激光辅助化学气相沉积金刚石薄膜实验研究

本文采用激光辅助化学气相沉积法合成了厚度为１５μｍ的金刚石薄膜。实验结果表明：以丙酮为碳源气体，并用ＸｅＣｌ（３０８ｎｍ）准分子激光解离，Ｈ２用灯丝进行予先解离，适当选择和控制各种实验参数，可获得高质量的金刚石薄膜。