期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
TFT-LCD行业Particle管控和改善方法研究
被引量:
2
1
作者
叶超前
钮曼萍
+4 位作者
王祥臻
童冉
刘俊豪
秦卫
杜永刚
《电子世界》
2016年第14期198-199,共2页
本文研究了TFT-LCD行业Particle产生的原因并分类,在基于环境、人员、设备、气流的研究上,并通过设备气流优化、人员行为改善、建立Manifold监控系统,形成一套完整的Particle管控和改善体系。研究表明:在人员标准化作业、气流回环稳定时...
本文研究了TFT-LCD行业Particle产生的原因并分类,在基于环境、人员、设备、气流的研究上,并通过设备气流优化、人员行为改善、建立Manifold监控系统,形成一套完整的Particle管控和改善体系。研究表明:在人员标准化作业、气流回环稳定时,通过改善设备内Particle,可使Particle基数控制在10个以内(Particle大小0.3um/每台设备内)。
展开更多
关键词
lcd
particle
manifold
监控
环境
气流
设备
人员
下载PDF
职称材料
题名
TFT-LCD行业Particle管控和改善方法研究
被引量:
2
1
作者
叶超前
钮曼萍
王祥臻
童冉
刘俊豪
秦卫
杜永刚
机构
合肥京东方光电科技有限公司
出处
《电子世界》
2016年第14期198-199,共2页
文摘
本文研究了TFT-LCD行业Particle产生的原因并分类,在基于环境、人员、设备、气流的研究上,并通过设备气流优化、人员行为改善、建立Manifold监控系统,形成一套完整的Particle管控和改善体系。研究表明:在人员标准化作业、气流回环稳定时,通过改善设备内Particle,可使Particle基数控制在10个以内(Particle大小0.3um/每台设备内)。
关键词
lcd
particle
manifold
监控
环境
气流
设备
人员
Keywords
lcd
,
particle
,
manifold system
,
environment
,
air flow
,
equipment
,
operator
分类号
TN873.93 [电子电信—信息与通信工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
TFT-LCD行业Particle管控和改善方法研究
叶超前
钮曼萍
王祥臻
童冉
刘俊豪
秦卫
杜永刚
《电子世界》
2016
2
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部