-3,共3页
本文介绍了以磁阻效应为工作原理的InSb精密角位移传感器的设计和制作。这种传感器的主要特点是高分辨率、非接触、体积小、重量轻和使用寿命长。性能测试结果表明,在±12°范围内,其分辨率达0.
关键词 insb 磁阻效应 角位移传感器 悬臂梁 传感器
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