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高迁移率IWO透明导电氧化物薄膜制备及其退火处理研究 被引量:10
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作者 李桂锋 张群 +1 位作者 王颖华 李喜峰 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期95-98,共4页
采用直流磁控溅射法在清洁玻璃基片上制备了掺钨氧化铟(IWO)透明导电氧化物薄膜。研究了氧分压及其退火处理对IWO薄膜光电性能的影响。实验发现薄膜的光电性能对氧分压非常敏感,退火郸理有助于改善IWO薄膜的电阻率。获得了最小电阻率为2... 采用直流磁控溅射法在清洁玻璃基片上制备了掺钨氧化铟(IWO)透明导电氧化物薄膜。研究了氧分压及其退火处理对IWO薄膜光电性能的影响。实验发现薄膜的光电性能对氧分压非常敏感,退火郸理有助于改善IWO薄膜的电阻率。获得了最小电阻率为2.2×10-4Ω.cm,载流子迁移率为63.5 cm2/V.s,可见光范围平均透射率(含基片)为83.2%的IWO薄膜样品。 展开更多
关键词 iwo 高迁移率 退火处理 磁控溅射
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一种基于扩散映射的化工过程IWO-FCM数据挖掘算法 被引量:10
2
作者 赵小强 周金虎 《兰州理工大学学报》 CAS 北大核心 2014年第3期101-105,共5页
针对实际化工过程数据具有高维、非线性等特征而难以进行聚类分析的问题,提出一种基于扩散映射的IWO-FCM算法.该算法先利用扩散映射提取高维数据的低维流形特征,整合数据的局部特征使原始数据的几何信息得以保留,然后用IWO-FCM算法对低... 针对实际化工过程数据具有高维、非线性等特征而难以进行聚类分析的问题,提出一种基于扩散映射的IWO-FCM算法.该算法先利用扩散映射提取高维数据的低维流形特征,整合数据的局部特征使原始数据的几何信息得以保留,然后用IWO-FCM算法对低维流形数据进行聚类分析.试验通过对TE过程多个故障数据集进行测试,与获取数据低维特征后使用FCM算法相比,结果表明,IWO-FCM算法具有较强的稳定性和鲁棒性,比FCM算法具有更强的寻优能力和更好的收敛效果,聚类效果明显改善,能够快速有效地识别故障特征,验证了其有效性和优越性. 展开更多
关键词 数据挖掘 扩散映射 聚类分析 iwo-FCM TE过程
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基于混合IWO-PSO算法的掘进机截割轨迹规划方法 被引量:9
3
作者 田劼 银晓琦 文艺成 《工矿自动化》 北大核心 2021年第12期55-61,共7页
针对掘进机截割轨迹规划方法准确度低、对掘进设备损耗大的问题,提出了一种基于混合IWO(杂草优化)-PSO(粒子群优化)算法的掘进机截割轨迹规划方法。将截割断面环境分为单夹矸、双夹矸和多夹矸3种,对相应断面进行栅格化并建立栅格地图,... 针对掘进机截割轨迹规划方法准确度低、对掘进设备损耗大的问题,提出了一种基于混合IWO(杂草优化)-PSO(粒子群优化)算法的掘进机截割轨迹规划方法。将截割断面环境分为单夹矸、双夹矸和多夹矸3种,对相应断面进行栅格化并建立栅格地图,采用二值膨胀法对不规则夹矸进行膨胀化处理,并采用混合IWO-PSO算法在3种断面环境中进行轨迹规划。混合IWO-PSO算法以IWO算法中的种子扩散方式为基础,对初始群体进行扩散,在竞争排斥前允许所有个体自由繁殖,使寻优空间的多样化得到有效保障;同时采用PSO算法中的位置迭代更新方式对繁殖的种子位置进行迭代更新,利用群体经验和个体经验对粒子位置进行及时调整,有效提高了算法寻优深度和速度。仿真结果表明,基于混合IWO-PSO算法得到的掘进机截割轨迹长度、二次挖掘栅格数和截割能耗均小于标准PSO算法,对障碍夹矸的规避能力优于标准PSO算法。通过EBZ135型掘进机进行断面截割试验,结果表明,巷道断面成形左侧、右侧、两侧边界误差最大值分别为30,20,50 mm,相对误差分别在2%,1.4%,1.7%内,可满足不同巷道断面环境下的有效避障和成形要求。 展开更多
关键词 掘进机 截割轨迹规划 截割能耗 夹矸 混合iwo-PSO算法 杂草优化 粒子群优化
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基于IWO算法的注塑成型工艺参数研究
4
作者 陈亮 《泰山学院学报》 2015年第3期23-28,共6页
注塑成型是塑制品生产中最常用的生产工艺,而塑制品的收缩比率是影响产品质量的关键因素.本文以聚丙烯(PP)和聚苯乙烯(PS)为原料的塑制品作为研究对象,确定了注塑工艺中影响塑制品收缩比率的相关参数,主要有熔融温度、注射压力、保压压... 注塑成型是塑制品生产中最常用的生产工艺,而塑制品的收缩比率是影响产品质量的关键因素.本文以聚丙烯(PP)和聚苯乙烯(PS)为原料的塑制品作为研究对象,确定了注塑工艺中影响塑制品收缩比率的相关参数,主要有熔融温度、注射压力、保压压力和保压时间,通过数学模型研究了以上参数对PP和PS的影响,采用入侵杂草优化(IWO)算法对参数进一步优化.优化结果表明,该模型和算法有效地解决上述问题. 展开更多
关键词 iwo算法 优化 注塑成型 回归
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SiO2阻挡层对电子束沉积法生长高迁移率IWO薄膜性能的影响 被引量:2
5
作者 任世荣 陈新亮 +4 位作者 张存善 孙建 张晓丹 耿新华 赵颖 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期843-847,共5页
利用电子束沉积技术在玻璃衬底上制备了IWO(In2O3∶WO3)薄膜和SiO2缓冲层,并将SiO2缓冲层对IWO薄膜性能的影响作了探究。SiO2缓冲层在室温生长。SIMS测试表明:SiO2缓冲层能有效阻挡浮法玻璃中的杂质进入到IWO薄膜。实验获得的具有SiO2... 利用电子束沉积技术在玻璃衬底上制备了IWO(In2O3∶WO3)薄膜和SiO2缓冲层,并将SiO2缓冲层对IWO薄膜性能的影响作了探究。SiO2缓冲层在室温生长。SIMS测试表明:SiO2缓冲层能有效阻挡浮法玻璃中的杂质进入到IWO薄膜。实验获得的具有SiO2阻挡层的IWO薄膜的电子迁移率μ~54.5 cm.2V-.1s-1,电阻率ρ~5.86×10-4Ω.cm,电子载流子浓度n~1.95×1020 cm-3,400~1600 nm光谱区域内的平均透过率~76%。 展开更多
关键词 电子束沉积技术 SiO2阻挡层 iwo薄膜 高迁移率
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高迁移率IWO薄膜特性及其在薄膜硅/晶体硅异质结太阳电池中的应用研究 被引量:3
6
作者 沈磊磊 孟凡英 +1 位作者 石建华 刘正新 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第5期1329-1334,共6页
采用反应等离子沉积(RPD)技术在玻璃衬底上制备掺W的In2O3(IWO)薄膜,实验发现氧偏压对薄膜特性影响较大。研究氧偏压对IWO薄膜光电特性的影响,低温条件下制备的薄膜结晶性较好,IWO迁移率达到60.0cm2/(V·s)。经过退火处理后,... 采用反应等离子沉积(RPD)技术在玻璃衬底上制备掺W的In2O3(IWO)薄膜,实验发现氧偏压对薄膜特性影响较大。研究氧偏压对IWO薄膜光电特性的影响,低温条件下制备的薄膜结晶性较好,IWO迁移率达到60.0cm2/(V·s)。经过退火处理后,IWO的迁移率达到120.0 cm2/(V·s)以上。基于X射线衍射(XRD)和变温霍尔效应测试分析,高迁移率主要归因于良好的结晶性以及较低的晶界势垒。最后将优化的IWO薄膜应用到薄膜硅/晶体硅异质结(SHJ)太阳电池中,高迁移率有助于提高电池的短路电流和填充因子,获得高达22.3%的光电转换效率。 展开更多
关键词 透明导电薄膜 iwo 迁移率 异质结太阳电池
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氧分压对IWO薄膜表面形貌及光电性能的影响 被引量:1
7
作者 张远鹏 王文文 +1 位作者 秦诗瑶 于蕾 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第S1期5-8,共4页
掺钨氧化铟(In2O3:W,IWO)薄膜是一种新型的透明导电氧化物(TCO)薄膜,其中W与In之间存在着较高的价态差,使得IWO薄膜与其他TCO薄膜相比,在相同的电阻率条件下具有载流子浓度低、迁移率高和近红外区透射率高的特点.利用直流磁控溅射法制备... 掺钨氧化铟(In2O3:W,IWO)薄膜是一种新型的透明导电氧化物(TCO)薄膜,其中W与In之间存在着较高的价态差,使得IWO薄膜与其他TCO薄膜相比,在相同的电阻率条件下具有载流子浓度低、迁移率高和近红外区透射率高的特点.利用直流磁控溅射法制备了IWO薄膜,利用X射线衍射、扫描电子显微镜、霍尔效应及分光光度计表征了薄膜的表面形貌及光电性能.在工作压力1 Pa、氧分压为2.4×10-1Pa的条件下,实验中制备的IWO薄膜最佳电阻率为6.3×10-4Ω.cm,最高载流子迁移率为34 cm2V-1s-1,载流子浓度达到2.9×1020cm-3,可见光平均透射率约为85%,近红外平均透射率大于80%. 展开更多
关键词 iwo薄膜 直流磁控溅射 氧分压 表面形貌 光电性能
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基于IWO-PSO混合算法的三电平逆变器SHEPWM仿真研究
8
作者 贺润松 廖力 +2 位作者 廖家平 张敏 李蕊 《水电能源科学》 北大核心 2015年第7期192-195,共4页
针对传统粒子群优化(PSO)算法在求解三电平逆变器选择谐波消除脉宽调制(SHEPWM)技术的非线性超越方程组时存在局部收敛、收敛速度慢且计算精度不高的问题,提出了一种基于入侵杂草优化和粒子群优化混合算法(IWO-PSO)的SHEPWM方程组计算方... 针对传统粒子群优化(PSO)算法在求解三电平逆变器选择谐波消除脉宽调制(SHEPWM)技术的非线性超越方程组时存在局部收敛、收敛速度慢且计算精度不高的问题,提出了一种基于入侵杂草优化和粒子群优化混合算法(IWO-PSO)的SHEPWM方程组计算方法,该混合算法结合IWO算法的广度和PSO算法的深度,通过合理选择算法参数,有效地解决了计算结果局部收敛和收敛速度慢的问题,并以三电平中点箝位型(NPC)逆变器为例,利用Matlab/Simulink进行仿真试验。结果表明,IWO-PSO算法可行、有效,实现了三电平NPC逆变器在线SHEPWM控制。 展开更多
关键词 iwo-PSO混合算法 三电平逆变器 选择谐波消除脉宽调制技术 仿真试验
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基于IWO算法的轴系—基座—壳体系统声辐射优化研究
9
作者 刘金林 赖国军 +2 位作者 蔡耀全 曾凡明 刘树勇 《船舶力学》 EI CSCD 北大核心 2019年第1期88-95,共8页
针对轴系-基座-壳体结构复杂,对于激振力引起的结构表面声辐射尚未形成一套有效的计算和优化方法,文章尝试通过功率流有限元和声学边界元方法,对系统声优化问题进行了研究。在直线校中状态下,用相应单元模拟系统中减振器、隔振器和吸振... 针对轴系-基座-壳体结构复杂,对于激振力引起的结构表面声辐射尚未形成一套有效的计算和优化方法,文章尝试通过功率流有限元和声学边界元方法,对系统声优化问题进行了研究。在直线校中状态下,用相应单元模拟系统中减振器、隔振器和吸振器,建立轴系-基座-壳体系统有限元模型,利用有限元转子动力学,计算系统某特定工况下频率响应。在此基础上采用IWO算法,以各减振单元参数为设计变量,以传递路径的总功率流为目标函数进行优化,最后利用声学边界元方法对优化结果进行对比分析。结果表明,将流经路径总功率流替代场点声压为目标函数,不仅能将问题简化大大减少计算量,还能为系统减振降噪提供有效的优化计算方法,具有重要工程应用价值。 展开更多
关键词 功率流有限元 入侵性野草算法 声辐射优化
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基于NLSM+IWO的非对称方向图唯相位优化
10
作者 袁建涛 张文涛 +2 位作者 稂华清 曹顺锋 刘广君 《航空兵器》 北大核心 2018年第3期49-52,共4页
本文提出一种改进的非线性最小二乘算法(NLSM),通过引入入侵杂草算法(IWO)完成对初始解及迭代过程中的全局最优解的选取,解决了非线性最小二乘算法优化结果不稳定的问题。在阵列分布及单元个数一定的条件下,通过优化激励相位对相控阵天... 本文提出一种改进的非线性最小二乘算法(NLSM),通过引入入侵杂草算法(IWO)完成对初始解及迭代过程中的全局最优解的选取,解决了非线性最小二乘算法优化结果不稳定的问题。在阵列分布及单元个数一定的条件下,通过优化激励相位对相控阵天线方向图进行赋形,压低向地一侧峰值旁瓣电平,使背地一侧旁瓣电平递减变化。优化后的方向图可以有效降低中、近旁瓣杂波电平,证明了该算法的可行性和有效性。 展开更多
关键词 非线性最小二乘算法 入侵杂草算法 唯相位 波束赋形
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Zircon micro-texture and chemistry:an investigation of magmatic history and crystallization temperature of quartz potassic syenite from Iwo area,Southwestern Nigeria
11
作者 Ademuyiwa Adetunji Valentin YGanev 《Acta Geochimica》 EI CAS CSCD 2022年第1期39-49,共11页
The Neoproterozoic quartz potassic syenite of the Iwo area,Southwestern Nigeria has been investigated for its magmatic history and zircon saturation temperature.The zircon morphology showed irregular shapes with secto... The Neoproterozoic quartz potassic syenite of the Iwo area,Southwestern Nigeria has been investigated for its magmatic history and zircon saturation temperature.The zircon morphology showed irregular shapes with sectoral and oscillatory micro zoning.The majority of the zircon grains have embayment,which corresponds to magmatic resorption.The syenite crystallized from probably multiple recharge of less evolved magma.Both the magma injection and subsequent crystallization of the rock occurred over a length of time giving the rock some degree of protracted thermal history and slight fluctuation in chemistry,which are manifested as zonation in the analyzed zircon grains.The initial stage of zircon crystallization was marked by a lower cerium anomaly than the final stage,which indicates changes from lower oxidizing to higher oxidizing conditions.The protracted history does not affect the europium anomalies at any stage of crystallization.An average zircon saturation temperature of 865℃estimated from titanium in zircon(T_(Tiz)℃)thermometer using titanium activity of 0.7(^(a)TiO_(2)~0.7)is taken as reasonable crystallization temperature of the rock.This is fairly consistent with 877℃deduced from the zircon solubility model.The titanium in zircon temperature of 910℃at aTiO_(2)~1 is rather too high to be a useful estimate.Both the temperatures 865 and 877℃are however consistent with those of intermediate rocks.The size of the syenite and protracted crystallization history would have made the temperature to have impacted the metamorphic envelope around the syenite. 展开更多
关键词 iwo LA-ICP-MS Magmatic history NIGERIA Quartz potassic syenite ZIRCON
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一种改进的CCIWO算法及在搜索纳什平衡点的应用
12
作者 朱元凯 陈亮 《广东石油化工学院学报》 2015年第3期43-46,共4页
杂草算法(IWO)是一种元启发式算法,模拟杂草定植和分布的过程,能够解决多维、线性和效率优化问题以及非线性优化问题。文章改进了IWO算法,并将其应用到电子市场优化中,通过查找市场存在的纳什平衡点,来对市场存在的最优方案进行查找。... 杂草算法(IWO)是一种元启发式算法,模拟杂草定植和分布的过程,能够解决多维、线性和效率优化问题以及非线性优化问题。文章改进了IWO算法,并将其应用到电子市场优化中,通过查找市场存在的纳什平衡点,来对市场存在的最优方案进行查找。实验证明,该方法有效且精确度高。 展开更多
关键词 杂草算法 优化 纳什平衡 电力
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IWO透明导电薄膜制备工艺浅析
13
作者 刘飞 张敏 郭永刚 《中文科技期刊数据库(全文版)工程技术》 2021年第10期248-251,共4页
透明导电薄膜作为载流子横向传输及电流输送的通道,兼具减反射层的功能,其在HIT电池结构中,解决了非晶硅层横向导电性差的缺陷,有效提升了异质结结构电池的有效电流输出能力。目前各大企业及研究机构针对透明导电薄膜的相关研究以溅射沉... 透明导电薄膜作为载流子横向传输及电流输送的通道,兼具减反射层的功能,其在HIT电池结构中,解决了非晶硅层横向导电性差的缺陷,有效提升了异质结结构电池的有效电流输出能力。目前各大企业及研究机构针对透明导电薄膜的相关研究以溅射沉积(PVD)及等离子体沉积(RPD)技术为主要研究对象.本项目采用RPD技术进行IWO透明导电薄膜制备实验,通过分析沉积温度、沉积时间、退火时间等工艺条件对IWO薄膜光学特性、电学特性以及形貌的影响, 探究IWO薄膜高透光性、低薄层电阻的制备工艺, 并成功制备出最优电导率为7700s/cm,最大透光率为95%的IWO透明导电薄膜,从而为高效HIT电池制备提供高透光率、电导率的透明导电薄膜工艺基础。 展开更多
关键词 HIT电池 iwo 透明导电薄膜 电导率 透光率
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基于ELM-IWO机械臂运动学逆解算法研究
14
作者 赵玉刚 杨雨佳 +1 位作者 张艳红 张德福 《电脑编程技巧与维护》 2021年第10期124-125,149,共3页
为了提高机械臂控制中运动学逆解的速度和准确度,提出了一种基于入侵性杂草优化的机械臂运动学逆解方法。通过D-H法建立了工业六自由度机械臂的正向运动学模型,并利用训练速度较快的ELM (极限学习机)计算机械臂关节角度向量,即输出其逆... 为了提高机械臂控制中运动学逆解的速度和准确度,提出了一种基于入侵性杂草优化的机械臂运动学逆解方法。通过D-H法建立了工业六自由度机械臂的正向运动学模型,并利用训练速度较快的ELM (极限学习机)计算机械臂关节角度向量,即输出其逆运动学初解。利用IWO (入侵性杂草优化)算法对得到的初始逆解进行优化,取最小适应度下的杂草位置作为输出,以便得到最佳的逆运动学求解。实验结果表明,相比基于PSO-BP神经网络的求解方法,基于ELM-IWO算法的机械臂末端执行器的精度更高,实时性更好。 展开更多
关键词 机械臂 运动学逆解 iwo算法 ELM极限学习机
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基于IWO-PSO的阵列幅相误差校正方法
15
作者 彭文灿 郭陈江 +1 位作者 高宇腾 赵霞 《计算机仿真》 北大核心 2019年第4期205-208,共4页
针对阵列信号空间谱中出现的阵列幅相误差导致MUSIC算法高分辨测向性能下降甚至失效的问题,提出一种基于入侵杂草算法和粒子群算法的阵列幅相误差校正方法。方法从子空间基本原理出发,结合粒子群算法的搜索深度和入侵杂草算法的搜索广度... 针对阵列信号空间谱中出现的阵列幅相误差导致MUSIC算法高分辨测向性能下降甚至失效的问题,提出一种基于入侵杂草算法和粒子群算法的阵列幅相误差校正方法。方法从子空间基本原理出发,结合粒子群算法的搜索深度和入侵杂草算法的搜索广度,利用一个辅助信源对均匀线阵的幅相误差进行估计。在估测阵列幅相误差的基础上对原导向矢量进行了修正,得到了更为准确的来波方向估计。计算机仿真结果验证了上述方法的有效性,可行性以及对相位误差的鲁棒性。 展开更多
关键词 幅相误差 入侵杂草优化 粒子群优化 波达方向
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基于IWO算法的轴系-基座-壳体系统声辐射优化研究
16
作者 付卫华 蔡耀全 +1 位作者 刘金林 赖国军 《舰船科学技术》 北大核心 2018年第5期15-20,共6页
螺旋桨推进轴系与壳体耦合振动和声辐射一直是重点研究问题之一,由于轴系-基座-壳体结构复杂,对于激振力引起的结构表面声辐射尚未形成一套有效的计算和优化方法。针对该问题,本文尝试通过功率流有限元和声学边界元方法,对系统声优化问... 螺旋桨推进轴系与壳体耦合振动和声辐射一直是重点研究问题之一,由于轴系-基座-壳体结构复杂,对于激振力引起的结构表面声辐射尚未形成一套有效的计算和优化方法。针对该问题,本文尝试通过功率流有限元和声学边界元方法,对系统声优化问题进行研究。在直线校中状态下,用相应单元模拟系统中减振器、隔振器和吸振器,建立轴系-基座-壳体系统有限元模型,利用有限元转子动力学,计算系统某特定工况下频率响应。在此基础上采用IWO算法,以各减振单元参数为设计变量,以传递路径的总功率流为目标函数进行优化,最后利用声学边界元方法对优化结果进行对比分析。结果表明,将流经路径总功率流替代场点声压为目标函数,不仅能将问题简化,大大减少计算量,还能为系统减振降噪提供有效的优化计算方法,具有重要工程应用价值。 展开更多
关键词 功率流有限元 入侵性野草算法 声辐射优化
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IWO与BPNN混合智能算法在转子故障诊断中的应用
17
作者 孟昭燃 赵荣珍 《噪声与振动控制》 CSCD 2014年第6期153-156,160,共5页
在经典IWO杂草算法的基础上提出一种适用于神经网络优化的新算法。该算法将多种结构的神经网络权值阈值编码为不同维度的杂草种子,以神经网络均方误差作为种子适应度的统一评价标准,同时对多个维度的杂草种子进行排序筛选,实现了神经网... 在经典IWO杂草算法的基础上提出一种适用于神经网络优化的新算法。该算法将多种结构的神经网络权值阈值编码为不同维度的杂草种子,以神经网络均方误差作为种子适应度的统一评价标准,同时对多个维度的杂草种子进行排序筛选,实现了神经网络权值阈值与结构同时优化的目的。应用该方法于转子系统故障分类问题,实验结果表明该方法可以在结合BP算法优势的同时有效优化神经网络各参数,可以得到分类精度高、结构最简且泛化能力强的神经网络故障分类器。 展开更多
关键词 振动与波 杂草算法 神经网络 智能优化 故障诊断
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阵元位置误差条件下的IWO-PSO校正方法
18
作者 彭泓渊 杨国 吴文 《微波学报》 CSCD 北大核心 2017年第S1期306-309,共4页
针对粒子群算法(PSO)在校正阵列天线阵元位置误差时容易陷入早熟与局部收敛的问题,结合入侵杂草算法(IWO)的搜索广度与PSO的搜索深度,提出一种新的基于IWO-PSO算法的阵元位置误差校正方法。根据毫米波辐射计热辐射信号弱的特点,该方法... 针对粒子群算法(PSO)在校正阵列天线阵元位置误差时容易陷入早熟与局部收敛的问题,结合入侵杂草算法(IWO)的搜索广度与PSO的搜索深度,提出一种新的基于IWO-PSO算法的阵元位置误差校正方法。根据毫米波辐射计热辐射信号弱的特点,该方法在低信噪比阵列误差模型下,通过一个方位精确已知的外部辅助源进行有源校正,将一组阵列视为一株杂草进行PSO中位置与速度更新,并繁殖新的种子正态分布生长在父代杂草附近从而完成循环迭代。实验结果表明,方法稳定提高了全局搜索能力,估计所得全局最优阵元位置与实际阵元位置相对误差仅为0.0006,并且收敛速度优于单独PSO校正方法。 展开更多
关键词 粒子群算法 杂草入侵算法 阵列位置误差 毫米波辐射计
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IWO缓冲层对MOCVD-ZnO:B薄膜性能的影响研究
19
作者 闫聪博 陈新亮 +6 位作者 陈雪莲 孙建 张德坤 魏长春 张晓丹 赵颖 耿新华 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第4期697-702,共6页
金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术生长的绒面ZnO透明导电(ZnO-TCO)薄膜应用于Si基薄膜太阳电池上能够形成"陷光结构",以提高薄膜太阳电池效率和稳定性。本文将电子束反应蒸发技术生长的掺W的In2O3(In2O3:W,(IWO)薄膜作为缓冲... 金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术生长的绒面ZnO透明导电(ZnO-TCO)薄膜应用于Si基薄膜太阳电池上能够形成"陷光结构",以提高薄膜太阳电池效率和稳定性。本文将电子束反应蒸发技术生长的掺W的In2O3(In2O3:W,(IWO)薄膜作为缓冲层,应用于MOCVD-ZnO:B薄膜与玻璃之间,可促进ZnO:B薄膜的生长,并且有效提升薄膜的光散射特性。当IWO缓冲层厚度为20nm时,获得的IWO/ZnO:B薄膜的电阻率为2.07×10-3Ω.cm,迁移率为20.9cm2.V-1.s-1,载流子浓度为1.44×1020 cm-3;同时,薄膜具有的透过率大于85%,且在550nm处绒度较ZnO:B薄膜提高了约9.5%,在800nm处绒度较ZnO:B薄膜提高了约4.5%。 展开更多
关键词 MOCVD ZnO:B薄膜 透明导电氧化物(TCO) 薄膜太阳电池 电子束蒸发 掺W的In2O3(In2O3:W iwo)薄膜 绒度
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IWO缓冲层对磁控溅射生长绒面HGZO薄膜性能的影响
20
作者 王斐 陈新亮 +7 位作者 张翅 黄茜 张德坤 孙建 魏长春 张晓丹 赵颖 耿新华 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期1098-1102,共5页
研究了W掺In2O3(IWO)缓冲层(buffer layer)对磁控溅射直接生长绒面结构H化Ga掺杂ZnO(HGZO)薄膜的微观结构和光电性能的影响。实验发现,加入IWO缓冲层能够有效地增大薄膜表面粗糙度,提高了薄膜光散射能力,薄膜绒度(550nm波长处)由7.05%... 研究了W掺In2O3(IWO)缓冲层(buffer layer)对磁控溅射直接生长绒面结构H化Ga掺杂ZnO(HGZO)薄膜的微观结构和光电性能的影响。实验发现,加入IWO缓冲层能够有效地增大薄膜表面粗糙度,提高了薄膜光散射能力,薄膜绒度(550nm波长处)由7.05%提高至18.37%;具有IWO缓冲层的HGZO(IWO/HGZO)薄膜的电学性能稍微提升。通过优化工艺条件,当IWO缓冲层厚为10nm时,生长获得的IWO/HGZO复合薄膜方块电阻为3.6Ω,电阻率为6.21×10-4Ωcm,可见光及近红外区域透过率(400~1 100nm)为82.18%,薄膜绒度(550nm波长处)为18.37%。 展开更多
关键词 磁控溅射 H化Ga掺杂ZnO(HGZO)薄膜 W掺In2O3(iwo)缓冲层 绒面结构 薄膜太阳能电池
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