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Instantaneous phase-stepping interferometry based on a pixelated micro-polarizer array
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作者 Satoru Yoneyama Shuichi Arikawa 《Theoretical & Applied Mechanics Letters》 CAS CSCD 2016年第4期162-166,共5页
In this paper, we propose an instantaneous phase-stepping method for determining phase distribution of interference fringes utilizing a camera that is equipped with a micro-polarizer array on the sensor plane. An opti... In this paper, we propose an instantaneous phase-stepping method for determining phase distribution of interference fringes utilizing a camera that is equipped with a micro-polarizer array on the sensor plane. An optical setup of polarization interferometry using a Mach-Zehnder interferometer with two polarizers is constructed. Light emerging from the interferometer is recorded using a camera that has a micro-polarizer array. This micro-polarizer array has four different optical axes. That is, an image obtained by the camera contains four types of information corresponding to four different optical axes of the polarizer. The four images separated from the image recorded by the camera are reconstructed using gray level interpolation. Subsequently, the distributions of the Stokes parameters that represent the state of polarization are calculated from the four images. The phase distribution of the interference fringe pattern produced by the Mach-Zehnder interferometer is then obtained from these Stokes parameters, The effectiveness of the proposed method is demonstrated by measuring a static carrier pattern and time-variant fringe patterns. It is emphasized that this method is applicable to time-variant phenomena because multiple exposures are unnecessary for sufficient data acquisition in the completion of the phase analysis. 展开更多
关键词 Instantaneous phase-stepping method Mach-Zehnder interferometry Micro-polarizer array Polarization Fringe Crack
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Diagnosis of the surface morphology of laser-ablated materials using the weightedDCT approach in laser speckle interferometry for application to plasma facing materials
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作者 李元博 王宏北 +3 位作者 崔晓倩 李树华 赵栋烨 丁洪斌 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第9期122-131,共10页
To implement on-line, real-time monitoring for the surface morphology of Plasma-Facing Materials(PFMs) in tokamak, we developed a Laser Speckle Interferometry measurement approach. A laser ablation method was used to ... To implement on-line, real-time monitoring for the surface morphology of Plasma-Facing Materials(PFMs) in tokamak, we developed a Laser Speckle Interferometry measurement approach. A laser ablation method was used to simulate the erosion process during Plasma-Wall Interactions in a tokamak. In the present investigation, we evaluated the results of laser ablation morphology changes on the surface of Mo material reconstructed by four different approaches(Flood-fill, Quality-guided, Discrete Cosine Transform(DCT) and Weighted-DCT). The morphology results measured by the weighted-DCT approach are very close to the measurement results from confocal microscopy with an average error rate within 7%. It is verified that the weighted-DCT algorithm has high accuracy and can efficiently reduce the influence of noise pollution coming from laser ablation, which is used as a proxy for erosion from plasma wall interaction. Additionally, the CPU computer time has been shortened. This is of great significance for the real-time monitoring of PFMs’ morphology in the Experimental Advanced Superconducting Tokamak(EAST) in the future. 展开更多
关键词 TOKAMAK fusion plasma-wall INTERACTIONS LASER SPECKLE interferometry topographical reconstruction algorithms
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Spatial phase-shifting interferometry with compensation of geometric errors based on genetic algorithm(Invited Paper) 被引量:2
3
作者 Joonku Hahn Hwi Kim +2 位作者 Yongjun Lim Eun-Hee Kim Byoungho Lee 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第12期1113-1116,共4页
We propose a novel spatial phase-shifting interferometry that exploits a genetic algorithm to compensate for geometric errors. Spatial phase-shifting interferometry is more suitable for measuring objects with properti... We propose a novel spatial phase-shifting interferometry that exploits a genetic algorithm to compensate for geometric errors. Spatial phase-shifting interferometry is more suitable for measuring objects with properties that change rapidly in time than the temporal phase-shifting interferometry. However, it is more susceptible to the geometric errors since the positions at which interferograms are collected are different. In this letter, we propose a spatial phase-shifting interferometry with separate paths for object and reference waves. Also, the object wave estimate is parameterized in terms of geometric errors, and the error is compensated by using a genetic algorithm. 展开更多
关键词 Spatial phase-shifting interferometry with compensation of geometric errors based on genetic algorithm
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基于主成分分析和VU分解法的两步随机相移算法
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作者 张宇 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第2期227-237,共11页
为了平衡相位计算的精度和速度,大量的两步随机相移算法发展起来。提出了一种基于主成分分析和VU分解法的快速、高精度两步随机相移算法。首先,采用两步主成分分析法对经过滤波的两幅相移干涉图进行计算求出迭代初始相位;然后,利用没有... 为了平衡相位计算的精度和速度,大量的两步随机相移算法发展起来。提出了一种基于主成分分析和VU分解法的快速、高精度两步随机相移算法。首先,采用两步主成分分析法对经过滤波的两幅相移干涉图进行计算求出迭代初始相位;然后,利用没有滤波的两幅相移干涉图进行VU分解、迭代求出最终相位。通过模拟和实验结果对比表明:与四种性能良好的两步随机相移算法相比,对于不同的条纹类型、噪声、相移值及条纹数量,提出的算法综合性能最好,其精度最高,有效相移范围和有效条纹数量范围最大,当干涉图像素数为401 pixel×401 pixel时,提出的算法仅比格兰-施密特正交化法和两步主成分分析法多花费0.035 s。在理想情况下,提出的算法可以得到完全正确的结果。如果需要得到较高精度,最好能够提前抑制噪声,同时设置相移值远离0和π,条纹数量大于2。主成分分析和VU分解法无需滤波,花费近似非迭代算法的时间获得迭代算法的精度,其打破了迭代算法花费时间较多的限制,适合高精度光学在线检测,有广泛的发展前景。 展开更多
关键词 测量 干涉 相移算法 迭代算法 主成分分析
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Measurement of large aspheric surfaces by annular subaperture stitching interferometry 被引量:18
5
作者 王孝坤 王丽辉 +3 位作者 殷龙海 张斌智 范镝 张学军 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2007年第11期645-647,共3页
A new method for testing aspheric surfaces by annular subaperture stitching interferometry is introduced. It can test large-aperture and large-relative-aperture aspheric surfaces at high resolution, low cost, and high... A new method for testing aspheric surfaces by annular subaperture stitching interferometry is introduced. It can test large-aperture and large-relative-aperture aspheric surfaces at high resolution, low cost, and high efficiency without auxiliary null optics. The basic principle of the method is described, the synthetical optimization stitching model and effective algorithm are established based on simultaneous least-square fitting. A hyperboloid with an aperture of 350 mm is tested by this method. The obtained peak-to-valley (PV) and root-mean-square (RMS) values of the surface error after stitching are 0.433A and 0.052A (A is 632.8 nm), respectively. The reconstructed surface map is coincide with the entire surface map from null test, and the difference of PV and RMS errors between them are 0.031A and 0.005A, respectively. This stitching model provides another quantitive method for testing large aspheric surfaces besides null compensation. 展开更多
关键词 algorithmS ASPHERICS interferometry Light measurement Mean square error
原文传递
基于迭代优化的两帧随机相移干涉术
6
作者 刘畅 杜虎兵 +2 位作者 冯雷洁 严兴旭 张高鹏 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第2期21-30,共10页
提出了一种由粗及精的无需预滤波的两帧先进迭代随机相移技术。基于最小化残差背景,首先利用采集条纹图的相关运算,在近似正交条件下估计相移和相位;然后利用这些求解过程中的中间参数在空域由条纹图数据估计相移和背景;最后,迭代上述... 提出了一种由粗及精的无需预滤波的两帧先进迭代随机相移技术。基于最小化残差背景,首先利用采集条纹图的相关运算,在近似正交条件下估计相移和相位;然后利用这些求解过程中的中间参数在空域由条纹图数据估计相移和背景;最后,迭代上述过程直至收敛到预定义的精度,从而实现相位的精确求解。针对条纹图空域背景和振幅变化问题,利用条纹图子图降低背景空域变化对背景和相移估计的影响,并减小运算量。与现有的方法相比,本文方法由于提供了正确的初值,具有收敛快、计算快的特点。本文方法简单可靠,是一种实用的两帧相移干涉方法。 展开更多
关键词 迭代相移算法 两帧相移技术 随机相移 干涉 相位
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黏弹性VTI介质微地震数据目标导向裂缝染色逆时偏移
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作者 刘英昌 唐杰 +1 位作者 高翔 孙成禹 《地球物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第7期3060-3075,共16页
水力压裂技术能够改善储层中裂缝的连通性,实现致密储层油气增产,利用压裂过程中产生的微地震事件进行裂缝偏移成像有助于评价水力压裂效果.水力压裂通常在具有黏弹性和各向异性的页岩油气储层中进行,地震波传播过程中会发生具有方向性... 水力压裂技术能够改善储层中裂缝的连通性,实现致密储层油气增产,利用压裂过程中产生的微地震事件进行裂缝偏移成像有助于评价水力压裂效果.水力压裂通常在具有黏弹性和各向异性的页岩油气储层中进行,地震波传播过程中会发生具有方向性的衰减,此外微地震震源及检波器通常分布在有限区域内,导致偏移剖面上存在远场照明较差和成像干扰的问题,难以有效进行裂缝描述.本文提出了一种黏弹性VTI介质目标导向逆时偏移裂缝成像方法,首先推导了黏弹性VTI介质染色波动方程并提出了多组偏移剖面互相关染色成像条件,然后通过裂缝逆时偏移成像测试分析了微地震数据信噪比、介质参数和事件定位精度对偏移结果的影响,最后结合地震干涉法减轻了定位误差造成的干扰.数值模拟实验表明,目标导向的染色逆时偏移成像算法能够有效压制成像剖面中的伪影干扰,改善目标区域照明,提高裂缝成像的空间分辨率. 展开更多
关键词 染色算法 各向异性衰减补偿 多组偏移互相关 裂缝成像 地震干涉
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基于中值对消ACSI算法的机载雷达杂波抑制研究 被引量:2
8
作者 李哲 王伟 +2 位作者 赵娟 党腾飞 卢珊珊 《火控雷达技术》 2023年第1期151-157,共7页
杂波抑制干涉(Clutter Suppression Interference,CSI)是一种常见的雷达信号处理方法,其高效抑制雷达接收回波中的地杂波干扰,可大大提高机载合成孔径雷达地面动目标指示(SAR/GMTI)的信杂噪比。然而,由于杂波抑制算法要实时进行大量滤... 杂波抑制干涉(Clutter Suppression Interference,CSI)是一种常见的雷达信号处理方法,其高效抑制雷达接收回波中的地杂波干扰,可大大提高机载合成孔径雷达地面动目标指示(SAR/GMTI)的信杂噪比。然而,由于杂波抑制算法要实时进行大量滤波权系数的计算,因此其在工程中的实现较为困难。基于此研究背景,本文对机载雷达地杂波进行了建模,分析了CSI、ACSI(Adaptive Clutter Suppression Interference)和中值对消ACSI三种杂波抑制算法的原理和性能,并进行了工程实现。由工程实验结果可知,三种算法均可提高机载雷达信杂噪比,从而提高动目标识别能力,其中中值对消ACSI算法虚警概率最低,性能提升最大。 展开更多
关键词 机载雷达 杂波抑制干涉 SAR-GMTI 中值对消ACSI算法
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基于TerraSAR-X/TanDEM-X数据的森林高度反演算法研究
9
作者 申晨 岳彩荣 +2 位作者 章皖秋 朱腾 张金兰 《林业调查规划》 2023年第2期16-25,共10页
基于RVoG模型,对传统三阶段算法及其改进算法进行研究,以云南省西双版纳州勐腊县为研究区,以TerraSAR-X/TanDEM-X数据为数据源进行森林高度反演算法研究,并结合野外实测数据进行结果验证。结果表明,三阶段改进算法对森林高度反演精度优... 基于RVoG模型,对传统三阶段算法及其改进算法进行研究,以云南省西双版纳州勐腊县为研究区,以TerraSAR-X/TanDEM-X数据为数据源进行森林高度反演算法研究,并结合野外实测数据进行结果验证。结果表明,三阶段改进算法对森林高度反演精度优于传统三阶段算法。三阶段改进算法对天然林高度反演精度较高;三阶段算法对橡胶林高度反演精度较高。 展开更多
关键词 森林高度反演算法 TerraSAR-X/TanDEM-X数据 极化干涉SAR 散射机制 平地效应
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微小球面曲率半径的测量研究 被引量:23
10
作者 徐永祥 陈磊 +1 位作者 朱日宏 李新华 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期1159-1162,共4页
验证了测量平面面形误差的重叠四步平均算法(OAF)应用于测量微小球面曲率半径的可行性。采用Linnik显微移相干涉装置,测量了光纤连接器端面的曲率半径,给出了测量数据及处理结果;通过对已知曲率半径的标准微小凸球面样板的测量,得到相... 验证了测量平面面形误差的重叠四步平均算法(OAF)应用于测量微小球面曲率半径的可行性。采用Linnik显微移相干涉装置,测量了光纤连接器端面的曲率半径,给出了测量数据及处理结果;通过对已知曲率半径的标准微小凸球面样板的测量,得到相对误差为0.093%。同时,从理论上对OAF和其他算法对PZT位移误差的抑制能力作了分析比较。结果表明,OAF算法可用于微小球面曲率半径的测量,且相对于其他算法而言,其对PZT位移误差具有更强的抑制能力。 展开更多
关键词 显微干涉 移相干涉术 算法 曲率半径 光纤连接器
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液晶空间光调制器的纯相位调制特性研究 被引量:31
11
作者 刘伯晗 张健 吴丽莹 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期213-217,共5页
介绍了液晶空间光调制器的纯相位调制原理,采用泰曼-格林干涉系统对液晶纯相位特性进测试。针对BNS(Boulder Nonlinear Systems)公司的专利产品-256256像素纯相位空间光调制器的相位与电压(灰度)的响应曲线。给出了对任意图形进行相位... 介绍了液晶空间光调制器的纯相位调制原理,采用泰曼-格林干涉系统对液晶纯相位特性进测试。针对BNS(Boulder Nonlinear Systems)公司的专利产品-256256像素纯相位空间光调制器的相位与电压(灰度)的响应曲线。给出了对任意图形进行相位恢复的优化算法流程,利用纯相位调制方法对光束进行方向和强度的快速程序控制。设计了实验装置,实际产生了二维任意衍射图形,图形产生时间小于200 ms。本研究对空间目标进行扫描跟踪,具有精确、响应快、无机械惰性等特点,在激光寻的、制导以及多目标威胁预警和反击中有着重要的研究价值。 展开更多
关键词 空间光调制器 干涉术 优化算法 相位调制
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航天飞机极化干涉雷达数据反演地表植被参数 被引量:22
12
作者 李新武 郭华东 +2 位作者 廖静娟 王长林 阎福礼 《遥感学报》 EI CSCD 北大核心 2002年第6期424-429,共6页
利用基于极化干涉测量的基本原理和相干散射模型,提出了基于模拟加温-退火算法的极化干涉雷 达数据地表植被参数的反演算法。首先,对极化干涉测量的基本原理和一个考虑了地表和植被散射的二层相 干散射模型进行了阐述。接着,对模拟退火... 利用基于极化干涉测量的基本原理和相干散射模型,提出了基于模拟加温-退火算法的极化干涉雷 达数据地表植被参数的反演算法。首先,对极化干涉测量的基本原理和一个考虑了地表和植被散射的二层相 干散射模型进行了阐述。接着,对模拟退火算法的基本理论和基于模拟加温-退火算法的地表植被参数反演 模型进行了论述。最后,利用和田地区1994年10月9日和10日的航天飞机SIR-C L波段单视散射矩阵复数 据进行了地表植被参数反演的计算,将反演结果与实测数据比较,表明该反演算法能以较好的精度获取地表 植被的高度。 展开更多
关键词 极化干涉测量 相干散射模型 加温-巡火算法 反演 微波遥感 地表植被
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基于干涉显微原理的表面形貌测量系统 被引量:10
13
作者 王海珊 史铁林 +2 位作者 廖广兰 刘世元 张文栋 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期84-89,共6页
根据光学干涉显微法原理,设计开发了一套微纳结构表面形貌测量系统。该系统采用林尼克干涉显微镜,通过参考镜扫描的方法将扫描器与相移器集为一体,分别采用五步相移算法和基于采样定理的包络均方函数(SEST)算法实现相移干涉法(PSI)和垂... 根据光学干涉显微法原理,设计开发了一套微纳结构表面形貌测量系统。该系统采用林尼克干涉显微镜,通过参考镜扫描的方法将扫描器与相移器集为一体,分别采用五步相移算法和基于采样定理的包络均方函数(SEST)算法实现相移干涉法(PSI)和垂直扫描干涉法(VSI)两种模式对微纳结构的表面形貌测量。为验证该系统性能,采用标准多刻线样板和标准台阶作为样件对VSI和PSI两种模式分别进行了测量实验。结果证明,该系统能够完成微纳结构表面形貌的快速精确测量,可以满足微电子、微机电系统中微纳结构的表面形貌测量要求。 展开更多
关键词 相移干涉法 垂直扫描干涉法 林尼克干涉结构 五步相移算法 SEST算法
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几种卫星合成孔径雷达影像配准算法的比较研究 被引量:13
14
作者 罗小军 刘国祥 +1 位作者 黄丁发 丁晓利 《测绘科学》 CSCD 北大核心 2006年第1期19-21,共3页
复数影像配准是卫星合成孔径雷达干涉数据处理中的重要步骤之一,影像配准精度将直接影响干涉条纹图的质量和由此提取的高程或位移结果的精度。文中利用上海地区ERS-1/2影像数据进行实验,对比分析了三种方法的配准质量和运算效率,试验结... 复数影像配准是卫星合成孔径雷达干涉数据处理中的重要步骤之一,影像配准精度将直接影响干涉条纹图的质量和由此提取的高程或位移结果的精度。文中利用上海地区ERS-1/2影像数据进行实验,对比分析了三种方法的配准质量和运算效率,试验结果表明:在配准质量方面,相干系数法最高,相位差影像平均波动函数法次之;而在信噪比较低的情况下,最大频谱法的配准质量优于相位差影像平均波动函数法。在运算效率方面,相位差影像平均波动函数法的运算效率最高。 展开更多
关键词 合成孔径雷达干涉 SAR影像 配准 算法比较
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波长移相干涉仪的算法研究(英文) 被引量:7
15
作者 于瀛洁 张本好 焦云芳 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2003年第6期560-566,共7页
叙述了波长移相干涉仪的基本原理,分析了其特点,对传统硬件移相干涉仪和波长移相干涉仪进行了比较,指出了它们的优缺点和应用范围。以美国NewFocus公司的可调谐半导体激光器为例,简述了实现波长调谐的硬件。文中将波长移相干涉仪算法分... 叙述了波长移相干涉仪的基本原理,分析了其特点,对传统硬件移相干涉仪和波长移相干涉仪进行了比较,指出了它们的优缺点和应用范围。以美国NewFocus公司的可调谐半导体激光器为例,简述了实现波长调谐的硬件。文中将波长移相干涉仪算法分成三类:加权多步波长移相算法、基于傅里叶变换的波长移相算法和多波长算法,对这三类算法进行了较详细的叙述和分析,指出了各自的优缺点和应用范围。基于傅里叶变换的波长移相算法,提出了结合差分运算的适合于台阶测量的新算法,克服了已有算法中需要参考基准和参考面的缺点,提高了算法的实用性。 展开更多
关键词 相移干涉术 波长调谐 移相算法 波长移相干涉仪
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以环形子孔径法检测大口径非球面主镜的研究进展 被引量:4
16
作者 侯溪 伍凡 +2 位作者 杨力 吴时彬 陈强 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期705-708,共4页
环形子孔径法是一种无需辅助元件就能实现对大口径、大相对口径非球面检测的“柔性”测试技术。介绍了该技术的工作原理,对两种分别基于测量相位值和Zernike多项式系数的拼接算法进行了仿真分析,并进行了初步的原理性实验验证。结果表... 环形子孔径法是一种无需辅助元件就能实现对大口径、大相对口径非球面检测的“柔性”测试技术。介绍了该技术的工作原理,对两种分别基于测量相位值和Zernike多项式系数的拼接算法进行了仿真分析,并进行了初步的原理性实验验证。结果表明该技术是切实可行的,具有检测大口径非球面镜的潜能。最后,在对现有研究结果综合分析的基础上,提出了应用该技术检测m量级非球面主镜的实验方案。 展开更多
关键词 光学测量 干涉计量 大口径非球面 环形子孔径 拼接算法
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剪切干涉测量中基于Zernike多项式的自适应波前重建 被引量:3
17
作者 刘晓军 高咏生 +1 位作者 章明 李柱 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期252-255,共4页
提出一种剪切干涉测量中被测波前重建的新方法。该方法基于Zernike多项式最小二乘拟合的基本原理 ,通过自适应的方式来确定波前重建表达式。推导出剪切相位 Zernike多项式系数与被测波前 Zernike多项式系数的直接转换矩阵 ,提出了自适... 提出一种剪切干涉测量中被测波前重建的新方法。该方法基于Zernike多项式最小二乘拟合的基本原理 ,通过自适应的方式来确定波前重建表达式。推导出剪切相位 Zernike多项式系数与被测波前 Zernike多项式系数的直接转换矩阵 ,提出了自适应确定多项式级次的新算法 ,给出了相应的波前重建数学模型。对算法进行了计算机模拟 ,并应用于实际剪切干涉测量 。 展开更多
关键词 剪切干涉测量 横向剪切干涉 ZERNIKE多项式 波前重建 自适应算法
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用干涉合成孔径雷达技术获取地表三维信息 被引量:14
18
作者 王风 PRINET Veronique 马颂德 《自动化学报》 EI CSCD 北大核心 2002年第4期527-534,共8页
干涉合成孔径雷达已广泛应用于产生高精度的数字高度模型、测量地表形变等领域 .介绍了干涉合成孔径雷达的基本原理和相关领域的历史发展 ,并就干涉合成孔径雷达技术的处理过程总结了如何利用干涉合成孔径雷达技术获取地表三维信息 .对... 干涉合成孔径雷达已广泛应用于产生高精度的数字高度模型、测量地表形变等领域 .介绍了干涉合成孔径雷达的基本原理和相关领域的历史发展 ,并就干涉合成孔径雷达技术的处理过程总结了如何利用干涉合成孔径雷达技术获取地表三维信息 .对处理过程中的关键技术——干涉图象的相位展开做了详细讨论 ,概括、分析、比较了近年来发表的大量的相位展开算法 ,总结了各方法的优缺点 ,指出了问题所在 .最后就国内、外在未来研究与应用方面的发展趋势及前景做了简要论述 . 展开更多
关键词 干涉合成孔径雷达 地表三维信息 数字高度模型 干涉图象 相位展开
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测量微悬臂梁曲率的相移显微干涉法 被引量:6
19
作者 黄玉波 栗大超 +3 位作者 胡小唐 傅星 张文栋 胡春光 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第9期1398-1403,共6页
提出了一种基于显微干涉和有限差分法在微悬臂梁上实现曲率精确测量的方法。该方法将使用相移显微干涉法测得的微悬臂梁表面弯曲信息与用有限差分法解析的弯曲量进行对比,再运用拟牛顿算法或最小二乘法得到曲率的最佳匹配值。实验结果表... 提出了一种基于显微干涉和有限差分法在微悬臂梁上实现曲率精确测量的方法。该方法将使用相移显微干涉法测得的微悬臂梁表面弯曲信息与用有限差分法解析的弯曲量进行对比,再运用拟牛顿算法或最小二乘法得到曲率的最佳匹配值。实验结果表明:使用该方法可获得弯曲量测量值和解析值之间的均方根差值在1.5 nm以内的精确曲率值,并且一定的像素偏移带来的误差对曲率测量的结果影响很小。由于方法保留了光学干涉法高分辨率及高精度等优点,并考虑了非理想边界条件的影响,在MEMS残余应力和应力梯度测量中具有较大实用价值。 展开更多
关键词 显微干涉法 曲率测量 有限差分法 拟牛顿算法 最小二乘法
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用于子孔径拼接干涉系统的机械误差补偿算法 被引量:11
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作者 张敏 隋永新 杨怀江 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期934-940,共7页
针对拼接干涉检测系统机械定位精度引起的各子孔径间的相对定位误差,提出了含定位误差补偿项的全局最优化拼接算法。介绍了该算法原理,从理论上分析了该算法拟合出的平移和旋转定位系数的精度。结合MetroPro和Matlab软件仿真模拟实验,... 针对拼接干涉检测系统机械定位精度引起的各子孔径间的相对定位误差,提出了含定位误差补偿项的全局最优化拼接算法。介绍了该算法原理,从理论上分析了该算法拟合出的平移和旋转定位系数的精度。结合MetroPro和Matlab软件仿真模拟实验,分析了机械定位误差对拼接检测精度的影响。实验表明:拟合出的平移定位系数精度高于旋转定位系数精度,与理论分析一致;相对于一般算法,该算法对机械误差有较强的免疫力。在搭建的拼接检测装置上检测了口径为150mm的平面镜,结果显示:拼接结果与干涉仪直接检测的全口径相位残差的分布峰谷值(PV)为0.015 30λ,均方根值(RMS)为0.001 570λ,得到的结果十分接近,验证了该算法稳定可靠,能够合理有效地补偿机械精度引起的子孔径定位误差。 展开更多
关键词 拼接干涉检测 子孔径拼接 机械定位误差 补偿算法 大口径平面镜
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