TFT-LCD行业Particle管控和改善方法研究

本文研究了TFT-LCD行业Particle产生的原因并分类,在基于环境、人员、设备、气流的研究上,并通过设备气流优化、人员行为改善、建立Manifold监控系统,形成一套完整的Particle管控和改善体系。研究表明:在人员标准化作业、气流回环稳定时,通过改善设备内Particle,可使Particle基数控制在10个以内(Particle大小0.3um/每台设备内)。