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题名集成铁氧体的LC应变传感器的设计及测试
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作者
郝竹雅
张磊
谢浩
谭秋林
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机构
中北大学省部共建动态测试技术国家重点实验室
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出处
《微电子学与计算机》
2024年第3期128-134,共7页
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基金
国家自然科学基金青年科学基金(52105594)
国家自然科学基金创新研究团队项目(51821003)
+1 种基金
山西省应用基础研究计划青年项目(20210302124274)
山西省留学人员科技活动择优资助项目(20210011)。
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文摘
针对金属环境下采用LC无线无源应变传感器出现电磁信号传输失效的问题,在传感器背面集成铁氧体材料,其原理是通过抑制电磁波在金属表面的涡流效应产生的感应电动势,实现在金属环境下的电磁信号耦合测试。通过HFSS软件进行仿真验证,在金属环境下LC无线无源传感器信号失效;在传感器基底背部集成铁氧体后,通过扫频得出铁氧体可以在金属环境下实现LC传感器的电磁信号传输。对铁氧体的厚度进行参数优化,最佳厚度为0.32 mm。搭建等强度悬臂梁测试平台,结果表明,金属环境下LC传感器可以通过铁氧体实现抗金属环境干扰,频率为37.7 MHz时,LC无线无源测试系统可以很好地实现信号传输,对应的S_(11)值为-25.6 dB。对悬臂梁施加外力使其发生应变,传感器在0~1300με的应变范围内灵敏度为61.54 Hz/με。测试结果表明,铁氧体有利于实现金属环境下的LC无线无源传感器应变测试。
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关键词
lc应变传感器
非接触测量
无线无源
电磁耦合
抗金属干扰
吸波材料
应变测试
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Keywords
lc strain sensor
non-contact measurement
wireless passivity
electromagnetic coupling
anti-metal interference
absorbing material
strain measurement
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分类号
TN972.44
[电子电信—信号与信息处理]
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