248nm KrF准分子激光精密加工Al_2O_3的实验研究

本文采用波长 2 4 8nm的KrF准分子激光器 ,对Al2 O3 陶瓷片的精密加工进行了研究 ,探讨了各种工艺参数对加工质量的影响规律。同时研究了激光工艺参数对材料表面粗糙度的影响 。

KrF准分子激光精密加工K9光学玻璃的实验研究

采用波长 2 4 8nm的KrF准分子激光器对K9光学玻璃的精密微细加工进行了研究 ,探讨了准分子激光与玻璃的相互作用机理。进行了表面切割和打孔实验 ,研究了激光加工的工艺参数及加工质量的变化规律 ,对加工后的工件表面形貌进行了分析。