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利用LBIC技术对InGaAs平面结器件结区特性的研究
被引量:
2
1
作者
张可锋
吴小利
+4 位作者
唐恒敬
乔辉
贾嘉
李雪
龚海梅
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第B09期947-950,共4页
室温铟镓砷(InGaAs)焦平面技术在航天工业上的应用越来越广泛,铟镓砷(InGaAs)焦平面列阵中探测器的尺寸正不断减小,这使得常规工艺形成的光伏探测器,其有效光敏元面积扩大的问题越来越突出。本文利用激光诱导电流检测(LB IC)系统测试了...
室温铟镓砷(InGaAs)焦平面技术在航天工业上的应用越来越广泛,铟镓砷(InGaAs)焦平面列阵中探测器的尺寸正不断减小,这使得常规工艺形成的光伏探测器,其有效光敏元面积扩大的问题越来越突出。本文利用激光诱导电流检测(LB IC)系统测试了平面结InGaAs(P-I-N)探测器芯片的光敏元,证实了有效光敏面扩大的存在。从实验结果看,掺杂离子的横向扩散和结区的侧向收集效应,是平面工艺形成的光伏器件光敏元面积扩大的主要因素,并利用得到的实验数据拟合求出了器件少子的扩散长度。
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关键词
lbic技术
INGAAS
探测器
光敏感区
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职称材料
LBIC技术研究平面结与台面结InGaAs探测器
被引量:
1
2
作者
张可锋
吴小利
+5 位作者
唐恒敬
吕衍秋
乔辉
贾嘉
李雪
龚海梅
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2007年第z1期23-27,共5页
室温铟镓砷(InGaAs)焦平面技术在军事与航天工业上的应用越来越广泛,铟镓砷(InGaAs)焦平面列阵中探测器的尺寸正不断减小,这使得常规工艺形成的光伏探测器的有效光敏元面积扩大的问题越来越突出.本文利用激光诱导电流检测(LBIC)系统测...
室温铟镓砷(InGaAs)焦平面技术在军事与航天工业上的应用越来越广泛,铟镓砷(InGaAs)焦平面列阵中探测器的尺寸正不断减小,这使得常规工艺形成的光伏探测器的有效光敏元面积扩大的问题越来越突出.本文利用激光诱导电流检测(LBIC)系统测试了台面结和平面结InGaAs (p-i-n)探测器芯片的光敏元,证实了有效光敏面扩大的存在.从实验结果看,结区的侧向收集效应是造成台面工艺形成的光伏器件光敏元面积扩大的主要因素;而掺杂离子的横向扩散和结区的侧向收集效应,是平面工艺形成的光伏器件光敏元面积扩大的主要因素.
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关键词
lbic技术
INGAAS
探测器
光敏感区
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职称材料
碲镉汞纳米材料与器件的LBIC检测技术
3
作者
贾嘉
龚海梅
李向阳
《云南大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第S1期209-215,共7页
介绍一种可用于红外碲镉汞(HgCdTe)材料与器件研究的高分辨率、无损伤光学检测方法——激光诱导电流(LBIC)技术.该技术可以描绘出碲锅汞薄膜材料中具有电活性的缺陷分布图,也可以无须为列阵中的每个像元制作电极就用于探测器像元的检测...
介绍一种可用于红外碲镉汞(HgCdTe)材料与器件研究的高分辨率、无损伤光学检测方法——激光诱导电流(LBIC)技术.该技术可以描绘出碲锅汞薄膜材料中具有电活性的缺陷分布图,也可以无须为列阵中的每个像元制作电极就用于探测器像元的检测.利用得到的数据可以推算出p-n结的扩散长度、结深和探测器的品质因子(R0A)及均匀性等许多参数.给出了碲镉汞一些典型参量的LBIC理论与实验结果,说明LBIC检测技术对碲镉汞材料与器件的特性表征起到了十分重要的作用.
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关键词
lbic技术
碲镉汞材料与器件
纳米级
原文传递
题名
利用LBIC技术对InGaAs平面结器件结区特性的研究
被引量:
2
1
作者
张可锋
吴小利
唐恒敬
乔辉
贾嘉
李雪
龚海梅
机构
中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室
出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第B09期947-950,共4页
基金
国家自然科学基金重点项目(No.50632060)
文摘
室温铟镓砷(InGaAs)焦平面技术在航天工业上的应用越来越广泛,铟镓砷(InGaAs)焦平面列阵中探测器的尺寸正不断减小,这使得常规工艺形成的光伏探测器,其有效光敏元面积扩大的问题越来越突出。本文利用激光诱导电流检测(LB IC)系统测试了平面结InGaAs(P-I-N)探测器芯片的光敏元,证实了有效光敏面扩大的存在。从实验结果看,掺杂离子的横向扩散和结区的侧向收集效应,是平面工艺形成的光伏器件光敏元面积扩大的主要因素,并利用得到的实验数据拟合求出了器件少子的扩散长度。
关键词
lbic技术
INGAAS
探测器
光敏感区
Keywords
lbic
technique
InGaAs
detector
photoactive area
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
LBIC技术研究平面结与台面结InGaAs探测器
被引量:
1
2
作者
张可锋
吴小利
唐恒敬
吕衍秋
乔辉
贾嘉
李雪
龚海梅
机构
中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室
中国科学院研究生院
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2007年第z1期23-27,共5页
文摘
室温铟镓砷(InGaAs)焦平面技术在军事与航天工业上的应用越来越广泛,铟镓砷(InGaAs)焦平面列阵中探测器的尺寸正不断减小,这使得常规工艺形成的光伏探测器的有效光敏元面积扩大的问题越来越突出.本文利用激光诱导电流检测(LBIC)系统测试了台面结和平面结InGaAs (p-i-n)探测器芯片的光敏元,证实了有效光敏面扩大的存在.从实验结果看,结区的侧向收集效应是造成台面工艺形成的光伏器件光敏元面积扩大的主要因素;而掺杂离子的横向扩散和结区的侧向收集效应,是平面工艺形成的光伏器件光敏元面积扩大的主要因素.
关键词
lbic技术
INGAAS
探测器
光敏感区
分类号
TN21 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
碲镉汞纳米材料与器件的LBIC检测技术
3
作者
贾嘉
龚海梅
李向阳
机构
中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室
出处
《云南大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第S1期209-215,共7页
文摘
介绍一种可用于红外碲镉汞(HgCdTe)材料与器件研究的高分辨率、无损伤光学检测方法——激光诱导电流(LBIC)技术.该技术可以描绘出碲锅汞薄膜材料中具有电活性的缺陷分布图,也可以无须为列阵中的每个像元制作电极就用于探测器像元的检测.利用得到的数据可以推算出p-n结的扩散长度、结深和探测器的品质因子(R0A)及均匀性等许多参数.给出了碲镉汞一些典型参量的LBIC理论与实验结果,说明LBIC检测技术对碲镉汞材料与器件的特性表征起到了十分重要的作用.
关键词
lbic技术
碲镉汞材料与器件
纳米级
Keywords
lbic
HgCdTe material and photodiodes
nanoscale
分类号
TN204 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
利用LBIC技术对InGaAs平面结器件结区特性的研究
张可锋
吴小利
唐恒敬
乔辉
贾嘉
李雪
龚海梅
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2007
2
下载PDF
职称材料
2
LBIC技术研究平面结与台面结InGaAs探测器
张可锋
吴小利
唐恒敬
吕衍秋
乔辉
贾嘉
李雪
龚海梅
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2007
1
下载PDF
职称材料
3
碲镉汞纳米材料与器件的LBIC检测技术
贾嘉
龚海梅
李向阳
《云南大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2005
0
原文传递
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