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异质外延单晶金刚石的研究进展
被引量:
5
1
作者
王伟华
代兵
+10 位作者
王杨
舒国阳
刘本建
赵继文
李一村
刘康
房诗舒
杨世林
杨磊
韩杰才
朱嘉琦
《中国科学:技术科学》
EI
CSCD
北大核心
2020年第7期831-848,共18页
单晶金刚石具有优异的力、声、热、光、电等性质,而异质外延工艺是制备大尺寸单晶金刚石的一种重要手段.本文以CVD工艺所采用的c-BN、Pt、Si、SiC、Ir复合衬底等不同类型异质衬底为主线,以国内外开展该研究的代表性团队所取得主要成果...
单晶金刚石具有优异的力、声、热、光、电等性质,而异质外延工艺是制备大尺寸单晶金刚石的一种重要手段.本文以CVD工艺所采用的c-BN、Pt、Si、SiC、Ir复合衬底等不同类型异质衬底为主线,以国内外开展该研究的代表性团队所取得主要成果为基础,对该领域多年来的发展历程、最新进展开展评述,主要涉及偏压增强形核技术及晶种处理后高温退火技术等高密度外延金刚石形核工艺及机理,基于台阶流动和向错形成机理的织构生长晶界湮灭过程与工艺调控,横向外延过度生长和离轴衬底生长等用于位错密度降低的工艺等内容,并在最后对该领域的未来发展做出展望.
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关键词
异质外延
单晶金刚石
ir复合衬底
大尺寸
横向外延过度生长
离轴
衬
底
生长
原文传递
题名
异质外延单晶金刚石的研究进展
被引量:
5
1
作者
王伟华
代兵
王杨
舒国阳
刘本建
赵继文
李一村
刘康
房诗舒
杨世林
杨磊
韩杰才
朱嘉琦
机构
哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国家级重点实验室
哈尔滨工业大学分析测试中心
哈尔滨工业大学微系统与微结构制造教育部重点实验室
出处
《中国科学:技术科学》
EI
CSCD
北大核心
2020年第7期831-848,共18页
基金
国家杰出青年科学基金(批准号:51625201)
国家自然科学基金(批准号:51911530123,51702066)
国家重点研发计划(批准号:2016YFE0201600)资助项目。
文摘
单晶金刚石具有优异的力、声、热、光、电等性质,而异质外延工艺是制备大尺寸单晶金刚石的一种重要手段.本文以CVD工艺所采用的c-BN、Pt、Si、SiC、Ir复合衬底等不同类型异质衬底为主线,以国内外开展该研究的代表性团队所取得主要成果为基础,对该领域多年来的发展历程、最新进展开展评述,主要涉及偏压增强形核技术及晶种处理后高温退火技术等高密度外延金刚石形核工艺及机理,基于台阶流动和向错形成机理的织构生长晶界湮灭过程与工艺调控,横向外延过度生长和离轴衬底生长等用于位错密度降低的工艺等内容,并在最后对该领域的未来发展做出展望.
关键词
异质外延
单晶金刚石
ir复合衬底
大尺寸
横向外延过度生长
离轴
衬
底
生长
Keywords
heteroepitaxy
single crystal diamond
ir
multilayer substrate
large-scale
epitaxial lateral overgrowth
off-axis growth
分类号
TQ163 [化学工程—高温制品工业]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
异质外延单晶金刚石的研究进展
王伟华
代兵
王杨
舒国阳
刘本建
赵继文
李一村
刘康
房诗舒
杨世林
杨磊
韩杰才
朱嘉琦
《中国科学:技术科学》
EI
CSCD
北大核心
2020
5
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