基于改进匈牙利算法和模糊逻辑控制的Interbay物料运输系统调度方法

为了满足晶圆制造Interbay物料运输调度的多目标和实时性要求,提出了一种基于改进匈牙利算法和模糊逻辑控制的智能调度方法.首先对晶圆工件的运输时间、等待时间、交货期以及加工特性这4个参数进行加权求和,建立晶圆工件的多目标运输成本模型;然后基于模糊逻辑控制的权重参数调节模型对各个权重参数进行动态调整,进而实时地计算晶圆工件的运输成本;最后以最小化运输成本为目标,采用改进匈牙利算法求取晶圆工件和运输小车的最优匹配方案.仿真实验结果表明,与传统的几种单一启发式规则比较,提出的调度方法能够有效减少晶圆工件的平均搬运时间和平均加工周期,具有较好的综合调度性能.

基于复合规则的Interbay物料运输系统多目标调度方法

为了满足晶圆制造Interbay物料运输系统的全局优化要求,提出基于复合规则的Interbay物料运输系统多目标调度方法。充分考虑各运输设备之间的约束关系,建立了Interbay物料运输系统的多目标调度模型。提出基于遗传规划的复合规则生成方法,该方法将晶圆工件的属性参数与四种基本运算符号按照二叉树的结构进行编码,再通过选择、交叉、变异以及基于d-best策略的λ-Interchange局部搜索方法,寻找具有最佳适应度的复合调度规则。为了对大量个体进行快速评价,设计了基于物料运输表的适应度值估算方法。仿真实验结果表明,与文献中的Interbay物料运输调度方法相比,基于所提算法生成的复合调度规则能够对工件的平均加工周期、平均搬运时间、平均交货期满足率等多个目标进行综合优化,同时表现出较好的鲁棒性。

晶圆制造双闭环Interbay物料运输系统性能分析模型

双闭环Interbay物料运输系统是300 mm晶圆制造系统至关重要的组成部分。为在设计阶段快速有效分析其运行性能,本文提出了一种扩展马尔可夫模型。该模型充分考虑了运输小车在外环、内环和捷径导轨关键节点的运行、堵塞、装卸晶圆卡等系统状态,抑制了多运输小车运行环境下的模型状态空间规模爆炸,提高了性能分析模型的准确性与运算效率。采用某晶圆制造企业实际生产数据,将扩展马尔可夫模型与仿真模型进行比较。结果表明:两者在空载运输小车到达时间间隔、系统搬运能力和运输小车利用率等关键指标方面相对误差值较小;扩展马尔可夫模型明显具有更高的分析效率。由此验证了提出的扩展马尔可夫模型用于双闭环Interbay系统性能分析是有效的。

基于强化学习的自动化物料运输系统调度策略

为提高自动化物料运输系统生产运输效率,根据晶圆厂的混合式布局建立轨道的图网络模型,提出一种基于强化学习的动态调度策略。将调度过程划分为运输任务指派与运输路径规划两个阶段。任务指派使用基于实时交通信息的匈牙利算法求解。将运输路径规划问题表述为路径决策问题,使用基于离线策略的Q-Learning算法与玻尔兹曼探索策略构建的强化模型来求解路径决策问题。实验结果表明,所提方法可以有效提高自动化物料运输系统运输效率。

一种Intrabay物料运输系统的多目标实时调度方法

为了提高晶圆制造Intrabay物料运输系统(简称Intrabay系统)的多目标调度性能,提出了一种基于模糊逻辑-匈牙利方法的Intrabay系统多目标实时调度方法。该方法实时响应运输小车空载和晶圆卡请求运输等动态事件,并对各事件时刻的Intrabay系统调度子问题进行多目标优化求解。采用300mm的晶圆制造系统数据进行仿真实验并与传统的Intrabay系统调度方法进行比较,结果表明该方法在Intrabay系统和晶圆加工系统的多个指标综合性能方面优于传统Intrabay系统调度方法,验证了Intrabay系统多目标实时调度方法的有效性。

晶圆制造物料运输系统性能分析建模方法

为在自动化物料搬运系统设计阶段快速有效地分析该系统的性能,提出一种扩展Markov模型的建模方法,该方法减少了自动化物料搬运系统性能分析模型的规模,避免了模型的状态空间规模爆炸。采用某晶圆制造企业的实际生产数据进行测试,并与仿真分析方法比较。结果表明,扩展Markov模型与仿真模型在自动化物料搬运系统搬运量、运输小车利用率和空载小车到达平均时间间隔等指标方面的相对误差值为96%,处于[-8%,10%]的区间范围;与仿真模型相比,扩展Markov模型的性能分析效率提高了600倍以上。由此验证了所提扩展Markov模型建模方法的有效性。

基于排队网络的晶圆制造自动化物料运输系统性能模型

为快速有效地分析晶圆制造自动化物料运输系统的性能,以获得优化的系统设计方案,提出一种基于排队网络的性能分析模型。该模型考虑多运输小车的堵塞特性,将运输小车运行过程等效为排队网络过程,并采用虚拟元对自动化物料运输系统的捷径导轨特性进行描述,提高了性能分析模型的准确性。采用某晶圆制造企业的实际生产数据进行实验,并与仿真模型进行比较。结果表明:基于排队网络的性能分析模型与仿真模型在运输小车利用率、AMHS搬运能力和空载小车到达平均时间间隔等指标方面的相对误差值97%处于[-7%,9%]的区间范围,且比仿真模型具有更高的计算效率。

基于Petri网的生产车间物料运输系统建模与仿真

提出了一种基于Petri网的生产车间物料运输系统Petri网模型,可以将该系统的物理过程通过网系统形象地表示出来,并反映出系统的动态特性。同时用ARENA仿真软件对该系统进行了模型仿真研究,仿真结果表明该模型是合理的。

BOSCHTS/2F物料运输系统的实时控制实现

本文在分析BOSCH TS/2F组成及识别技术的基础上,为实现运输系统的实时控制,提出了传输带运输系统的递阶式控制结构.基于面向对象的编程观点,本文描述了面向对象的实时控制软件设计方法,将控制系统功能、数据通讯及其所控制对象等实体抽象成各自的类,各模块通过类的继承来描述各自的实现,以便使运输系统重构时,软件控制系统具有良好的重用性.

整体式自动化物料运输系统防拥堵调度策略

为解决自动化物料运输系统中的车辆拥堵问题,提高生产运输效率,根据混合布局建立轨道的图网络模型,提出基于实时交通信息的动态调度方法。在调度过程的运输任务指派和运输路径规划阶段均使用加入交通信息的预测时间,运输任务指派根据系统状态变化使用匈牙利算法动态求解,路径规划也会根据轨道权重变化选择最快到达目的地的路径。实验结果表明,提出方法可以有效缓解车辆拥堵,减少晶圆的平均运输周期。

晶圆制造物料运输系统实时调度方法

Interbay物料运输系统的运行效率对晶圆制造系统的影响较大。为减少运输小车平均搬运工件时间、晶圆工件的等待时间和运输小车的临时性堵塞,提出一种基于匈牙利算法的实时调度方法,并建立工件调度模型。基于300 mm晶圆制造系统数据的仿真结果表明,与传统的Interbay物料运输调度方法相比,该方法能有效提高Interbay物料运输系统的综合性能。

基于模糊逻辑决策的Interbay系统晶圆卡运输成本模型

为了提高晶圆制造Interbay物料运输系统的多目标调度性能,提出了一种基于模糊逻辑决策的晶圆卡运输成本模型。基于300mm晶圆制造系统数据进行仿真实验并与固定权重的晶圆卡运输成本模型进行比较,结果表明采用该模型能获得更优的Interbay系统多目标调度性能,表明论文提出的基于模糊逻辑决策的晶圆卡运输成本模型是有效的。

仓库物料运输系统多目标调度方法

为了提高仓库物料运输系统的效率,建立了考虑任务完成和AGV小车运行时间的多目标的调度模型,并提出了云模型影响下的出入库任务优先级分配策略。在此基础上,利用文化算法对问题进行了求解,讨论了算法的规则设计。最后,仿真结果表明,该算法是可行的,可以获得较好的效果,为AGV小车在仓库物料运输系统的应用提供了一种研究途径。

小转弯半径小直径盾构机物料运输系统设计及应用

小转弯半径小直径隧道盾构法施工中,盾构机物料运输系统是影响施工效率和安全的重要环节,直接影响着项目总体进度及安全文明施工要求。常规物料运输系统存在隧道拼装区域空间小、人员通行及操作不便、隧道掉渣严重、设备故障率高、施工效率低、结构过长无法适应小转弯半径等问题。本文以某电力隧道工程项目为例,针对小转弯半径隧道特点,通过理论分析模拟,创新性取消管片运输小车,采用管片卸载器、一次单梁吊机、二次双梁吊机结合的管片运输系统,配合前置关节轴承螺旋输送机、浮动可调节式带式输送机渣土输送系统,实现物料运输安全高效、运行顺畅、清洁文明的要求。

浅析晶圆制造自动化物料运输系统调度研究现状

自动化物料运输系统(Automatic Material Handling System,AMHS)在晶圆制造中扮演着非常重要的角色,已成为晶圆制造工厂不可或缺的组成部分。晶圆制造AMHS具有运输任务规模庞大、运输需求随机、任务实时性要求高等特点,通过调度优化可显著提高AMHS及晶圆制造系统运行效率。对晶圆制造AMHS调度方法研究现状进行了简单总结,并指出了AMHS调度进一步的研究方向。

创新和自动化:物料搬运技术发展永恒的主题和动力——2007亚洲国际物流技术与运输系统展览会CeMAT ASIA全新奉献

从2002年的“物料搬运联盟”，2003年的“电子看板”，到今年的“创新与自动化”，“亚洲国际物流技术与运输系统展览会”都在进行着每一次的超越和提升，这给亚洲、尤其是中国市场带来全新的物流理念，带动技术的更新和产业的变革。

创新和自动化:物料搬运技术 发展永恒的主题和动力——2007亚洲国际物流技术与运输系统展览会CeMAT ASIA全新奉献

从2002年的“物料搬运联盟”,2003年的“电子看板”,到今年的“创新与自动化”,“亚洲国际物流技术与运输系统展览会”都在进行着每一次的超越和提升,这给亚洲，尤其是中国市场带来全新的物流理念，带动技术的更新和产业的变革。

创新和自动化：物料搬运技术发展永恒的主题和动力——2007亚洲国际物流技术与运输系统展览会CeMAT ASIA全新奉献

从2002年的“物料搬运联盟”、2003年的“电子看板”，到今年的“创新与自动化”、“亚洲国际物流技术与运输系统展览会”都在进行着每一次的超越和提升，这给亚洲尤其是中国市场带来全新的物流理念，带动技术的更新和产业的变革。