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经过吸附处理的Ti-Si沸石的IR和UV-Vis光谱研究 被引量:3
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作者 夏清华 高滋 陈国辉 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1995年第3期428-431,共4页
用IR和UV-Vis光谱对Ti-Si沸石吸附H_(2)O、H_(2)O_2、烯丙基氯后的变化情况进行了研究。观察到H_(2)O_2的吸附将引起Ti-Si沸石IR光谱中960cm^(-1)谱带的减弱,同时一个弱带在880cm... 用IR和UV-Vis光谱对Ti-Si沸石吸附H_(2)O、H_(2)O_2、烯丙基氯后的变化情况进行了研究。观察到H_(2)O_2的吸附将引起Ti-Si沸石IR光谱中960cm^(-1)谱带的减弱,同时一个弱带在880cm^(-1)处形成;而在UV-Vis光谱中,吸附H_2O_2将导致一个新的电子跃迁带在425nm处形成。这时若吸附烯丙基氯,则可发现880cm^(-1)的弱带及UV-Vis425nm的宽带会进一步减弱,同时一个新的IR带重又出现在980cm^(-1)处。吸附H_2O_2后导致的IR880cm^(-1)弱带的出现及UV-Vis425nm宽带的出现均证实此时在沸石表面形成了过氧钛物种。推测骨架晶格钛可能在H_2O_2参加的氧化反应中起活性中心作用。 展开更多
关键词 吸附 沸石 过氧化氢
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三元超导化合物Sc_5Ir_4Si_(10)的低温比热性质
2
作者 顾冬梅 王智河 +2 位作者 于广亮 邱里 施智祥 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第A04期49-52,共4页
在零场下2~300K以及不同磁场下2~10K温度范围内,分别测量了超导Sc5Ir4Si10单晶的比热。采用4-Einstein峰拟合声子谱的方法对高温部分进行处理,成功地分离了Sc5Ir4Si10的晶格比热和电子比热。10K以下的比热遵守经典的超导理论,即晶格... 在零场下2~300K以及不同磁场下2~10K温度范围内,分别测量了超导Sc5Ir4Si10单晶的比热。采用4-Einstein峰拟合声子谱的方法对高温部分进行处理,成功地分离了Sc5Ir4Si10的晶格比热和电子比热。10K以下的比热遵守经典的超导理论,即晶格比热与温度的三次方成正比,电子比热符合温度的幂指数关系。4K以下电子比热的磁场关系为ΔCe/T∝Hα,其中α与温度有关。随着温度的降低α的值从0.67增大到0.76,表明Sc5Ir4Si10的超导配对可能是s波和d波混合波,并由d波向s波转化。 展开更多
关键词 Sc5ir4si10单晶 比热 超导电子配对机制
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Si-Al-Ir Oxidation Resistant Coating for Carbon/Carbon Composites by Slurry Dipping 被引量:2
3
作者 Min Huang Kezhi Li +2 位作者 Hejun Li Qiangang Fu Yu Wang 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第3期344-346,共3页
A Si-Al-lr oxidation resistant coating was prepared for SiC coated carbon/carbon composites by slurry dipping. The phase composition, microstructure and oxidation resistance of the as-prepared Si-Al-lr coating were st... A Si-Al-lr oxidation resistant coating was prepared for SiC coated carbon/carbon composites by slurry dipping. The phase composition, microstructure and oxidation resistance of the as-prepared Si-Al-lr coating were studied by XRD (X-ray diffraction), SEM (scanning electron microscopy), and isothermal oxidation test at 1773 K in air, respectively. The surface of the as-prepared Si-Al-lr coating was dense and the thickness was approximately 100 um. Its anti-oxidation property was superior to that of the inner SiC coating. The weight loss of SiC/Si- Al-lr coated carbon/carbon composites was less than 5 wt. pct after oxidation at 1773 K in air for 79 h. The local oxidation defects in the coating may result in the failure of the SiC/Si-Al-Ir coating. 展开更多
关键词 Carbon/carbon composites COATINGS OXIDATION si-Al-ir
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Interstitial Oxygen Determination in Heavily Doped Silicon with "Peak-height" Method by FT-IR Spectra
4
作者 何秀坤 王琴 李光平 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 1993年第1期39-42,共4页
Due to ineffectiveness of routine IR-absorption method for determinahon of intershtial oxygen in heavily doped silicon, a 'peak-height' method has been dcveloped. The phosphorus-doped CZ-Si with n=(7.l~l2)... Due to ineffectiveness of routine IR-absorption method for determinahon of intershtial oxygen in heavily doped silicon, a 'peak-height' method has been dcveloped. The phosphorus-doped CZ-Si with n=(7.l~l2)× 10~17cm^(-3) was taken as sample for characterization. The calculation results at 300 K and 10 K were ptesented in detail. The'peak-height' method is much simpler than 'short-baseline' and 'curved-baseline' methods. 展开更多
关键词 Interstitial oxygen Heavily doped si FT-ir measurement ' Peakheight' method.
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美国Kraton聚合物公司将关闭荷兰SIS和IR装置
5
作者 顾约伦(译) 《高桥石化》 2008年第1期55-55,共1页
位于休斯敦的Kraton聚合物公司在递交美国证券交易委员会的文件中透露了该公司位于荷兰Pernis的苯乙烯一异戊二烯一苯乙烯(SIS)共聚物和异戊橡胶(IR)装置可能在今后几年中关闭的信息。Kraton与Shell化学曾签订协议,由Shell向Krato... 位于休斯敦的Kraton聚合物公司在递交美国证券交易委员会的文件中透露了该公司位于荷兰Pernis的苯乙烯一异戊二烯一苯乙烯(SIS)共聚物和异戊橡胶(IR)装置可能在今后几年中关闭的信息。Kraton与Shell化学曾签订协议,由Shell向Kraton提供异戊二烯。该协议将在2009年12月31日到期,但除非Shell提前24个月向Kraton提出终止的通知,协议将自动更新。据了解Shell正在计划关闭其在Pernis的异戊二烯装置,因此将无法更新供应异戊二烯的合同。 展开更多
关键词 美国Kraton聚合物公司 装置 关闭 荷兰 siS 美国证券交易委员会 异戊二烯 ir
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Si—Al—Zr—O系非晶原位晶化过程中的拉曼光谱和红外光谱研究 被引量:5
6
作者 谭小平 梁叔全 +2 位作者 柴立元 张国威 张勇 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期123-126,共4页
借助Raman,IR和XRD等技术探讨了Si—Al—Zr—O系非晶在原位受控晶化过程中微结构变化。结果表明,Si—Al—Zr—O系非晶在920℃左右出现网络结构重整,形成了富Si区和富Zr和Al区。在920~950℃间,从富Zr区析出初晶相四方氧化锆,并从富Al区... 借助Raman,IR和XRD等技术探讨了Si—Al—Zr—O系非晶在原位受控晶化过程中微结构变化。结果表明,Si—Al—Zr—O系非晶在920℃左右出现网络结构重整,形成了富Si区和富Zr和Al区。在920~950℃间,从富Zr区析出初晶相四方氧化锆,并从富Al区形成Al—Si尖晶石相。随着温度进一步升高,Al—Si尖晶石衍射峰先增强随后消失,同时在1200~1100,1000~700和650~400cm-1观察到莫来石的红外特征峰;当温度升高至1100~1150℃,出现了单斜氧化锆的拉曼特征峰179和193cm-1,同时形成了方石英,四方氧化锆和莫来石成为主晶相。说明在热处理过程中,Al不是以三氧化二铝形式析出而是先形成过渡Al—Si尖晶石相,随后与非晶二氧化硅反应形成莫来石晶相,Zr首先以四方氧化锆析出,高温下有小部分四方氧化锆发生相变转化为单斜相,其中过剩的非晶二氧化硅转化为方石英。 展开更多
关键词 si—Al—Zr—O系非晶 红外光谱 拉曼光谱 微结构变化
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HWCVD工艺参数对a-Si∶H薄膜结构及其对单晶硅片钝化效果的影响研究 被引量:5
7
作者 何玉平 黄海宾 +3 位作者 周浪 宁武涛 袁吉仁 李丹 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第22期22067-22070,22073,共5页
采用HWCVD法双面沉积a-Si∶H膜钝化n-Cz-Si片表面,利用光谱型椭偏测试仪和傅里叶红外光谱仪研究沉积气压、电流和热丝衬底间距对a-Si∶H薄膜结构及钝化性能的影响。结果表明,(1)薄膜中SiH2键相对SiH键含量随气压升高逐渐减少,随电流增... 采用HWCVD法双面沉积a-Si∶H膜钝化n-Cz-Si片表面,利用光谱型椭偏测试仪和傅里叶红外光谱仪研究沉积气压、电流和热丝衬底间距对a-Si∶H薄膜结构及钝化性能的影响。结果表明,(1)薄膜中SiH2键相对SiH键含量随气压升高逐渐减少,随电流增大先减少后增大;(2)热丝衬底间距4.0cm相比7.5cm沉积的a-Si∶H薄膜微观结构中,SiH2键相比SiH键的比例更高,钝化效果也更好;(3)本文范围内,工艺参数分别为热丝衬底间距4.0cm时气压1.5Pa,沉积电流21.5A情况下钝化效果最优,钝化后硅片的表面复合速率为2.9cm/s。 展开更多
关键词 HWCVD a-si∶H 钝化 ε_(2) FT-ir siH_(n) 微观结构参数R^(*)
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共混物IR/CR/苯乙烯类嵌段共聚物的结构与性能研究 被引量:5
8
作者 廖明义 《橡胶工业》 CAS 北大核心 1997年第7期387-392,共6页
选择苯乙烯-异戊二烯-苯乙烯嵌段共聚物(SIS)、苯乙烯-丁二烯-苯乙烯嵌段共聚物(SBS)和α-甲基苯乙烯-丁二烯-α-甲基苯乙烯嵌段共聚物(MSBMS)3种苯乙烯类嵌段共聚物作为相容剂,通过理论预测和试验测试,研... 选择苯乙烯-异戊二烯-苯乙烯嵌段共聚物(SIS)、苯乙烯-丁二烯-苯乙烯嵌段共聚物(SBS)和α-甲基苯乙烯-丁二烯-α-甲基苯乙烯嵌段共聚物(MSBMS)3种苯乙烯类嵌段共聚物作为相容剂,通过理论预测和试验测试,研究了它们对IR/CR共混物网络结构和力学性能的影响。结果表明,加入SIS,SBS和MSBMS可以明显提高硫化胶的弹性常数2C1和2C2以及拉伸强度,减小体系的损耗因子。3种共聚物的作用效果顺序为:SIS>SBS≥MSBMS。SIS的最佳用量为3~7份。 展开更多
关键词 共混物 结构 氯丁橡胶 苯乙烯 异戊二烯 丁二烯
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仪器法测定Si-全甲基环硅氮烷的研究 被引量:1
9
作者 杜定准 柯玉萍 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 1993年第2期234-240,共7页
采用~1H NMR、IR和熔点测定法对含八甲基环四硅氮烷(Ⅰ)和六甲基环三硅氮烷(Ⅱ)的固体样品和液体样品进行了定性鉴定。对样品的~1H NMR谱进行了深入解析,纠正了Sadtler标准谱集对NH峰的错误解析。还提出一种以精制的过氧化苯甲酰(BPO)... 采用~1H NMR、IR和熔点测定法对含八甲基环四硅氮烷(Ⅰ)和六甲基环三硅氮烷(Ⅱ)的固体样品和液体样品进行了定性鉴定。对样品的~1H NMR谱进行了深入解析,纠正了Sadtler标准谱集对NH峰的错误解析。还提出一种以精制的过氧化苯甲酰(BPO)为内标的NMR定量测定方法。用此法获得了Si-甲基环四或环三硅氮烷的纯度、含氮量质量指标及其杂质含量。 展开更多
关键词 甲基环硅氮烷 测定 仪器法
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Characterization of Surface State of Inert Particles: Case of Si and SiC
10
作者 Désiré M. K. Abro Pierre Dablé +2 位作者 Fernando Cortez-Salazar Véronique Amstutz Hubert Girault 《Journal of Minerals and Materials Characterization and Engineering》 2016年第1期62-72,共11页
Silicon and Silicon carbide particles have been investigated by the mean of infrared (IR) spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) to establish their surface states. The results of this research are bas... Silicon and Silicon carbide particles have been investigated by the mean of infrared (IR) spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) to establish their surface states. The results of this research are based on the estimation of the area under the high resolution peaks by isosceles triangles. This approach leads to the repartition of the particles surfaces in term of atomic percentage and of type of bonds. The surface of silicon particles is divided up into 54.85% of Si-O bonds and 36.85% of Si-Si bonds. The remaining surface is constituted of zeolite, the raw material used to produce the silicon particles. The surface of silicon carbide particles consists of 50.44% of Si-C bonds, 24.01% of Si-O bonds and 25.55% of graphite. 10.01% of the graphite is derived from the oxidation of Si-C bonds while 11.48% is due to contamination. The zeta potential evolution versus pH confirms the distribution of chemical groups found. 展开更多
关键词 ir and XPS Sprectra si siC Surface State Zeta Potential
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老年高血压合并腔隙性脑梗塞患者胰岛素抵抗的临床研究 被引量:7
11
作者 钟忠辉 夏向南 +4 位作者 张丹凤 黄敏 翁向群 徐军霞 林鹏飞 《微循环学杂志》 2005年第1期52-53,共2页
目的 :研究胰岛素抵抗 (IR)与高血压合并腔隙性脑梗塞患者之间的关系。方法 :选取 2 8例高血压合并腔隙性脑梗塞患者作为研究对象 ,测定血糖(FPG)、胰岛素水平 (FINS)、C 肽、总胆固醇 (CH)、甘油三酯 (TG)。另 2 8例正常健康老年人作... 目的 :研究胰岛素抵抗 (IR)与高血压合并腔隙性脑梗塞患者之间的关系。方法 :选取 2 8例高血压合并腔隙性脑梗塞患者作为研究对象 ,测定血糖(FPG)、胰岛素水平 (FINS)、C 肽、总胆固醇 (CH)、甘油三酯 (TG)。另 2 8例正常健康老年人作为对照组。同时计算胰岛素敏感指数 (ISI)。结果 :高血压合并腔隙性脑梗塞患者FINS、C 肽水平显著高于对照组 (P <0 .0 1) ,其ISI较对照组显著降低 (P <0 .0 1)、脑梗死组FINS显著高于正常对照组 (P <0 .0 5) ,其ISI较正常对照组显著降低 (P <0 .0 5)。结论 :老年高血压合并腔隙性脑梗塞患者存在IR ,IR作为腔隙性脑便塞独立危险因素应引起高度重视。 展开更多
关键词 胰岛素抵抗 老年高血压 腔隙性脑梗塞 患者 临床研究 代偿 脂质代谢紊乱 合并 产生 ir
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深亚微米SoC中的电源/地网络设计 被引量:10
12
作者 时昕 王东辉 侯朝焕 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 2004年第12期198-202,206,共6页
随着芯片集成度的不断提高,其上所消耗的功率也在不断增加,因此,电源/地网络设计的可靠性与有效性就成为了SoC设计中一个关键性的问题。以往的设计中,通常都是由设计师根据经验进行电源/地网络的设计,因而可能导致设计效率的降低,延长... 随着芯片集成度的不断提高,其上所消耗的功率也在不断增加,因此,电源/地网络设计的可靠性与有效性就成为了SoC设计中一个关键性的问题。以往的设计中,通常都是由设计师根据经验进行电源/地网络的设计,因而可能导致设计效率的降低,延长了芯片的上市时间。针对这个问题,本文首先介绍了IR压降和电迁移现象的产生原因及其影响因素。其次,提出了一种方法,在芯片物理设计的初始阶段,就对其电源/地网络进行可靠的估算,并在估算的基础上进行电源/地网络的设计,从而在设计的早期确保了电源分配的可靠性,提高了设计效率。最后,本文通过一个DSP&CPU芯片的设计实例,介绍了该方法的使用,并获得了良好的效果。 展开更多
关键词 电源分配 电源网络 电迁移 ir压降 信号完整性 可靠性
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以四丙基溴化铵为模板剂合成TS-1分子筛的研究 被引量:5
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作者 赵琦 韩秀文 +6 位作者 刘秀梅 翟润生 林励吾 包信和 郭新闻 李钢 王祥生 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 1998年第10期906-912,共7页
运用1H→13CCP/MASNMR、29SiMASNMR、IR、XRD和元素分析等表征方法,研究了以四丙基溴化铵(TPABr)为模板剂的合成体系中,Ti酯和模板剂用量以及不同碱源对TS-1分子筛的影响,考察了不同Ti含量固体样品催化丙烯环氧化反应.实验结果... 运用1H→13CCP/MASNMR、29SiMASNMR、IR、XRD和元素分析等表征方法,研究了以四丙基溴化铵(TPABr)为模板剂的合成体系中,Ti酯和模板剂用量以及不同碱源对TS-1分子筛的影响,考察了不同Ti含量固体样品催化丙烯环氧化反应.实验结果表明:随着凝胶中Ti酯用量的增加,制得的分子筛结构对称性由单斜晶系逐渐向正交晶系转变,其丙烯环氧化活性也相应增加.尽管凝胶中所加减源只调变凝胶碱度而不起模板剂作用,然而凝胶的强碱环境对骨架钛原子引入有利.当凝胶中TPABr/SiO2摩尔比值在0.05-0.25之间时,TPABr加入量的变化不影响TS-1分子筛中骨架钛含量. 展开更多
关键词 TPABr 模板剂 钛硅分子筛 催化剂 合成 TS-1
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β-酞酰亚胺基-α-甲基丙酸甲酯的结构分析 被引量:3
14
作者 曾向潮 徐石海 +1 位作者 施文兵 邓芹英 《分析测试学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期58-60,共3页
为研究取代基对Michael式加成反应的影响 ,在相转移催化条件下酞酰亚胺与α_甲基丙烯酸甲酯进行加成反应 ,通过 1HNMR、IR、MS和元素分析对产物结构进行分析 ,确证其为 β_酞酰亚胺基_α_甲基丙酸甲酯 ;分析了所形成的手性碳结构对邻位... 为研究取代基对Michael式加成反应的影响 ,在相转移催化条件下酞酰亚胺与α_甲基丙烯酸甲酯进行加成反应 ,通过 1HNMR、IR、MS和元素分析对产物结构进行分析 ,确证其为 β_酞酰亚胺基_α_甲基丙酸甲酯 ;分析了所形成的手性碳结构对邻位亚甲基核磁共振氢谱的影响 ,并提出了产物分子的碎裂机理。 展开更多
关键词 β-酞酰亚胺基-α-甲基丙酸甲酯 Michael式加成反应 结构分析 核磁共振 红外光谱 质谱
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共聚物相容作用的预测和初步验证 被引量:4
15
作者 廖明义 《橡胶工业》 CAS 北大核心 1997年第9期515-520,共6页
采用HarkinHobbs方程中的分散系数λ对异戊二烯与苯乙烯的三元嵌段共聚物(SIS)和丁二烯与苯乙烯的三元嵌段共聚物(SBS)在IR/CR和IR/BR共混物中的相容作用做了预测,并通过实验进行了验证。结果表明,... 采用HarkinHobbs方程中的分散系数λ对异戊二烯与苯乙烯的三元嵌段共聚物(SIS)和丁二烯与苯乙烯的三元嵌段共聚物(SBS)在IR/CR和IR/BR共混物中的相容作用做了预测,并通过实验进行了验证。结果表明,在IR/CR共混物中加入SIS或SBS后可明显地增大MooneyRivlin方程中的常数2C1,2C2以及橡胶在溶胀体系中的体积分数vk,同时改善共混物的力学性能;而在IR/BR共混物中加入SIS后,对网络结构参数和共混物的力学性能没有明显影响,预测与验证结果显示出一致性,证实了该方法预测的正确性。 展开更多
关键词 共混物 相容剂 橡胶 配方 共聚物
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等离子体源辅助磁控溅射法低温(200℃)制备多晶硅薄膜 被引量:1
16
作者 朱明 苏元军 +1 位作者 范鹏辉 徐军 《真空》 CAS 2012年第3期47-50,共4页
利用电感耦合等离子体辅助中频直流脉冲磁控溅射技术在200℃成功制备出多晶硅薄膜。详细介绍了等离子体源辅助磁控溅射技术制备多晶硅的工艺过程,并对辅助等离子体源放电功率对硅薄膜结晶度的影响进行了研究。利用拉曼散射、X射线衍射... 利用电感耦合等离子体辅助中频直流脉冲磁控溅射技术在200℃成功制备出多晶硅薄膜。详细介绍了等离子体源辅助磁控溅射技术制备多晶硅的工艺过程,并对辅助等离子体源放电功率对硅薄膜结晶度的影响进行了研究。利用拉曼散射、X射线衍射、傅里叶红外光谱对所制备的硅薄膜进行了表征。 展开更多
关键词 多晶硅薄膜 电感耦合等离子体 磁控溅射 拉曼散射 红外光谱
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四生汤抗放射反应作用机制的实验研究
17
作者 凌昌全 陈喆 +1 位作者 陈连起 黄雪强 《中国中西医结合杂志》 CAS CSCD 北大核心 1995年第S1期256-257,398,共3页
在临床研究中,已经发现四生汤具有抗放疗毒副反应,提高机体免疫功能的作用,为了进一步探索该方的作用机理.我们以<sup>60</sup>Co 照射大鼠为实验对象,较系统地观察了四生汤对模型动物神经内分泌免疫网络内各不同层次,不同... 在临床研究中,已经发现四生汤具有抗放疗毒副反应,提高机体免疫功能的作用,为了进一步探索该方的作用机理.我们以<sup>60</sup>Co 照射大鼠为实验对象,较系统地观察了四生汤对模型动物神经内分泌免疫网络内各不同层次,不同环节的影响及对照射大鼠下丘脑β-内啡肽含量的影响。 展开更多
关键词 si Sheng DECOCTION radioreaction ir-β-Endorphin IMMUNITY
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水晶的缺陷与品质鉴定
18
作者 仲维卓 华素坤 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1993年第5期61-65,共5页
介绍了人工水晶的缺陷与品质鉴定;讨论了缺陷的种类和各种缺陷对晶体质量的影响,以及杂质在晶体中的分布和晶体结构之间的关系.对晶体质量的鉴定主要是通过红外吸收谱和干涉仪检查及X射线形貌术来完成的.
关键词 缺陷 水晶 人造石英 质量 鉴定
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四黄降糖颗粒对胰岛素抵抗模型大鼠的剂量依赖性实验研究
19
作者 王永刚 尤金枝 +4 位作者 周晓俊 杨景锋 王礼凤 郑刚 李洁 《现代中医药》 CAS 2013年第2期97-100,共4页
目的探讨四黄降糖颗粒(Si-haung Hypoglycemic Granule,SHHG)对逆转2型糖尿病大鼠胰岛素抵抗的剂量效应关系。方法采用高脂饲料结合链脲佐菌素注射法建立大鼠2型糖尿病胰岛素抵抗模型,随机分为4组,模型组、SSHG低剂量、中剂量和高剂量组... 目的探讨四黄降糖颗粒(Si-haung Hypoglycemic Granule,SHHG)对逆转2型糖尿病大鼠胰岛素抵抗的剂量效应关系。方法采用高脂饲料结合链脲佐菌素注射法建立大鼠2型糖尿病胰岛素抵抗模型,随机分为4组,模型组、SSHG低剂量、中剂量和高剂量组,灌胃治疗1月,进行口服葡萄糖耐量试验(OGTT)、检测空腹血糖(FBG)、血清胰岛素(FIns)、糖化血红蛋白(GHB)、游离脂肪酸(FFA)和C反应蛋白(hs-CRP),计算胰岛素敏感指数(ISI),评价胰岛素抵抗(IR)。结果 SHHG能有效降低FBG、FIns、GHB、FFA和hs-CRP水平而升高ISI(P<0.05),呈剂量依赖性。结论 SHHG能剂量依赖性增加胰岛素抵抗大鼠模型胰岛素敏感性,改善胰岛素抵抗。 展开更多
关键词 四黄降糖颗粒(SHHG) 胰岛素抵抗 剂量依赖性
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富氧氮氧化硅薄膜退火的研究 被引量:4
20
作者 但亚平 岳瑞峰 +3 位作者 王燕 姚永昭 徐杨 刘理天 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期388-393,共6页
利用红外吸收 (IR)谱和 X射线光电子谱 (XPS)对富氧氮氧化硅 (oxygen- rich Si Ox Ny)及其在 6 0 0、75 0和90 0℃下退火后样品的微结构进行了研究 .实验中除观察到 N、H的释放外 ,首次发现退火会导致 Si Ox Ny 中 O的释放 ,同时还发现... 利用红外吸收 (IR)谱和 X射线光电子谱 (XPS)对富氧氮氧化硅 (oxygen- rich Si Ox Ny)及其在 6 0 0、75 0和90 0℃下退火后样品的微结构进行了研究 .实验中除观察到 N、H的释放外 ,首次发现退火会导致 Si Ox Ny 中 O的释放 ,同时还发现退火温度不同 ,H、O、N元素的释放量以及微结构的变化都不相同 ,根据这些现象 ,提出了 展开更多
关键词 富氧氮氧化硅 薄膜 退火
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