新一代长波长红外探测器

文章旨在介绍适应于长波红外焦平面阵列技术发展的红外探测器，由于篇幅的关系，本文着重评述ＩｎＡｓＳｂ应变层超晶格红外探测器和ＧａＡｓ／ＧａＡｌＡｓ多量子阱红外探测器的特点、器件结构、主要制作工艺、性能参数，以及急需要解决的一些问题。