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题名KDP晶体元件晶轴角度的精密校正
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作者
张帅
金波佳
王翔峰
雷向阳
王健
许乔
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机构
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
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出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第9期45-52,共8页
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基金
国家自然科学基金(51275115)。
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文摘
大型激光装置要求KDP(Potassium Dihydrogen Phosphate,KH2PO4)晶体在加工阶段进行高精度定轴,以降低后续装调难度,提升批量装调效率。为此在加工阶段,提出一种在位检测反馈和多次调节逼近的晶轴角度校正策略,从原理上避免了校正精度严重依赖调节工装精度、重复装夹误差大、机床直线度引入误差等问题;并且为提升晶轴角度的校正效率,研制了电动控制的高精度吸盘角度调节工装,解决了校正角度大、精度要求高的难题。验证结果表明:采用研制的高精度吸盘角度调节工装,经过3轮次的迭代,可以将晶轴角度误差从2~4 mrad快速收敛至20μrad以内,满足大型激光装置的要求。所提策略的校正精度仅取决于测头移动长度和测试精度,且元件口径越大、测量精度越高,校正精度就越高,因此所提策略特别适用于大口径KDP晶体元件的晶轴角度的精密校正。
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关键词
光学器件
kdp晶体元件
晶轴角度
金刚石切削
在位检测
相位匹配
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Keywords
optical devices
kdp crystal element
crystal axis angle
diamond cutting
in-situ testing
phase matching
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分类号
O439
[机械工程—光学工程]
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