KLA—TENCOR针对科学与太阳能测量需求推出新型P-6表面轮廓仪系统

KLA—Tencor公司日前发布其最新的探针式表面轮廓测量系统P-6^TM，该系统针对科学研究与生产环境（例如，光电太阳能电池制造）提供一组独特的先进功能组合。P-6系统受益于在先进半导体轮廓仪系统上开发的测量技术，但却采用了较小与较经济的桌面型机台设计，可接受最大至150mm的样本。

公司业绩再创新高,KLA发布全球市场战略

日前,KLA(科天)在SEMICON China 2019上正式公布了公司自去年收购以色列电路板(光学)检测设备供应商Orbotech(奥宝科技)以来的最新全球市场战略。公司企业传播高级总监Becky Howland女士和科天国际贸易(上海)有限公司总裁张智安先生等公司高层领导出席了活动。

EDA

KLA—TENCOR DesignScan设计检测方案面向光刻挑战；Cirrus Logic为CS4961XX系列添加图形编程工具。

优化检测制程设计加速改善65nm芯片的良率

描述一种广泛应用于探索制程设计方面的系统性及随机性故障的短流程测试芯片与先进的检测工具平台相结合的综合方法,以对在65nm技术节点上的关键性缺陷进行特征化描述和监控,借此加速基于缺陷的良率学习。通过独特的快速电性测试方案、快速分析软件以及优化的检测效果,可缩短快速制程开发的学习周期。通过将在一个领先的300mm晶片厂得到的CV检测设置知识经验成功运用于制造过程,优化了产品的关键缺陷(DOI)检测。