期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
原子层沉积制备铱薄膜的特性研究
被引量:
2
1
作者
叶志杰
沈伟东
+4 位作者
章岳光
张兴
袁文佳
李旸晖
刘旭
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第10期311-315,共5页
以乙酰丙酮铱[Ir(acac)3]和高纯氧为前驱体,采用原子层沉积(ALD)方法在基板温度为340℃的石英玻璃和硅基板上制备了金属铱薄膜。采用反射光谱测试仪、X射线电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)等手...
以乙酰丙酮铱[Ir(acac)3]和高纯氧为前驱体,采用原子层沉积(ALD)方法在基板温度为340℃的石英玻璃和硅基板上制备了金属铱薄膜。采用反射光谱测试仪、X射线电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)等手段对不同厚度薄膜的微结构、表面形貌和光学性能进行了研究。结果表明,原子层沉积制备的Ir薄膜中元素纯度较高(大于95%),表面粗糙度低,并呈现多晶纳米颗粒。同时,Ir薄膜在紫外波段表现出较好的光学特性,可以用于制作Ir金属紫外光栅等光学器件。
展开更多
关键词
薄膜
原子层沉积
ir薄膜
光学特性
原文传递
题名
原子层沉积制备铱薄膜的特性研究
被引量:
2
1
作者
叶志杰
沈伟东
章岳光
张兴
袁文佳
李旸晖
刘旭
机构
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第10期311-315,共5页
基金
国家高技术研究发展计划(2012AA040401)
国家自然科学基金(61275161)
+2 种基金
浙江省自然科学基金(LY13F050001)
中央高校基本科研业务费专项资金(2014FZA5004)
江苏省先进光学制造技术重点实验室开放课题(KJS1304)
文摘
以乙酰丙酮铱[Ir(acac)3]和高纯氧为前驱体,采用原子层沉积(ALD)方法在基板温度为340℃的石英玻璃和硅基板上制备了金属铱薄膜。采用反射光谱测试仪、X射线电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)等手段对不同厚度薄膜的微结构、表面形貌和光学性能进行了研究。结果表明,原子层沉积制备的Ir薄膜中元素纯度较高(大于95%),表面粗糙度低,并呈现多晶纳米颗粒。同时,Ir薄膜在紫外波段表现出较好的光学特性,可以用于制作Ir金属紫外光栅等光学器件。
关键词
薄膜
原子层沉积
ir薄膜
光学特性
Keywords
thin films
atomic layer deposition
ir
idium films
optical properties
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
原子层沉积制备铱薄膜的特性研究
叶志杰
沈伟东
章岳光
张兴
袁文佳
李旸晖
刘旭
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
2
原文传递
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部